【技术实现步骤摘要】
加工设备的物料转移装置及加工设备
[0001]本专利技术涉及加工设备
,具体涉及一种加工设备的物料转移装置及加工设备
。
技术介绍
[0002]航空航天,光导纤维等多种领域中,半导体晶圆是非常重要的材料
。
在晶片的加工过程中,从晶锭切成晶片后,如果直接进行磨片,容易产生崩边,从而引起晶片报废,因此在磨片之前需要对晶片进行倒角
。
[0003]半导体晶圆除了硅晶圆,还有碳化硅晶圆
、
蓝宝石晶圆等,现有的倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中,需要通过物料转移装置将晶圆在各个装置之间进行转移,然而,现有的物料转移装置的工作效率低,影响用户的使用体验
。
[0004]相应地,本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题
。
技术实现思路
[0005]为了解决现有技术中的上述至少一个问题,即为了解决现有的物料转移装置的工作效率低的技术问题
。
[0006]在第一方面,本申请提供了一种加工设备的物料转移装置,所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构
、
第二平移驱动机构
、
第一水平滑座
、
第二水平滑座
、
固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手,
[0007]所述第一平移驱动机构与所述第一水平滑座连接且能够驱动所述第一水平滑座沿第一水平方向移动,所述第二平移驱动机构与 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种加工设备的物料转移装置,其特征在于,所述加工设备包括底座,所述物料转移装置固定安装在所述底座上,所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构
、
第二平移驱动机构
、
第一水平滑座
、
第二水平滑座
、
固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手,所述第一平移驱动机构与所述第一水平滑座连接且能够驱动所述第一水平滑座沿第一水平方向移动,所述第二平移驱动机构与所述第二水平滑座连接且能够驱动所述第二水平滑座沿所述第一水平方向移动,所述第一水平滑座和所述第二水平滑座沿所述第一水平方向分布
。2.
根据权利要求1所述的物料转移装置,其特征在于,所述物料转移装置还包括导向机构,所述导向机构安装在所述固定构件与所述第一水平滑座和所述第二水平滑座之间,用于在所述第一水平滑座和所述第二水平滑座相对于所述固定构件移动时对所述第一水平滑座和所述第二水平滑座进行导向
。3.
根据权利要求2所述的物料转移装置,其特征在于,所述导向机构包括设于所述第一水平滑座的第一导向构件
、
设于所述第二水平滑座的第二导向构件以及设于所述固定构件的第三导向构件,所述第一导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第一水平滑座进行导向,所述第二导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第二水平滑座进行导向
。4.
根据权利要求3所述的物料转移装置,其特征在于,所述第三导向构件的数量为两个且沿所述第二水平方向间隔分布,所述第一平移驱动机构和所述第二平移驱动机构位于两个所述第三导向构件之间,所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直,所述第一导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合,所述第二导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合
。5.
根据权利要求4所述的物料转移装置,其特征在于,所述第一导向构件为第一导向块,所述第二导向构件为第二导向块,所述第三导向构件为沿所述第一水平方向延伸的水平导轨,所述第一导向块和所述第二导向块均与所述水平导轨相适配
。6.
根据权利要求1所述的物料转移装置,其特征在于,所述第一机械手包括与所述第一水平滑座固定连接的第一升降驱动机构
技术研发人员:徐公志,郭世锋,杨勇,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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