一种单晶硅片自动去胶的水热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶硅片加工的技术领域，且公开了一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片自动去胶的水热装置


[0001]本技术涉及单晶硅片加工的
，具体为一种单晶硅片自动去胶的水热装置
。

技术介绍

[0002]单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件
、
太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成
。
[0003]现有专利
CN218655821U
一种单晶硅片自动去胶的水热装置的文献提出，本技术提供的单晶硅片自动去胶水热装置，能够更好地用于清除硅片加工后其上残存的粘胶渍
、
废屑以及灰尘等异物，工作效率高，使用方便
。
[0004]但是现有专利
CN218655821U
在上料和出料上达不到装置的自动化目的，需要人工参与，同时因为去胶流程没有一体化，降低了单晶硅片自动去胶的加工效率，并且对于不同尺寸的加工件，不能灵活调节支撑架的大小，使得装置使用面较为局限
。

技术实现思路

[0005](r/>一
)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构
(1)、
传送机构
(2)
和支撑机构
(3)
，其特征在于：所述传送机构
(2)
位于主体机构
(1)
的外端，所述支撑机构
(3)
位于传送机构
(2)
的下端，所述主体机构
(1)
包括机体
(101)、
抽气泵
(102)、
排气口
(103)
和抽气管
(104)
，所述抽气泵
(102)
固定安装在机体
(101)
的上端，所述排气口
(103)
固定设置在抽气泵
(102)
的上端，所述抽气管
(104)
固定安装在机体
(101)
的内端，所述抽气管
(104)
与抽气泵
(102)
连通；所述主体机构
(1)
还包括电动推杆一
(105)、
推动杆一
(106)、
压板
(107)、
热水槽
(108)、
支撑板
(109)、
加热棒
(110)、
弹簧体
(111)、
出水口
(112)、
进水口
(113)
和控制面板
(114)
，所述电动推杆一
(105)
固定安装在机体
(101)
内部的上端，所述推动杆一
(106)
活动安装在电动推杆一
(105)
的下端，所述压板
(107)
固定安装在推动杆一
(106)
的下端
。2.
根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述热水槽
(108)
固定设置在机体
(101)
内部的下端，所述支撑板
(109)
活动安装在热水槽
(108)
的内部，所述加热棒
(110)
固定安装在支撑板
(109)
的下方，所述弹簧体
(111)
活动安装在支撑板
(109)
的下端，所述出水口
(112)
固定设置在热水槽
(108)
的前端，所述进水口
(113)
固定设置在出水口
(112)
的上方，所述控制面板
(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊飞，王英哲，杨志强，
申请(专利权)人：内蒙古科思通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：