流体控制装置制造方法及图纸

流体控制装置

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置
[0001]本申请是申请号为
2019 8 0035 476.X、
申请日为
2019
年3月
26
日，
、
国际申请号为
PCT/2019/012660、
专利技术名称为“流体控制装置”的申请的分案申请


[0002]本专利技术涉及利用压电体的流体控制装置
。

技术介绍

[0003]以往，针对利用压电体来输送流体的流体控制装置，如专利文献1所示，进行有各种设计
。
[0004]专利文献1所示的流体控制装置利用借助压电体形成的振动来输送流体
。
在流体控制装置的阀室内以整流阀形成为将阀室内上下分割
。
该整流阀振动，由此将阀室内流体向一个方向输送
。
[0005]专利文献1：国际公布第
2016/63711
号
[0006]然而，在专利文献1记载的流体控制装置的结构中，整流阀与阀室中开口的边缘反复碰撞
。
由此，存在整流阀磨损
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种流体控制装置，其特征在于，具备：阀门，该阀门具有：第一主板；第二主板，其具有与所述第一主板的一个主面对置的一个主面；以及第一侧板，其将所述第一主板与所述第二主板连接，且具有由所述第一主板
、
所述第二主板以及所述第一侧板形成的阀室，所述第一主板具有使所述阀室的内外连通的第一通气孔，所述第二主板具有使所述阀室的内外连通的第二通气孔；泵，其具备：振动板，其与所述第一主板的另一个主面对置配置，且配置有压电元件；和第二侧板，该泵具有由所述第一主板和所述振动板和所述第二侧板形成的泵室，所述泵室经由所述第一通气孔而与所述阀室连通；以及阀芯，其配置于所述阀室内，若从所述第一主板的一个主面正面观察所述第二主板的一个主面，则所述阀室具有中央区域和包围该中央区域的外缘区域，所述第一通气孔位于所述中央区域，所述第二通气孔位于所述外缘区域，从所述一个主面朝向另一个主面的方向观察，所述阀芯与所述第一通气孔和所述第二通气孔都不重叠且位于所述第一通气孔与所述第二通气孔之间，所述阀芯在所述中央区域侧的端部能够振动的状态下，使所述外缘区域侧的端部通过接合部件固定于所述第一主板或者所述第二主板，在俯视时，所述阀芯为环状
。2.
一种流体控制装置，其特征在于，具备：阀门，该阀门具有：第一主板；第二主板，其具有与所述第一主板的一个主面对置的一个主面；以及第一侧板，其将所述第一主板与所述第二主板连接，且具有由所述第一主板
、
所述第二主板以及所述第一侧板形成的阀室，所述第一主板具有使所述阀室的内外连通的第一通气孔，所述第二主板具有使所述阀室的内外连通的第二通气孔；泵，其具备：振动板，其与所述第一主板的另一个主面对置配置，且配置有压电元件；和第二侧板，该泵具有由所述第一主板和所述振动板和所述第二侧板形成的泵室，所述泵室经由所述第一通气孔而与所述阀室连通；以及阀芯，其配置于所述阀室内，若从所述第一主板的一个主面正面观察所述第二主板的一个主面，则所述阀室具有中央区域和包围该中央区域的外缘区域，所述第一通气孔位于所述外缘区域，所述第二通气孔位于所述中央区域，从所述一个主面朝向另一个主面的方向观察，所述阀芯与所述第一通气孔和所述第二通气孔都不重叠且位于所述第一通气孔与所述第二通气孔之间，所述阀芯在所述中央区域侧的端部能够振动的状态下，使所述外缘区域侧的端部通过接合部件固定于所述第一主板或者所述第二主板，在俯视时，所述阀芯为环状
。3.
一种流体控制装置，其特征在于，具备：阀门，该阀门具有：第一主板；第二主板，其具有与所述第一主板的一个主面对置的一个主面；以及第一侧板，其将所述第一主板与所述第二主板连接，且具有由所述第一主板
、
所述第二主板以及所述第一侧板形成的阀室，所述第一主板具有使所述阀室的内外连通的第一通气孔，所述第二主板具有使所述阀室的内外连通的第二通气孔；
泵，其具...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，藤崎雅章，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：