一种晶体生长炉安全装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶体生长炉安全装置，目的是解决上现有技术中，向生长炉内充入惰性气体时，充入的气体压强难以评判，存在安全隐患的技术问题

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉安全装置


[0001]本技术涉及晶体生产
，具体地涉及一种晶体生长炉安全装置
。

技术介绍

[0002]晶体常见的生产方法有以下三种：提拉法
(
柴氏拉晶法
)、
泡生法
(
凯式长晶法
)
和温度梯度法
。
[0003]其中，泡生法在晶体生长完成后，需要向生长炉内充入惰性气体，并使生长炉维持在一定的压强下，使生长完成的晶体逐渐降温冷却，直至晶体整个生产过程结束
。
[0004]就目前的生长炉，在充入惰性气体的过程中，只能根据充入的惰性气体量评判生长炉内的压强
。
因此存在一定的安全隐患，如充入量评判失误发生爆炸等
。

技术实现思路

[0005]针对上现有技术中，向生长炉内充入惰性气体时，充入的气体压强难以评判，存在安全隐患的技术问题，本技术提供了一种晶体生长炉安全装置，具有当充入的气体压强达到标准时，可以自动切断气源的优点
。
[0006]本技术的技术方案是：
[0007]一种晶体生长炉安全装置，包括开设于生长炉侧壁的充气孔，还包括：
[0008]充气通道，一端设于所述充气孔上，另一端可连接冲压设备；
[0009]恒压通道，紧贴于所述充气通道，所述恒压通道的一端设于所述充气孔上，另一端封闭，具有一个滑动通道连通所述恒压通道和所述充气通道，所述滑动通道位于所述恒压通道远离所述生长炉的一端；
[0010]活塞，滑动设于所述恒压通道内，且位于所述充气孔与所述滑动通道之间；
[0011]弹簧，设于所述恒压通道具有所述滑动通道的一段内，所述弹簧的一端设于所述活塞上；
[0012]盖板，活动设于所述充气通道内，所述盖板的外周与所述充气通道的内壁存在间距；
[0013]连接组件，一端设于所述活塞上，另一端穿过所述滑动通道并设于所述盖板的侧部；
[0014]橡胶片，为柔性状态，覆盖于所述滑动通道上，所述橡胶片的面积大于所述滑动通道端部面积的二倍；
[0015]其中，所述连接组件穿过所述橡胶片的中部，并与所述橡胶片紧密连接，所述充气通道远离所述生长炉的一端内侧具有一个台阶结构，所述盖板可扣置与该台阶结构上
。
[0016]可选地，所述恒压通道内具有两个限位件，两个所述限位件分别位于所述活塞的两侧，所述弹簧远离所述活塞的一端连接于所述限位件上
。
[0017]可选地，所述恒压通道内设有一根导向杆，所述活塞中部具有与所述导向杆滑动连接的导向孔
。
[0018]可选地，所述恒压通道具有所述滑动通道的一段的侧部具有一个恒压孔
。
[0019]可选地，所述连接组件包括：
[0020]支撑杆，固定设于所述活塞靠近所述滑动通道的一侧上；
[0021]连接杆，垂直连接于所述支撑杆远离所述活塞的一端上，所述连接杆穿过所述滑动通道并穿过所述橡胶片；
[0022]其中，所述盖板设于所述连接杆远离所述支撑杆的一端上
。
[0023]可选地，具有若干所述支撑杆设于所述活塞上，具有一个环形板设于所有所述支撑杆远离所述活塞杆的一端上，所述连接杆的端部设于所述环形板的侧部
。
[0024]可选地，所述连接杆的中部具有一个滑块，所述滑块滑动设于所述滑动通道内
。
[0025]可选地，所述盖板靠近所述充气通道上台阶结构的一侧具有一个环形的密封垫
。
[0026]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0027]在生长炉的侧部设置充气孔，并在充气孔上设置充气通道和恒压通道
。
通过充气通道向生长炉内充入惰性气体，并在充入的过程中，生长炉内的气压增强，使得活塞在恒压通道内移动，活塞驱动连接组件在滑动通道内移动，然后促使盖板靠近充气通道内的台阶结构
。
当生长炉内的气体压强大于弹簧的弹力后，活塞被气压驱动，盖板随之移动，从而使盖板扣置在充气通道内的台阶结构上
。
[0028]由于在滑动通道上设置有橡胶片，即使充气通道和恒压通道之间设置有滑动通道，二者之间仍然处于相互隔绝的状态
。
[0029]通过本技术方案，可以实现自动切断充气气源的目的，从而避免安全事故的发生
。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0031]图1为本技术的安装位置示意图；
[0032]图2为本技术的结构示意图
。
具体实施方式
[0033]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例
。
正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例
。
因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的
。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是本技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0035]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明
。
[0036]实施例：
[0037]参见图1和图2，一种晶体生长炉安全装置，包括充气通道
1、
恒压通道
2、
活塞
3、
限位件
4、
弹簧
5、
盖板
6、
连接组件和橡胶片
7。
其中，生长炉8顶部的侧壁上开设有一个充气孔
9。
具体的：
[0038]充气通道1的一端和恒压通道2的一端均连接在充气孔9上，充气通道1的另一端可连接冲压设备，通过该冲压设备可以向生长炉8内充入惰性气体，恒压通道2的另一端封闭
。
[0039]充气通道1和恒压通道2紧贴设置，二者的连接处设置有一个条形的滑动通道
10
，滑动通道
10
位于恒压通道2远离生长炉8的一端，滑动通道
10<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶体生长炉安全装置，其特征在于，包括开设于生长炉侧壁的充气孔，还包括：充气通道，一端设于所述充气孔上，另一端可连接冲压设备；恒压通道，紧贴于所述充气通道，所述恒压通道的一端设于所述充气孔上，另一端封闭，具有一个滑动通道连通所述恒压通道和所述充气通道，所述滑动通道位于所述恒压通道远离所述生长炉的一端；活塞，滑动设于所述恒压通道内，且位于所述充气孔与所述滑动通道之间；弹簧，设于所述恒压通道具有所述滑动通道的一段内，所述弹簧的一端设于所述活塞上；盖板，活动设于所述充气通道内，所述盖板的外周与所述充气通道的内壁存在间距；连接组件，一端设于所述活塞上，另一端穿过所述滑动通道并设于所述盖板的侧部；橡胶片，为柔性状态，覆盖于所述滑动通道上，所述橡胶片的面积大于所述滑动通道端部面积的二倍；其中，所述连接组件穿过所述橡胶片的中部，并与所述橡胶片紧密连接，所述充气通道远离所述生长炉的一端内侧具有一个台阶结构，所述盖板可扣置与该台阶结构上
。2.
根据权利要求1所述的晶体生长炉安全装置，其特征在于，所述恒压通道内具有两个限位件，两个所述限位件分别位于所述活塞的两侧，所述弹簧远离所述活塞的一端连接于所述限位件上
。3.
根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚俊茹，张茂彬，杨超，
申请(专利权)人：中盾晶体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：