单面抛光贴膜组件和抛光设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单面抛光贴膜组件和抛光设备，涉及抛光技术领域，该单面抛光贴膜组件包括载具

【技术实现步骤摘要】
单面抛光贴膜组件和抛光设备


[0001]本技术涉及抛光
，具体而言，涉及一种单面抛光贴膜组件和抛光设备
。

技术介绍

[0002]经专利技术人研究发现，目前的单面抛光载具，其通常是采用开槽的方式来容纳晶片，需要将晶片放入载具上的槽口内并利用贴蜡的方式进行固定
。
这种结构较为复杂，且使得晶片容易与槽口边缘的载具抵触，导致在抛光过程中损伤晶片
。
并且载具在抛光过程中容易受扭力导致隐裂，影响抛光安全
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单面抛光贴膜组件和抛光设备，其能够简化晶片固定结构，并且能够避免载具损伤晶片，同时增强载具结构强度，保证抛光过程的安全可靠
。
[0004]本技术的实施例是这样实现的：
[0005]第一方面，本技术提供一种单面抛光贴膜组件，包括载具
、
粘接膜层
、
晶片和固定外圈，所述固定外圈固定套设在所述载具外围，以紧箍所述载具，所述粘接膜层贴附在所述载具的一侧表面，并延伸至所述固定外圈，所述晶片粘接固定在所述粘接膜层的表面
。
[0006]在可选的实施方式中，所述单面抛光贴膜组件还包括抛光吸附头，所述抛光吸附头贴合在所述载具远离所述粘接膜层的一侧表面，并吸附在所述载具和
/
或所述固定外圈上
。
[0007]在可选的实施方式中，所述固定外圈为不锈钢圈，所述抛光吸附头的边缘设置有多个真空吸附孔，多个所述真空吸附孔对应在所述不锈钢圈的端面
。
[0008]在可选的实施方式中，所述载具呈圆盘状，所述固定外圈呈圆环状，且所述载具过盈装配在所述固定外圈中
。
[0009]在可选的实施方式中，所述固定外圈的径向厚度为所述载具半径的
1/10
‑
1/8。
[0010]在可选的实施方式中，所述固定外圈靠近所述粘接膜层的一侧表面呈磨砂状
。
[0011]在可选的实施方式中，所述抛光吸附头内设置有汇流腔，多个所述真空吸附孔均与所述汇流腔连通，所述抛光吸附头远离所述载具的一侧还设置有负压吸附管，所述负压吸附管与所述汇流腔连通，用于抽出所述汇流腔内的气体
。
[0012]在可选的实施方式中，所述载具靠近所述粘接膜层的一侧中心设置有定位凸柱，所述定位凸柱穿设于所述粘接膜层，且所述定位凸柱相对于所述载具的高度小于所述晶片相对于所述载具的高度
。
[0013]在可选的实施方式中，所述定位凸柱相对于所述载具的高度与所述粘接膜层的厚度相同
。
[0014]第二方面，本技术提供一种抛光设备，包括机台
、
抛光盘和如前述实施方式任
一项所述的单面抛光贴膜组件，所述载具设置在所述机台上，所述抛光盘设置在所述机台上方，用于对所述晶片进行抛光
。
[0015]本技术实施例的有益效果包括：
[0016]本技术实施例提供的单面抛光贴膜组件和抛光设备，将固定外圈固定套设在载具外围，从而提升载具结构强度，同时在载具的一侧表面贴附粘接膜层，将晶片粘接固定在粘接膜层的表面，通过粘接的方式实现晶片的固定
。
相较于现有技术，本技术提供的单面抛光贴膜组件，通过粘接膜层来固定晶片，避免通过开槽方式固定晶片，简化了晶片固定结构，并且能够避免载具损伤晶片，同时通过额外设置固定外圈，能够进一步增强载具的结构强度，保证抛光过程的安全可靠
。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0018]图1为本技术第一实施例提供的单面抛光贴膜组件在第一视角下的结构示意图；
[0019]图2为本技术第一实施例提供的单面抛光贴膜组件在第二视角下的结构示意图
。
[0020]图标
:
[0021]100
‑
单面抛光贴膜组件；
110
‑
载具；
111
‑
定位凸柱；
130
‑
粘接膜层；
150
‑
晶片；
170
‑
固定外圈；
190
‑
抛光吸附头；
191
‑
真空吸附孔；
193
‑
汇流腔；
195
‑
负压吸附管
。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计
。
[0023]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0024]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释
。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区
分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性
。
[0026]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜
。
如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜
。
[0027]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单面抛光贴膜组件，其特征在于，包括载具
(110)、
粘接膜层
(130)、
晶片
(150)
和固定外圈
(170)
，所述固定外圈
(170)
固定套设在所述载具
(110)
外围，以紧箍所述载具
(110)
，所述粘接膜层
(130)
贴附在所述载具
(110)
的一侧表面，并延伸至所述固定外圈
(170)
，所述晶片
(150)
粘接固定在所述粘接膜层
(130)
的表面
。2.
根据权利要求1所述的单面抛光贴膜组件，其特征在于，所述单面抛光贴膜组件还包括抛光吸附头
(190)
，所述抛光吸附头
(190)
贴合在所述载具
(110)
远离所述粘接膜层
(130)
的一侧表面，并吸附在所述载具
(110)
和
/
或所述固定外圈
(170)
上
。3.
根据权利要求2所述的单面抛光贴膜组件，其特征在于，所述固定外圈
(170)
为不锈钢圈，所述抛光吸附头
(190)
的边缘设置有多个真空吸附孔
(191)
，多个所述真空吸附孔
(191)
对应在所述不锈钢圈的端面
。4.
根据权利要求3所述的单面抛光贴膜组件，其特征在于，所述抛光吸附头
(190)
内设置有汇流腔
(193)
，多个所述真空吸附孔
(191)
均与所述汇流腔
(193)
连通，所述抛光吸附头
(190)
远离所述载具
(110)
的一侧还设置有负压吸附管
(195)
，所述负压吸附管
(195)
与所述汇...

【专利技术属性】
技术研发人员：林义复，林育仪，张炜国，徐晨，余明轩，田涵文，雷裕，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：