尾气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种尾气处理装置，包括水箱

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置


[0001]本专利技术涉及尾气处理
，具体为尾气处理装置
。

技术介绍

[0002]太阳能电池和半导体生产制造过程中会产生尾气，现有的尾气处理设备主要将产生的废气经过燃烧
、
过滤后排放
。
其主要工作流程为：将产生的废气通过真空泵排进尾气处理设备反应腔内，天然气和氧气按适当的比例通入反应腔，通过燃烧的方式将废气转化为无毒无害的气体，最后通过水洗干燥之后排放
。
[0003]现有的尾气处理装置一般存在以下几点问题：（1）现有的废气一般通过设置高温等离子焰发生器进行点燃，由于燃烧的火焰温度较高，易导致高温等离子焰发生器的的阳极和阴极发生烧损，使用寿命较低，维护较为麻烦；（2）燃烧之后的废气一般含有粉尘，需要设置水箱对含尘气体进行喷淋，水箱上设置有循环泵和过滤网，循环泵抽取过滤之后的水进行持续喷淋，实际使用过程中，水箱中的滤网易发生堵塞，影响使用；（3）尾气一般在反应腔内部燃烧，尾气中含有的有毒气体易腐蚀内壁，降低反应腔的使用寿命，且燃烧过程中产生的粉尘直接接触冷壁容易产生凝结堆积，清除费时费力，整体更换增加工作成本
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种尾气处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：尾气处理装置，包括水箱和设置在水箱顶端两侧的反应腔和水洗腔，所述反应腔的顶端设置有进气腔，所述进气腔上设置有若干向内部通入尾气的进气管，所述进气腔上设置有用于点燃尾气的高温等离子焰发生器，所述反应腔的底端与水箱内部连通，所述水箱的内部设置有对粉尘进行过滤的过滤隔板，所述水洗腔的底端与水箱内部连通，所述水箱上设置有循环泵，所述循环泵用于将水箱内部过滤之后的水抽至水箱的顶端对含尘气体进行初次水洗和水洗腔处对含尘气体进行二次水洗，所述水洗腔的顶端设置有气体干燥机构
。
[0006]进一步地，所述水箱的内部通过隔板分割成相对独立的第一过滤腔和第二过滤腔，所述反应腔和水洗腔分别设置在第一过滤腔顶端两侧，所述第一过滤腔内部的顶端设置有将反应腔和水洗腔两者分隔开的分隔板，所述过滤隔板设置在第二过滤腔的内部，且过滤隔板将第二过滤腔分割成第二腔室和第三腔室，所述第一过滤腔靠近反应腔一侧的底端设置有与第二腔室内部连通的连通开口，所述第一过滤腔的侧壁上设置有若干喷淋口
。
[0007]进一步地，所述过滤隔板为
Z
型结构，且过滤隔板远离连通开口的一侧设置有方便循环水流动的连通缺口
。
[0008]进一步地，所述反应腔包括冷却腔
、
设置在冷却腔内侧壁上的防腐层和可拆卸地
安装在防腐层内侧的防护内腔
。
[0009]进一步地，所述高温等离子焰发生器包括阳极座
、
安装在阳极座顶端的绝缘分气盘
、
通过支撑杆上下滑动设置在绝缘分气盘中心处的阴极
、
安装在阳极座中心处的阳极和对阴极和阳极进行冷却的冷却机构，所述绝缘分气盘的底端设置有集气槽，所述阴极延伸至集气槽的内部，所述阳极设置在阴极的正下方，所述阳极座上设置有用于向集气槽内部通气的进气机构
。
[0010]进一步地，所述绝缘分气盘的顶端安装有固定板，且固定板的中心处转动设置有调节螺母，所述调节螺母与支撑杆螺纹连接，用于驱动支撑杆上下移动，继而调节阴极和阳极的间距
。
[0011]进一步地，所述阳极的中间从上至下依次设置有导流孔
、
圆柱形芯孔和锥形喷射口，且导流孔
、
圆柱形芯孔和锥形喷射口互相连通，所述圆柱形芯孔的外侧壁上沿其长度方向设置有若干散热翅片，且散热翅片上设置有方便冷却液流动的连通口
。
[0012]进一步地，所述支撑杆为中空管状结构，所述冷却机构包括延伸至支撑杆内部底端的进液管
、
与支撑杆顶端连通的出液管和设置在阳极座和阳极之间的阳极冷却腔，所述阳极座上分别设置有与阳极冷却腔内部连通的第一进液口和第一出液口，所述第一进液口与出液管之间通过连接管连通
。
[0013]进一步地，所述水洗腔的内部从上至下设置有若干过滤装置，且各个过滤装置均对应设置有喷淋口
。
[0014]进一步地，所述气体干燥机构包括与水洗腔连通的连接管
、
设置在连接管外侧壁上的气体阀门和设置在连接管远离水洗腔一端的排气管主体，所述气体阀门连接高温干燥气体进气管，用于对连接管内部的气体进行干燥，所述排气管主体为竖直管状结构，且排气管主体包括上下连通的上排气管和冷凝水出液管
。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该尾气处理装置通过在阳极的中心处设置圆柱形芯孔和锥形喷射口，电离子在圆柱形芯孔内部跳动，圆柱形芯孔为圆柱形结构，其外侧壁上均匀设置有散热翅片
,
阳极散热更加均匀，同时散热翅片上设置有连通口，方便冷却液在各个散热翅片之间流动，冷却更加均匀，使电离子压缩传输更稳定；通过在水箱的内部设置过滤隔板，过滤隔板与水箱内部液体接触面积更大，避免其堵塞，影响循环水的流通，同时通过连通缺口加长流道长度，使大的粉尘颗粒不会进入循环泵影响循环泵的通畅，也确保了过滤隔板堵塞时的流量保障；通过设置冷却腔，可以避免反应腔内部气体燃烧反应时工作人员误触被烫伤，同时对防腐层起到防护作用，避免温度过高导致其脱落，通过在防腐层的内侧壁可拆卸设置有防护内腔，当防护内腔发生损坏时直接对其进行更换即可，减少设备投入；通过设置水箱
、
反应腔
、
进气腔
、
进气管
、
高温等离子焰发生器
、
水洗腔和气体干燥机构，对尾气进行燃烧反应之后，再通过循环水对含尘气体进行多次水洗，最后经过干燥之后再排放，减少尾气中的粉尘和可溶性有毒气体，更加节能环保
。
附图说明
[0016]图1为本专利技术立体结构示意图；
的外周壁上，也可根据需要设置为其他数量；请参阅图6‑7，进气腔3上设置有用于点燃尾气的高温等离子焰发生器5，且高温等离子焰发生器5安装在进气腔3顶端的中心处，高温等离子焰发生器5包括阳极座
51、
安装在阳极座
51
顶端的绝缘分气盘
52、
通过支撑杆
53
上下滑动设置在绝缘分气盘
52
中心处的阴极
54、
安装在阳极座
51
中心处的阳极
55
和对阴极
54
和阳极
55
进行冷却的冷却机构，绝缘分气盘
52
的底端设置有集气槽
521
，阴极
54
延伸至集气槽
521
的内部，阳极
55
设置在阴极
54本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
尾气处理装置，其特征在于：包括水箱（1）和设置在水箱（1）顶端两侧的反应腔（2）和水洗腔（6），所述反应腔（2）的顶端设置有进气腔（3），所述进气腔（3）上设置有若干向内部通入尾气的进气管（4），所述进气腔（3）上设置有用于点燃尾气的高温等离子焰发生器（5），所述反应腔（2）的底端与水箱（1）内部连通，所述水箱（1）的内部设置有对粉尘进行过滤的过滤隔板（9），所述水洗腔（6）的底端与水箱（1）内部连通，所述水箱（1）上设置有循环泵（8），所述循环泵（8）用于将水箱（1）内部过滤之后的水抽至水箱（1）的顶端对含尘气体进行初次水洗和水洗腔（6）处对含尘气体进行二次水洗，所述水洗腔（6）的顶端设置有气体干燥机构（7）
。2.
根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述水箱（1）的内部通过隔板分割成相对独立的第一过滤腔（
11
）和第二过滤腔（
12
），所述反应腔（2）和水洗腔（6）分别设置在第一过滤腔（
11
）顶端两侧，所述第一过滤腔（
11
）内部的顶端设置有将反应腔（2）和水洗腔（6）两者分隔开的分隔板（
112
），所述过滤隔板（9）设置在第二过滤腔（
12
）的内部，且过滤隔板（9）将第二过滤腔（
12
）分割成第二腔室（
121
）和第三腔室（
122
），所述第一过滤腔（
11
）靠近反应腔（2）一侧的底端设置有与第二腔室（
121
）内部连通的连通开口（
111
），所述第一过滤腔（
11
）的侧壁上设置有若干喷淋口（
113
）
。3.
根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于：所述过滤隔板（9）为
Z
型结构，且过滤隔板（9）远离连通开口（
111
）的一侧设置有方便循环水流动的连通缺口（
91
）
。4.
根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述反应腔（2）包括冷却腔（
21
）
、
设置在冷却腔（
21
）内侧壁上的防腐层（
22
）和可拆卸地安装在防腐层（
22
）内侧的防护内腔（
23
）
。5.
根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述高温等离子焰发生器（5）包括阳极座（
51
）
、
安装在阳极座（
51
）顶端的绝缘分气盘（
52
）
、
通过支撑杆（
53
）上下滑动设置在绝缘分气盘（
52
）中心处的阴极（
54
）
、
安装在阳极座（
51
）中心处的阳极（
55
）和对阴极（
54
）和阳极（
55
）进行冷却的冷却机构，所述绝缘分气盘（
52
）的底端设置有集气槽（
521
），所述阴极（
54
）延伸至集气槽（
521
）的内部，所述阳极（
55
）设置在阴极（
54
）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘小虎，王洪义，
申请(专利权)人：常州晓士光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：