一种纳米压印定位夹具及流转装置制造方法及图纸

本申请涉及一种纳米压印定位夹具及流转装置，至少包括机架机构

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印定位夹具及流转装置


[0001]本专利技术涉及微纳加工领域，具体涉及一种纳米压印基板或带纳米结构的模板的定位夹具及流转装置
。

技术介绍

[0002]纳米压印技术是一种以纳米尺度级别的模板为基础的纳米结构制造技术，具体来说，是将通过电子束光刻
、X
射线光刻或极紫外光刻等技术刻写的模板结构，通过机械接触的方式，转移至基板上，转移的介质通常是一层很薄的压印胶，经加热后冷却或辐照等方法使压印胶固化，然后采用等离子刻蚀等工艺完成转移结构的复制
。
相对于传统的光刻技术，纳米压印技术结构尺度不受光波波长的限制，分辨率高；相对于电子束光刻
、X
射线光刻或极紫外光刻等技术，纳米压印技术的设备成本低
、
生产效率高
。
纳米压印技术已广泛应用在生物医学
、
高密度存储
、
光子晶体
、
太阳能电池
、
高精度印刷电路板及其它半导体器件的制作等
。
[0003]纳米压印技术多采用人工搬运物料的方式，将基板与带纳米结构的模板叠放在工作台上，然后对基板及模板施加压力载荷完成纳米结构的转移
。
随着纳米压印技术的逐步成熟，纳米压印的产业化需求逐步明显，纳米压印自动化生产的需求也逐步提高，这就需要一套运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具，以及相应夹具的定位装置和相应夹具的流转装置，实现基板或模板的定位及自动化上下料
。
目前的应用研究中，纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应的定位装置及相应的流转装置尚处于空缺
。
[0004]现有纳米压印技术一般采用人工的方式将已贴合好的基板及模板放置在压印台，完成压印后取出，生产效率低
。
[0005]本专利技术提出的一种纳米压印自动化生产时运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应夹具的定位装置及相应夹具的流转装置，结构简单，定位精度及定位效率高，并能兼容多种尺寸规格的产品
。

技术实现思路

[0006]为了解决上述问题，本专利技术提出了一种纳米压印定位夹具及流转装置，该装置至少包括机架机构
、
流转机构
、
定位机构及夹具，流转机构和定位机构固定连接在机架机构，其中，
[0007]机架机构包括第一支撑板和支撑梁，第一支撑板与支撑梁固定连接；
[0008]流转机构包括第二支撑板
、
上流转单元和下流转单元，第二支撑板布置在第一支撑板上且与第一支撑板固定连接，上流转单元布置在第二支撑板的上部，下流转单元布置在第二支撑板的下部，下流转单元与上流转单元上下对齐，且上流转单元和下流转单元均与第二支撑板固定连接；
[0009]定位机构包括第三支撑板
、
导向轴
、
定位安装板
、
流转单元以及顶板，第三支撑板固定连接在第一支撑板上，导向轴穿过第三支撑板，且安装板与导向轴的一端固定连接，流
转单元固定连接在安装板上；
[0010]夹具包括第四支撑板和托板，第四支撑板布置在流转机构或定位机构上，托板固定在第四支撑板上，且托板布置有凹槽
。
[0011]在一个实施例中，流转机构还包括支架和流转传感器，支架固定连接在第二支撑板上，一个或多个传感器均匀分布在支架上
。
[0012]在一个实施例中，上流转单元和下流转单元均至少包括两个连接板
、
流转安装板
、
支撑轮
、
传动轮
、
电机和皮带；两个连接板平行对称的固定在第二支撑板上，多个支撑轮对称布置在每个连接板上，且与连接板铰接安装，每个支撑轮相对连接板进行旋转运动；传动轮铰接布置在第二支撑板上，且与电机的电机轴固定连接，电机驱动传动轮进行旋转运动，电机固定连接在电机安装板上，流转安装板与第二支撑板固定连接，皮带布置在支撑轮和传动轮上，由支撑轮和传动轮的旋转运动牵引做平移运动
。
[0013]在一个实施例中，定位机构还包括一个或多个导向套，导向套布置在第三支撑板上，导向轴布置在导向套内，且相对导向套上下滑动
。
[0014]在一个实施例中，定位机构还包括升降气缸和顶板气缸，升降气缸布置在第三支撑板上，升降气缸的固定块与第三支撑板固定连接，升降气缸的活动块与定位安装板固定连接，定位安装板由升降气缸驱动做升降运动；顶板气缸布置在定位安装板上，顶板气缸的固定块与定位安装板固定连接
,
顶板气缸的活动块与顶板固定连接，顶板由顶板气缸驱动做升降运动
。
[0015]在一个实施例中，顶板上还布置有定位一个或多个定位杆，定位安装板上还固定连接有前安装块
、
上安装块和支架，两个前安装块分别布置在定位安装板的前端两侧，四个上安装块对称布置在定位安装板的上端两侧，定位传感器固定在支架上
。
[0016]在一个实施例中，定位流转单元的多个支撑轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，定位流转单元的两个传动轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，定位流转单元的电机固定在定位安装板上，且该电机的电机轴与流转单元的传动轮固定连接，驱动该传动轮做旋转运动，定位流转单元的两条皮带布置在支撑轮和传动轮上，由定位流转单元的支撑轮和传动轮的旋转运动牵引做平移运动
。
[0017]在一个实施例中，夹具布置在皮带上，随皮带的移动做平移运动，夹具还包括夹具支撑轮，多个夹具支撑轮布置在第四支撑板上，且夹具支撑轮与流转机构的连接板的内侧或定位机构的定位安装板的内侧接触或具有间隙，确保夹具的平移运动轨迹不偏移
。
[0018]在一个实施例中，夹具还包括布置在第四支撑板上的一个或多个定位孔，定位孔与定位机构的定位杆一一对应配合定位
。
[0019]在一个实施例中，上流转单元和下流转单元改变夹具的运载方向，改变夹具的上下料方向
。
[0020]本专利技术的运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应夹具的定位装置及相应夹具的流转装置，具有上流转单元及下流转单元的流转机构
、
具有升降功能的定位机构
、
具有定位杆的定位机构
、
具有定位孔的夹具
、
具有支撑轮的夹具，结构简单，定位精度及定位效率高，并能兼容多种尺寸规格的产品
。
附图说明
[0021]图1为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的结构示意图；
[0022]图2为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的流转机构结构示意图；
[0023]图3为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的定位机构结构示意图；
[0024]图4为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的夹具结构示意图
。
具体实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种纳米压印定位夹具及流转装置，其特征在于，所述装置至少包括机架机构
、
流转机构
、
定位机构及夹具，所述流转机构和定位机构固定连接在机架机构，其中，所述机架机构包括第一支撑板和支撑梁，所述第一支撑板与支撑梁固定连接；所述流转机构包括第二支撑板
、
上流转单元和下流转单元，所述第二支撑板布置在第一支撑板上且与第一支撑板固定连接，所述上流转单元布置在第二支撑板的上部，所述下流转单元布置在第二支撑板的下部，所述下流转单元与上流转单元上下对齐，且所述上流转单元和下流转单元均与第二支撑板固定连接；所述定位机构包括第三支撑板
、
导向轴
、
定位安装板
、
定位流转单元以及顶板，所述第三支撑板固定连接在第一支撑板上，所述导向轴穿过第三支撑板，且定位安装板与导向轴的一端固定连接，所述定位流转单元固定连接在定位安装板上；所述夹具包括第四支撑板和托板，所述第四支撑板布置在流转机构或定位机构上，所述托板固定在第四支撑板上，且所述托板布置有凹槽
。2.
根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述流转机构还包括流转支架和流转传感器，所述流转支架固定连接在第二支撑板上，一个或多个所述流转传感器均匀分布在流转支架上
。3.
根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述上流转单元和下流转单元均至少包括两个流转连接板
、
流转安装板
、
流转支撑轮
、
流转传动轮
、
流转电机和流转皮带；所述两个流转连接板平行对称的固定在第二支撑板上，多个所述流转支撑轮对称布置在每个流转连接板上，且与流转连接板铰接安装，每个所述流转支撑轮相对流转连接板进行旋转运动；所述流转传动轮铰接布置在第二支撑板上，且与所述流转电机的流转电机轴固定连接，所述流转电机驱动流转传动轮进行旋转运动，所述流转电机固定连接在流转电机安装板上，所述流转安装板与第二支撑板固定连接，所述流转皮带布置在流转支撑轮和流转传动轮上，由流转支撑轮和流转传动轮的旋转运动牵引做平移运动
。4.
根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述定位机构还包括一个或多个导向套，所述导向套...

【专利技术属性】
技术研发人员：程鑫，娄飞，潘宏权，宋新杰，蓝明，
申请(专利权)人：深圳市雕拓科技有限公司深圳市利和兴股份有限公司，
类型：发明
国别省市：