一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术给出了一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置，包括空气弹簧隔振机构

【技术实现步骤摘要】
一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置


[0001]本技术涉及精密仪器隔振
，具体地说是一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置
。

技术介绍

[0002]随着科研环境对精密度与测量精度要求的不断提高，环境中的低频振动干扰成为制约超精密光学
、
原子分子实验
、
量子实验
、
半导体实验与测量仪器精度和研究效果提高的重要因素之一
。
为精密科研实验配置空气弹簧隔振装置逐渐成为科研环境抑制环境振动的首要手段，但是对于目前市场空气弹簧隔振装置仍存在以下几点问题：
[0003]目前，市场上的空气弹簧隔振装置的垂直固有频率高，无法抑制环境中低频振动的干扰，现有空气弹簧隔振装置可以实现中高频
(5Hz
以上
)
抑制效果，但对于实现低频（
1Hz
）振动抑制需要在原有基础上加建隔振地基，这样不仅增加科研费用成本，而且局限性太强，实用性不高，因此，在实际使用中，空气弹簧隔振器一般难以隔振垂直
1Hz
的振动
。
[0004]目前，空气弹簧隔振器的系统水平方向阻尼小，导致冲击干扰下稳定时间长，谐振峰值高，空气弹簧隔振器是在柔性膜中充入压缩气体，利用气体的可压缩性实现弹簧支撑的一种非接触式弹簧，不存在水平方向机械摩擦，柔性膜的结构阻尼作为空气弹簧隔振器的垂直阻尼来源，导致冲击扰动激励下，振动能量衰减慢，系统稳定调整时间长，谐振峰值高
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置，该隔振装置能够有效隔离高
、
中
、
低各个频段的环境微振动干扰，提升防微振实验室的隔振水平，保证各类超精密仪器设备工作在最优环境，同时，利用三线倒摆阻尼机构有助于加速水平振动能量衰减，降低谐振峰值
。
[0006]本技术解决其技术问题所采取的技术方案是：一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置，包括空气弹簧隔振机构
、
三线倒摆阻尼机构
、
调节支撑机构
、
支撑底座，所述空气弹簧隔振机构包括主气室
、
副气室
、
环形弹性膜片，所述主气室和副气室上下分布，且主气室的底部通过若干层流阻尼件实现与所述副气室的贯通，在所述副气室的侧壁上设置一与外界贯通的气动接头，所述环形弹性膜片用于实现所述主气室的上部的密封，所述三线倒摆阻尼机构包括筒状安装座
、
倒摆钢丝绳
、
倒摆底座，所述筒状安装座的外侧壁构成所述主气室封闭的内侧壁，三根所述倒摆钢丝绳沿着所述筒状安装座的圆周方向等间距设置在所述筒状安装座内，且三根所述倒摆钢丝绳呈倒锥形分布，所述倒摆钢丝绳的上部与所述筒状安装座的上部固定连接，所述倒摆钢丝绳的下部与所述倒摆底座卡置连接，所述调节支撑机构设置在所述倒摆底座上，且调节支撑机构用于实现被隔振部件的支撑，所述支撑底座用于实现副气室的支撑，在所述支撑底座下部设置一高频隔振橡胶垫
。
[0007]优选地，所述调节支撑机构包括支撑管
、
调节螺纹杆
、
支撑盘，所述支撑管底部与
所述倒摆底座固定连接，所述调节螺纹杆的下部螺纹套置在所述支撑管的上部内，所述支撑盘采用螺钉固定设置在所述调节螺纹杆的上部
。
[0008]进一步地，在所述筒状安装座内填充有阻尼脂
。
[0009]进一步地，所述层流阻尼件的数量为
N
，
2≤N≤10。
[0010]进一步地，所述层流阻尼件包括环形橡胶圈，在所述环形橡胶圈内设置一气流阻尼板，在所述气流阻尼板上设置有若干阻尼孔
。
[0011]进一步地，所述阻尼孔包括上竖直段
、
中水平段和下竖直段，所述上竖直段
、
中水平段和下竖直段依次贯通连接
。
[0012]优选地，所述副气室的体积为主气室体积的
S
倍，
1≤S≤3。
[0013]优选地，所述环形弹性膜片由橡胶材料与尼龙帘线或涤纶帘线硫化而成
。
[0014]本技术的有益效果是：在本技术中，主气室和副气室通过若干层流阻尼件实现上下气流贯通，可降低空气弹簧隔振机构的刚度值及固有频率，另一方面采用层流阻尼件的方式实现了垂直小阻尼效果，有效隔离超精密仪器设备所处环境中全频带的微振动干扰；利用气流阻尼孔的折线状分布，在气流通过时，可有效加速振动能量衰减，缩短系统稳定时间；在本技术中，采用嵌套同轴三线倒摆阻尼结构的限位方式提高了空气弹簧隔振机构浮起高度对负刚度值的影响，同时三线倒摆阻尼结构实现了水平方向隔振效果以及快速衰减振动能量
、
缩短系统稳定时间；支撑底座的底部设置的高频橡胶隔振垫作为高频衰减措施，可以有效避免高频冲击扰动激励下对实验环境影响的现象
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的部分优选实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0016]图1为本技术的整体结构剖视图；
[0017]图2为本技术的整体结构示意图；
[0018]图3为环形弹性膜片的整体结构示意图；
[0019]图4为层流阻尼件的纵向剖视图；
[0020]图5为图1中
A
处放大图；
[0021]图6为图4中
B
处放大图；
[0022]图中：
11
主气室
、12
副气室
、13
环形弹性膜片
、14
上壳体
、15
下壳体
、151
气动接头
、16
环形限位环
、17
环形压板
、18
层流阻尼件
、181
环形橡胶圈
、182
气流阻尼板
、1821
上竖直段
、1822
中水平段
、1823
下竖直段
、21
筒状安装座
、22
倒摆钢丝绳
、23
倒摆底座
、31
支撑管
、32
调节螺纹杆
、33
支撑盘
、34
上环形限位环
、35
下环形限位环
、4
支撑底座
、41
环形板
、5
高频隔振橡胶
。
具体实施方式
[0023]下面将结合具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置，其特征是，包括空气弹簧隔振机构
、
三线倒摆阻尼机构
、
调节支撑机构
、
支撑底座，所述空气弹簧隔振机构包括主气室
、
副气室
、
环形弹性膜片，所述主气室和副气室上下分布，且主气室的底部通过若干层流阻尼件实现与所述副气室的贯通，在所述副气室的侧壁上设置一与外界贯通的气动接头，所述环形弹性膜片用于实现所述主气室的上部的密封，所述三线倒摆阻尼机构包括筒状安装座
、
倒摆钢丝绳
、
倒摆底座，所述筒状安装座的外侧壁构成所述主气室封闭的内侧壁，三根所述倒摆钢丝绳沿着所述筒状安装座的圆周方向等间距设置在所述筒状安装座内，且三根所述倒摆钢丝绳呈倒锥形分布，所述倒摆钢丝绳的上部与所述筒状安装座的上部固定连接，所述倒摆钢丝绳的下部与所述倒摆底座连接，所述调节支撑机构设置在所述倒摆底座上，且调节支撑机构用于实现被隔振部件的支撑，所述支撑底座用于实现副气室的支撑，在所述支撑底座下部设置一高频隔振橡胶垫
。2.
根据权利要求1所述的一种基于三线倒摆阻尼结构超低频隔振装置，其特征是，所述调节支撑机构包括支撑管
、
调节螺纹杆
、
支撑盘，所述支撑管底部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：文海军，文海艳，杜军，沈艳青，木其尔，沈艳荣，
申请(专利权)人：内蒙古迪创隔振设备有限公司，
类型：新型
国别省市：