一种实现波长拓展的二维材料二硒化锡近红外探测器制造技术

本发明专利技术公开了一种实现波长拓展的二维材料二硒化锡近红外探测器，包括上电极

【技术实现步骤摘要】
一种实现波长拓展的二维材料二硒化锡近红外探测器


[0001]本专利技术涉及近红外探测器
，尤其涉及一种实现波长拓展的二维材料二硒化锡近红外探测器
。

技术介绍

[0002]在二维材料红外探测器中，二维材料具有特殊的能带结构和光电特性，使其在红外波段具有优异的性能
。
二维材料红外探测器的工作原理一般基于光的吸收引起的载流子产生和传输效应，通过探测器中的电子或空穴的运动来响应红外光信号
。
与传统的红外探测器相比，二维材料红外探测器具有许多优点
。
首先，二维材料具有较高的光电转换效率和较快的响应速度，可用于高速红外成像和通信等领域
。
此外，二维材料还具有良好的机械柔性和可薄膜化的特点，能够在灵活的基底上制备出柔性红外探测器
。
在红外探测器的性能上截止波长是探测器的核心指标之一，它决定了探测器可探测的光谱范围，为此，对于红外探测器而言，延长截止波长一直是被关注的焦点之一
。
探测器件的功能就是将光子信号转变成电子信号，所以涉及到的信息本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种实现波长拓展的二维材料二硒化锡近红外探测器，包括上电极
、
等离激元条状周期结构
、
上介质材料层
、
二维材料二硒化锡激活层
、
下介质材料层
、
下电极；其特征在于，所述等离激元条状周期结构与下电极构成等离激元光学微腔结构；所述等离激元条状结构耦合外界入射的电磁波，所述等离激元条状周期结构的上层与等离激元条状周期结构的下层耦合形成横向传播的电磁场
。2.
如权利要求1所述的近红外探测器，其特征在于，所述等离激元条状周期结构，周期为
0.68
‑
0.83
微米，占空比是
0.5。3.
如权利要求2所述的近红外探测器，其特征在于，所述等离激元条状周期结构为金薄膜，采用电子束曝光或者紫外光刻技术制作
。4.
如权利要求1所述的近红外探测器，其特征在于，所述上电极为
Cr/Au
薄膜，厚度为
50

【专利技术属性】
技术研发人员：陈雨璐，王文翌，王福梅，
申请(专利权)人：苏州科晓电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：