薄膜的制备装置制造方法及图纸

本申请提供了一种薄膜的制备装置。该制备装置包括槽体以及第一旋转机构，槽体中用于盛放预定溶液；第一旋转机构至少在预定平面旋转，以抓取基板并将基板放入槽体中，以使得基板的预定表面浸入预定溶液中，预定溶液在预定表面上形成预定溶液对应的薄膜，预定平面垂直槽体的高度方向，预定表面为基板的垂直于基板的厚度方向的表面。通过设置槽体以及第一旋转机构，使得可以通过第一旋转机构自动抓取基板并将待镀膜基板传入槽体中，实现了器件的自动镀膜的过程，通过制备装置可以对基板批量镀膜，由于不同位置的薄膜形成过程不存在时间差，保证了装置可以实现质量较好的大面积薄膜的制备，同时也能够实现对批量基板进行镀膜。同时也能够实现对批量基板进行镀膜。同时也能够实现对批量基板进行镀膜。

【技术实现步骤摘要】
薄膜的制备装置


[0001]本申请涉及太阳能电池的制备领域，具体而言，涉及一种薄膜的制备装置。

技术介绍

[0002]随着钙钛矿太阳能电池迅速发展，实现大面积制造钙钛矿顶电池成为重点。
[0003]目前，钙钛矿太阳能电池中各功能层的大面积制备过程中，存在难制备以及质量差等问题，其中，在钙钛矿电池的质量较差时，电池本身会形成巨大的载流子复合中心，而捕获器件中传输过程中的载流子，导致器件的性能较差。
[0004]另外，关于制备方法方面，目前主要通过真空蒸镀、涂布、刮涂以及喷涂等方法制备大面积的钙钛矿电池，但是，由于上述几种制备方法均需要对各种数据精确控制，导致器件的可重复性急剧降低，从而制约大面积钙钛矿电池的批量生产。
[0005]因此，亟需一种制备大面积钙钛矿电池的方法，在保证质量较好的同时，可以实现批量生产。

技术实现思路

[0006]本申请的主要目的在于提供一种薄膜的制备装置，以至少解决现有技术中的大面积钙钛矿电池难以实现量产的问题。
[0007]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种薄膜的制备装置，所述制备装置包括槽体以及第一旋转机构，其中，所述槽体用于盛放预定溶液；所述第一旋转机构至少在预定平面旋转，以抓取基板并将所述基板放入所述槽体中，使得所述基板的预定表面浸入所述预定溶液中，在所述预定表面上形成薄膜，所述预定平面垂直所述槽体的高度方向，所述预定表面为所述基板的垂直于所述基板的厚度方向的表面。
[0008]可选地，所述制备装置还包括感应装置，所述感应装置位于所述槽体内，所述感应装置用于检测所述槽体内的所述预定溶液的液面高度。
[0009]可选地，所述制备装置还包括补液装置，所述补液装置与所述槽体连通，所述补液装置用于在所述液面高度小于预定值的情况下，为所述槽体补入所述预定溶液，使得补液后的所述预定溶液的所述液面高度不小于所述预定值。
[0010]可选地，所述制备装置还包括运送泵，所述运送泵的一端与所述补液装置连通，所述运送泵的另一端与所述槽体连通，所述补液装置通过所述运送泵为所述槽体进行补液。
[0011]可选地，所述制备装置还包括进料结构以及出料结构，其中，所述进料结构用于将基板运送至所述第一旋转机构可抓取的位置；所述出料结构用于运送形成所述薄膜后的所述基板。
[0012]可选地，所述制备装置还包括结晶装置，所述结晶装置用于将形成的所述薄膜进行结晶。
[0013]可选地，所述结晶装置为加热台以及真空闪蒸装置中至少之一。
[0014]可选地，所述制备装置还包括第一承载装置，所述第一承载装置用于承载形成所
述薄膜后的所述基板，所述第一旋转机构将形成所述薄膜后的所述基板放置在所述第一承载装置上。
[0015]可选地，所述第一承载装置包括多个载板，多个所述载板间隔设置。
[0016]可选地，所述制备装置还包括第二旋转机构，所述第二旋转机构用于将形成所述薄膜后的所述基板从所述第一承载装置放置在预定位置。
[0017]可选地，所述第一旋转机构包括转轴以及吸附结构，其中，所述转轴用于至少在所述预定平面旋转，并将所述基板放入所述槽体中；所述吸附结构与所述转轴的端部连接，所述吸附结构用于吸附所述基板。
[0018]可选地，所述转轴具有翻转功能。
[0019]可选地，一个所述转轴的端部连接有多个所述吸附结构。
[0020]可选地，所述预定溶液为电子传输层溶液、空穴传输层溶液以及钙钛矿溶液中之一。
[0021]应用本申请的技术方案，所述的制备装置包括槽体以及第一旋转机构，其中，所述槽体中用于盛放预定溶液；所述第一旋转机构至少在预定平面旋转，以抓取基板并将所述基板放入所述槽体中，以使得所述基板的预定表面浸入所述预定溶液中，所述预定溶液在所述预定表面上形成所述预定溶液对应的薄膜，其中，所述预定平面垂直所述槽体的高度方向，所述预定表面为所述基板的垂直于所述基板的厚度方向的表面。相比现有技术中的大面积钙钛矿电池难以实现量产的问题，本申请的所述制备装置，通过设置所述槽体以及所述第一旋转机构，使得可以通过所述第一旋转机构自动抓取所述基板并将所述待镀膜基板传入所述槽体中，实现了所述器件的自动镀膜的过程，通过所述制备装置可以对所述基板批量镀膜，又因为所述薄膜是通过所述第一旋转机构直接将所述基板的所述预定表面浸入所述预定溶液中形成的，使得所述基板的所述预定表面的不同位置的薄膜可以同时形成，避免了现有技术中的大面积制备薄膜主要通过涂布、刮涂以及喷涂等方法，导致在不同位置形成薄膜存在时间差，从而影响大面积薄膜的均匀性，进而导致薄膜的质量差的问题，而本申请的所述基板的所述预定表面不同位置的薄膜形成过程不存在时间差，保证了所述装置可以实现质量较好的大面积薄膜的制备，同时也能够实现对批量基板进行镀膜，解决了现有技术中的大面积钙钛矿电池难以实现量产的问题。
附图说明
[0022]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0023]图1示出了根据本申请的一种实施例的薄膜的制备装置的俯视结构示意图；
[0024]图2示出了根据本申请的一种实施例的槽体、补液装置以及运送泵的结构示意图。
[0025]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0026]10、槽体；20、第一旋转机构；30、基板；40、感应装置；50、补液装置；60、运送泵；70、进料结构；80、出料结构；90、预定器件；100、结晶装置；110、第一承载装置；111、载板；120、第二旋转机构；201、转轴；202、吸附结构。
具体实施方式
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0028]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0029]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0030]正如
技术介绍
中所介绍的，现有技术中的大面积钙钛矿电池难以实现量产的问题，为解决上述的问题，本申请的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备装置包括：槽体，用于盛放预定溶液；第一旋转机构，至少在预定平面旋转，以抓取基板并将所述基板放入所述槽体中，使得所述基板的预定表面浸入所述预定溶液中，在所述预定表面上形成薄膜，所述预定平面垂直所述槽体的高度方向，所述预定表面为所述基板的垂直于所述基板的厚度方向的表面。2.根据权利要求1所述的薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：感应装置，位于所述槽体内，所述感应装置用于检测所述槽体内的所述预定溶液的液面高度。3.根据权利要求2所述的薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：补液装置，所述补液装置与所述槽体连通，所述补液装置用于在所述液面高度小于预定值的情况下，为所述槽体补入所述预定溶液，使得补液后的所述预定溶液的所述液面高度不小于所述预定值。4.根据权利要求3所述的薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：运送泵，一端与所述补液装置连通，另一端与所述槽体连通，所述补液装置通过所述运送泵为所述槽体进行补液。5.根据权利要求1所述的薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：进料结构，用于将所述基板运送至所述第一旋转机构可抓取的位置；出料结构，用于运送形成所述薄膜后的所述基板。6.根据权利要求1所述的薄膜的制备装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗贝贝，邱开富，王宏涛，牛闯，吴涛，王皓正，许文理，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：