【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻装置
[0001]本技术涉及金属加工
,具体涉及一种蚀刻装置
。
技术介绍
[0002]金属表面处理行业发展迅速,现有的表面处理技术主要以喷砂技术为主,喷砂是借助外力将砂粒喷射到工件表面,达到粗化
、
清洁,装饰等效果,属于物理处理
。
喷砂过程中易造成大量粉尘,且借助外力喷砂时,金属表面受力不均,造成金属表面粗糙度高,降低了漆料附着力,不利于后续漆料喷涂
。
而为克服喷砂技术的问题,相关技术中还有采用化学蚀刻的蚀刻方式,对金属表面进行处理
。
如专利
TW200805513A
所公开的一种电子束蚀刻装置及其方法,该装置之结构系主要包括真空腔体
、
阴极板
、
阳极板及驱动单元,其中该阴极板及阳极板皆设于真空腔体中,该阴极板上具有复数以独立构成之阴极单元,该阴极单元之上设有一闸极层,又,该阳极板与阴极板对应平行设置,且该阳极板系用以设置欲进行蚀刻之基材,最后,该驱动单元系与闸极层及各阴极单元电性连接,借由该闸极层来汲引该阴极单元产生电子束进行蚀刻制程
。
上述电子束蚀刻装置及其方法具有如下问题:在蚀刻后,还需对工件进行清洗,上述电子束蚀刻装置未对此作出改进,使得工件的整体蚀刻流程效率偏低
。
技术实现思路
[0003]本技术旨在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一
。
为此,本技术提供了一种蚀刻装置,具有各流程间等待时间短,蚀刻效率 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种蚀刻装置,包括机架
(7)、
蚀刻组件
(1)、
传动组件
(2)
和夹紧组件
(3)
,所述蚀刻组件
(1)
设置于所述机架
(7)
的一侧,所述蚀刻组件
(1)
包括储水槽
(11)
,所述储水槽
(11)
用于装载电解质液,其特征在于,所述传动组件
(2)
设置于所述机架
(7)
上,所述传动组件
(2)
上设置有所述夹紧组件
(3)
,所述夹紧组件
(3)
能够在所述传动组件
(2)
上移动,所述夹紧组件
(3)
用于夹紧工件,所述夹紧组件
(3)
能够受驱动以使得所述工件进出所述储水槽
(11)。2.
根据权利要求1所述的蚀刻装置,其特征在于,所述传动组件
(2)
包括驱动件和传动链轮
(22)
,所述夹紧组件
(3)
与所述传动链轮
(22)
相连以使得所述夹紧组件
(3)
能够跟随所述传动链轮
(22)
移动
。3.
根据权利要求2所述的蚀刻装置,其特征在于,所述蚀刻组件
(1)
包括泵水槽
(12)、
阳极板
(13)
和阴极板
(14)
,所述阳极板
(13)
和阴极板
(14)
设置于所述储水槽
(11)
的两侧,所述泵水槽
(12)
设置于所述储水槽
(11)
的一端且与所述储水槽
(11)
连通
。4.
根据权利要求3所述的蚀刻装置,其特征在于,所述蚀刻装置还包括清洗组件<...
【专利技术属性】
技术研发人员:张来玉,陈平,郭源,
申请(专利权)人:上海苏古德智能设备有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。