一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统技术方案

本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，包括高温烘烤罩

【技术实现步骤摘要】
一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统


[0001]本申请涉及真空测量
，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统
。

技术介绍

[0002]电容薄膜真空计是一种利用弹性膜片在压差作用下产生位移，引起电极和膜片之间距离的变化，导致电容量发生改变，通过测量电容的变化，实现真空度测量的仪器
。
它具有测量准确度高
、
线性好
、
输出的重复性和长期稳定性好
、
能够测量气体和蒸汽的全压力，测量结果与气体成分和种类无关等诸多优点，在真空计量
、
微电子工业
、
表面处理
、
等离子体测量
、
航空航天
、
高能物理
、
可控热核聚变等领域得到广泛应用
。
[0003]传感器是电容薄膜真空计的物理单元，其感压薄膜与固定电极间的电容输出参数是影响电容薄膜真空计整机性能的主要因素，理论上，参考腔室的真空度应为零，如果不为零，则会直接影响到电容薄膜真空计的灵敏度和仪器的精密性，所以对于参考腔室的真空度，希望越高越好
。
而吸气剂可以长期将参考腔室维持在一个高的真空状态下，所以吸气剂的性能直接关系到电容薄膜真空计测量的准确性和灵敏度等性能参数
。
[0004]然而，传统电容薄膜真空计的吸气剂激活与参考腔封装是独立分别进行的，由于吸气剂是单独提前激活的，所以势必造成后续参考腔封装前的自身污染，极大的降低了其后续的气体吸附能力，进一步缩短了电容薄膜真空计的使用寿命，一旦整机测试性能达不到指标要求则导致整机报废，造成时间
、
人力
、
物力以及相关制造成本的巨大浪费
。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，能够同时实现电容薄膜真空计传感器参考腔内部吸气剂的加热激活以及参考腔的最终封装
。
[0006]为了实现上述目的，本申请提供了一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，包括高温烘烤罩
、
热电偶丝
、
复合真空计以及抽真空装置，其中：热电偶丝设置在高温烘烤罩的内壁上；待封装真空计设置在高温烘烤罩的内部；抽真空装置包括第一抽真空装置和第二抽真空装置，第一抽真空装置通过第一抽气管路与高温烘烤罩连通；第二抽真空装置通过第二抽气管路，穿过高温烘烤罩底部的抽真空接口，与待封装真空计连通；复合真空计包括第一复合真空计和第二复合真空计，第一复合真空计与高温烘烤罩连通，用于监测高温烘烤罩内部和第一抽气管路的真空度；第二复合真空计与第二抽气管路连通，用于监测待封装真空计传感器参考腔内部和第二抽气管路的真空度；高温烘烤罩的外壁上还设置有放气阀
。
[0007]进一步的，高温烘烤罩为立式上开结构，采用
SUS304
材料制作而成，内表面进行抛光处理
。
[0008]进一步的，高温烘烤罩内部的烘烤温度
≤500℃
，控温精度为
±
1℃。
[0009]进一步的，高温烘烤罩的底部设置有多个抽真空接口，每个抽真空接口均通过一
个第二抽气管路与第二抽真空装置连通，每个第二抽气管路上均设置一个截止阀
。
[0010]进一步的，待封装真空计设置多组，通过多路法兰与高温烘烤罩底部的多个抽真空接口对应连接
。
[0011]进一步的，待封装真空计传感器参考腔内部的真空度
≤1
×
10
‑6Pa。
[0012]进一步的，第一抽真空装置包括第一分子泵和第一机械泵，第一机械泵与第一分子泵和第一抽气管路之间均设置有截止阀；第一分子泵与第一抽气管路之间设置有截止阀
。
[0013]进一步的，第二抽真空装置包括第二分子泵和第二机械泵，第二机械泵与第二分子泵连接，第二分子泵通过总截止阀与多个第二抽气管路连通
。
[0014]本专利技术提供的一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，具有以下有益效果：
[0015]本申请能够同时实现电容薄膜真空计传感器参考腔内部吸气剂的加热激活以及参考腔的最终封装，解决了现有电容薄膜真空计封装装置无法开展吸气剂激活的问题，降低了电容薄膜真空计制造成本，减少了不必要的工艺环节，提高了整体的生产效率
。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征
、
目的和优点变得更明显
。
本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定
。
在附图中：
[0017]图1是根据本申请实施例提供的电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统的示意图；
[0018]图中：1‑
第一复合真空计
、2
‑
高温烘烤罩
、3
‑
热电偶丝
、4
‑
待封装真空计
、5
‑
放气阀
、6/7/8/9/10/11/12/13/17
‑
截止阀
、14
‑
总截止阀
、15
‑
第二复合真空计
、16
‑
第一分子泵
、18
‑
第二分子泵
、19
‑
第一机械泵
、20
‑
第二机械泵
、21
‑
第一抽气管路
、22
‑
第二抽气管路
。
具体实施方式
[0019]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例
。
基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围
。
[0020]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序
。
应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例
。
此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程
、
方法
、
系统
、
产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程
、
方法
、
产品或设备固有的其它步骤或单元
。
[0021本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，其特征在于，包括高温烘烤罩
、
热电偶丝
、
复合真空计以及抽真空装置，其中：所述热电偶丝设置在所述高温烘烤罩的内壁上；待封装真空计设置在所述高温烘烤罩的内部；所述抽真空装置包括第一抽真空装置和第二抽真空装置，所述第一抽真空装置通过第一抽气管路与所述高温烘烤罩连通；所述第二抽真空装置通过第二抽气管路，穿过所述高温烘烤罩底部的抽真空接口，与待封装真空计连通；所述复合真空计包括第一复合真空计和第二复合真空计，所述第一复合真空计与所述高温烘烤罩连通，用于监测所述高温烘烤罩内部和所述第一抽气管路的真空度；所述第二复合真空计与所述第二抽气管路连通，用于监测待封装真空计传感器参考腔内部和所述第二抽气管路的真空度；所述高温烘烤罩的外壁上还设置有放气阀
。2.
根据权利要求1所述的电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，其特征在于，所述高温烘烤罩为立式上开结构，采用
SUS304
材料制作而成，内表面进行抛光处理
。3.
根据权利要求2所述的电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，其特征在于，所述高温烘烤罩内部的烘烤温度
≤500℃
，控温精度为
...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴晓强，成永军，孙雯君，丁栋，吴成耀，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：