一种靶材及其制备方法技术

一种靶材及其制备方法

【技术实现步骤摘要】
一种靶材及其制备方法、亲水薄膜和制品


[0001]本文涉及粉末冶金技术，尤指一种靶材及其制备方法
、
由此制备的亲水薄膜以及包括所述亲水薄膜的制品
。

技术介绍

[0002]现有技术中，制备亲水薄膜的方法是将由无机纳米粒子和表面活性剂于水中形成的喷涂溶液，采用超声波辅助喷涂法喷涂在基底上后进行干燥，其中，所述无机纳米粒子为二氧化硅
、
二氧化钛
、
二氧化锌
、
二氧化锆纳米粒子中的一种；所述表面活性剂为水溶性阴离子或非离子表面活性剂
。
[0003]但是，上述现有技术存在以下问题：
[0004]1、
所形成的亲水薄膜耐磨性较差，亲水有效期通常为几个月；
[0005]2、
采用喷涂法生产该薄膜的过程中，会对喷涂作业员身体以及环境产生危害；
[0006]3、
通过该方法得到的亲水薄膜耐蚀性能尚需要论证，使用范围可能受限
。
[0007]因此，本领域中急需一种能够制备亲水薄膜的方法，以制备出大面积的亲水薄膜
。

技术实现思路

[0008]本申请提供了一种靶材及其制备方法
、
亲水薄膜和制品，通过控制所述靶材的组成和比例，以及制备的工艺参数，对薄膜的表面化学成分和表面几何结构进行调控，制备出了大面积的亲水薄膜，提高了原料的利用率，具有制备过程简单
、
操作简便
、
薄膜透明度高的优点，因此具有良好的应用前景
。
[0009]本申请第一个方面提供了一种靶材，所述靶材包含：两种或更多种金属以及两种或更多种氧化物，其中，所述金属和氧化物的质量百分比为
(49
％
‑
72
％
):(28
％
‑
51
％
)。
[0010]在一种示例性的实施例中，其中，所述金属为选自
IB
‑
VIIB
族以及
VIII
族金属中的两种或更多种；任选地，所述金属选自
Al、Co、Cr、Cu、Fe、Mn、Mo、Ni、Ti、W、Ag、Au、Sn、Zn
和
Zr
中的两种或更多种；优选地，为
Ti、Cu
和
Mn。
[0011]在一种示例性的实施例中，其中，所述氧化物为选自
Al、Co、Cu、Fe、Ga、Ge、Hf、Li、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Sb、Si、Sn、Ta、Te、Ti、V、W、Y、Zn
和
Zr
中的两种或更多种的氧化物；优选地，所述氧化物为三氧化钨
、
二氧化钛
、
二氧化硅和二氧化锡
。
[0012]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
38
％
‑
48
％，铜5％
‑
10
％，锰6％
‑
14
％，三氧化钨4％
‑9％，二氧化钛
15
％
‑
21
％，二氧化硅2％
‑8％和二氧化锡7％
‑
13
％
。
[0013]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
38
％
‑
43
％，铜6％
‑9％，锰7％
‑
10
％，三氧化钨5％
‑9％，二氧化钛
17
％
‑
21
％，二氧化硅3％
‑6％和二氧化锡8％
‑
13
％
。
[0014]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
41
％，铜8％，锰9％，三氧化钨8％，二氧化钛
21
％，二氧化硅5％，二氧化锡8％
。
[0015]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
42
％，铜6％，锰7％，三氧化钨7％，二氧化钛
19
％，二氧化硅6％，二氧化锡
13
％
。
[0016]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
40
％，铜9％，锰
10
％，三氧化钨5％，二氧化钛
21
％，二氧化硅4％，二氧化锡
11
％
。
[0017]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
43
％，铜7％，锰8％，三氧化钨9％，二氧化钛
18
％，二氧化硅3％，二氧化锡
12
％
。
[0018]在一种示例性的实施例中，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
38
％，铜9％，锰9％，三氧化钨8％，二氧化钛
17
％，二氧化硅6％，二氧化锡
13
％
。
[0019]本申请第二个方面提供了一种靶材的制备方法，所述制备方法包括以下歩骤：
[0020]1)
制备预合金
[0021]将两种或更多种金属原料熔炼制备预合金，并将所述预合金细化，得到所述预合金的粉末；优选地，将金属钛
、
铜
、
锰熔炼制备预合金，并将所述预合金细化，得到所述预合金的粉末；
[0022]2)
原料的混合
[0023]将所述预合金粉末与两种或更多种氧化物混合；优选地，将所述预合金粉末与三氧化钨
、
二氧化钛
、
二氧化硅和二氧化锡混合；
[0024]3)
加入粘结剂
[0025]向步骤
2)
获得的混合物中加入粘结剂，并混合；
[0026]4)
烧结
[0027]将步骤
3)
所得的混合物压制成型并烧结，得到所述靶材
。
[0028]在一种示例性的实施例中，其中，步骤
1)
包括：采用熔炼的方法制备所述预合金，并采用气雾化法得到所述预合金粉末；
[0029]优选地，采用真空悬浮熔炼的方法制备所述预合金，并采用惰性气体气雾化得到所述预合金粉末；
[0030]更优选地，采用冷坩埚感应熔炼的方法制备所述预合金，并采用氩气气雾化得到所述预合金粉末
。
[0031]在一种示例性的实施例中，其中，步骤
1)
包括：采用冷坩埚感应熔炼的方法为：将原料金属
Ti、Cu
和
Mn
制备成
Ti本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种靶材，所述靶材包含以下组分：按质量百分比计，钛
38
％
‑
48
％，铜5％
‑
10
％，锰6％
‑
14
％，三氧化钨4％
‑9％，二氧化钛
15
％
‑
21
％，二氧化硅2％
‑8％和二氧化锡7％
‑
13
％
。2.
根据权利要求1所述的靶材，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
38
％
‑
43
％，铜6％
‑9％，锰7％
‑
10
％，三氧化钨5％
‑9％，二氧化钛
17
％
‑
21
％，二氧化硅3％
‑6％和二氧化锡8％
‑
13
％
。3.
根据权利要求2所述的靶材，其中，所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
41
％，铜8％，锰9％，三氧化钨8％，二氧化钛
21
％，二氧化硅5％，二氧化锡8％；或所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
42
％，铜6％，锰7％，三氧化钨7％，二氧化钛
19
％，二氧化硅6％，二氧化锡
13
％；或所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
40
％，铜9％，锰
10
％，三氧化钨5％，二氧化钛
21
％，二氧化硅4％，二氧化锡
11
％；或所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
43
％，铜7％，锰8％，三氧化钨9％，二氧化钛
18
％，二氧化硅3％，二氧化锡
12
％；或所述靶材包含以下成分：按质量百分比计，钛
38
％，铜9％，锰9％，三氧化钨8％，二氧化钛
17
％，二氧化硅6％，二氧化锡
13
％
。4.
一种制备权利要求1至3中任意一项所述的靶材的方法，所述方法包括以下歩骤：
1)
制备预合金将金属钛
、
铜
、
锰熔炼制备预合金，并将所述预合金细化，得到所述预合金的粉末；
2)
原料的混合将所述预合金粉末与三氧化钨
、
二氧化钛
、
二氧化硅和二氧化锡混合；
3)
加入粘结剂向步骤
2)
获得的混合物加入粘结剂，并混合；
4)
烧结将步骤
3)
所得的混合物压制成型并烧结，得到所述靶材
。5.
根据权利要求4所述的制备方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：林孝发，林孝山，王铭，汪火良，周年润，
申请(专利权)人：厦门九牧研发有限公司，
类型：发明
国别省市：