基于真空镀膜在线检测电机控厚装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置包括位于外壳内部的驱动板和多个并排设置的控厚组件，所述控厚组件包括依次连接的直线电机

【技术实现步骤摘要】
基于真空镀膜在线检测电机控厚装置


[0001]本专利技术涉及机械自动化
，具体涉及一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置
。

技术介绍

[0002]在磁溅射真空镀膜机使用环节中补正板起到调节磁溅射均匀度，控制工件镀膜厚度等关键工艺参数，然而每一块补正板的位置却都需要人工手动调节，极大的降低了镀膜机的效率，并且每一次开炉闭炉都会带来镀膜工作过程中的浪费
。
通过调整补正板与磁溅射离子膜发射柱之间的间隙，改变离子膜通过浓度，控制镀膜层厚度
。
传统的补正板与真空镀膜设备之间是通过螺钉和
U
型槽连接
。
其具体工艺过程需要解除真空环境，取出镀膜物料，根据检测各个点镀膜厚度，手动调整对应点补正板位移距离，控制镀膜厚度一致性
。
现有技术对补正板的位移控制
、
误工费时，而且工作过程中经常因为手动调整精度误差致使上述工作重复进行，且进行上述工作，每次都需要制造和解除真空环境，因此可靠性较低，时间耗费较长，成本较高
。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，能实现在线控制真空镀膜厚度，还可以实现厚度变化性镀膜
。
鉴于上述问题，本申请提供了一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置
。
[0004]一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，包括位于外壳内部的驱动板和多个并排设置的控厚组件，所述控厚组件包括依次连接的直线电机
、r/>连杆
、
连接块和补正板，所述驱动板通过直线电机控制补正板接近或者远离离子膜发射柱，所述连杆穿过外壳的前面板，连杆处设置有位置锁死机构
。
[0005]所述直线电机通过电机基座固定在外壳内
。
[0006]所述位置锁死机构包括固定座
、
凸轮
、
压板
、
支撑杆和弹簧，所述固定座内设置有直线电机，所述直线电机的前端固定连接有凸轮，所述压板的上侧设置有与凸轮相配合的滑坡，所述压板的下方设置有多个与连杆相配合的半圆挖槽，所述压板的两侧设置有穿过支撑杆的开孔，所述支撑杆的另一端固定在外壳内部，所述支撑杆上设置有弹簧，通过弹簧和凸轮控制压板与连杆之间的距离
。
[0007]所述压板的挖槽内有软质硅胶
。
[0008]所述连杆还设置有限位装置，所述限位装置包括固定于前面板上的限位条，所述连杆的圆柱面开有平面切槽，所述限位条位于平面切槽的槽口部位，所述槽口的长度为电机的安全位移距离
。
[0009]所述连杆的前端通过螺栓与连接块固定连接，所述连接块的前端通过双重螺纹与补正板固定连接
。
[0010]所述连杆位于外壳外部的部分，加装耐高温橡胶伸缩防护罩
。
[0011]所述直线电机的外部设置有冷却箱，外壳表面贴覆有防热辐射的隔热铝箔纸
。
[0012]所述控厚组件并排设置的数量为6～
10
个
。
[0013]所述多个并排设置的控厚组件中，能够通过驱动板整体控制控厚组件的直线电机，调整补正板与离子膜发射柱的间隙宽度；还能够单独调整单台控厚组件的直线电机，以及控制多台控厚组件的直线电机，实现多块补正板的位置不同
。
[0014]本申请所提供的基于真空镀膜在线监测电机控厚装置，结构简单
、
操作方便
、
省力省时
、
可靠性较高，成本较低，而且微特电机适应性强，环境因素影响较小，不仅能实现在线控制真空镀膜厚度，还可以实现厚度变化性镀膜，易于推广应用，具有较大实用价值
。
附图说明
[0015]图1为本专利技术实施例提供的基于真空镀膜在线检测电机控厚装置的应用场景图；
[0016]图2为本专利技术实施例提供的基于真空镀膜在线监测电机控厚装置的立体图；
[0017]图3为本专利技术实施例提供的基于真空镀膜在线监测电机控厚装置的俯视图；
[0018]图4为本专利技术实施例提供的基于真空镀膜在线监测电机控厚装置的工作示意图；
[0019]图5为冷却箱体的位置示意图；
[0020]图6是所述位置锁死机构的侧面示意图；
[0021]附图标记说明：
[0022]1‑
驱动板；2‑
通信线；3‑
电机；4‑
连杆；5‑
连接块；6‑
补正板；7‑
支撑架；8‑
离子膜发射柱；9‑
冷却箱体；
10
‑
镀膜工件；
11
‑
真空仓；
12
‑
镀膜工件架；
13
‑
位置锁死机构；
14
‑
固定座；
15
‑
凸轮；
16
‑
压板；
17
‑
前面板；
18
‑
防护罩；
19
‑
弹簧；
20
‑
槽口
。
具体实施方式
[0023]如图1所示，在真空仓
11
的内部安装有镀膜工件架
12、
离子膜发射柱8，所述镀膜工件架
12
用于固定支撑镀膜工件
10
，所述离子膜发射柱8向镀膜工件
10
进行磁溅射，两者之间设置有基于真空镀膜在线检测电机控厚装置
。
所述基于真空镀膜在线检测电机控厚装置通过支撑架7固定在真空仓
11
的内部
。
[0024]所述基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，包括外壳，以及在外壳内部如图2和图3所示的驱动板1和控厚组件
。
所述外壳由模块外壳
、
前面板
17
和后面板组成，所述模块外壳的前后两侧分别通过前面板
17
和后面板封口，所述外壳采用航空级铝合金材质打造，具有强度高重量轻等特点，且具有电磁屏蔽的作用，不仅可以独立使用，内部通过安装连接件可使多个控厚装置拼接在一起
。
所述控厚组件包括依次连接的电机
3、
连杆
4、
连接块5和补正板6，所述连杆4穿过前面板
17
，所述驱动板1通过通信线2用于驱动多组控厚组件，本实施例中，所述控厚组件设置有八组，所述驱动板1采用八轴驱动板，位于八组控厚组件的上方，所述通信线2与电机3相连接
。
[0025]所述电机3采用直线电机，并固定在电机基座上，直线电机具有体积小
、
重量轻
、
推力大
、
响应迅速等优良特性，在真空环境下依然能够稳定工作；电机基座采用一体化整体加工可直接与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，其特征在于：包括位于外壳内部的驱动板和多个并排设置的控厚组件，所述控厚组件包括依次连接的直线电机
、
连杆
、
连接块和补正板，所述驱动板通过直线电机控制补正板接近或者远离离子膜发射柱，所述连杆穿过外壳的前面板，连杆处设置有位置锁死机构
。2.
根据权利要求1所述的基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，其特征在于：所述直线电机通过电机基座固定在外壳内
。3.
根据权利要求1所述的基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，其特征在于：所述位置锁死机构包括固定座
、
凸轮
、
压板
、
支撑杆和弹簧，所述固定座内设置有直线电机，所述直线电机的前端固定连接有凸轮，所述压板的上侧设置有与凸轮相配合的滑坡，所述压板的下方设置有多个与连杆相配合的半圆挖槽，所述压板的两侧设置有穿过支撑杆的开孔，所述支撑杆的另一端固定在外壳内部，所述支撑杆上设置有弹簧，通过弹簧和凸轮控制压板与连杆之间的距离
。4.
根据权利要求3所述的基于真空镀膜在线检测电机控厚装置，其特征在于：所述压板的挖槽内有软质硅胶
。5.
根据权利要求1所述的基于真空镀膜在线...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶佩青，冯志伟，田湛，
申请(专利权)人：江苏高同装备有限公司，
类型：发明
国别省市：