基板升降移送装置及基板处理移送系统制造方法及图纸

在基板升降移送装置中，在第一基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第一姿势切换用保持构件的第一姿势切换部件，在第二基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第二姿势切换用保持构件的第二姿势切换部件，在竖立设置于第一姿势切换部件的一侧的支承框架上以能够循环行走的方式设置沿上下方向延伸的环状部件，在环状部件上在圆周方向上隔开间隔地设置多个升降用保持构件。根据该基板升降移送装置，能够充分地削减其占有平面面积，能够有效利用工厂内空间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在清洁输送(Clean Material Handling)等领域使用的基板升降移送 装置及基板处理移送系统。
技术介绍
在清洁输送的领域中使用如下的基板升降移送装置在配置于下层底板的第一 基板处理装置和配置于上层底板的第二基板处理装置之间，进行玻璃基板等基板的升降移 送。一般的基板升降移送装置的结构等如下所述。S卩、在第一基板处理装置的附近，设置有沿上下方向延伸的升降导向部，在该升降 导向部以能够升降的方式设置有用于支承基板的升降工作台。另外，在升降导向部的适当 位置，设置有使升降工作台升降的升降用马达。这里，升降工作台能够以与第一基板处理装 置对应的高度相对第一基板处理装置将基板引出及送出。另外，升降工作台能够以与第二 基板处理装置对应的高度相对第二基板处理装置将基板引出及送出。因此，通过升降用马达的驱动使升降体下降，使升降体位于与第一基板处理装置 对应的高度。其次，基板从第一基板处理装置被引出到升降工作台。而且，通过升降用马达 的驱动使升降体上升，使升降体位于与第二基板处理装置对应的高度。而且，基板从升降工 作台被送出到第二基板处理装置。这样，从第一基板处理装置向第二基板处理装置进行基板的升降移送。另外，通过 使基板升降移送装置进行与前述动作相反的动作，而从所述第二基板处理装置向所述第一 基板处理装置进行基板的升降移送。此外，作为与本专利技术关联的现有技术，有下述专利文献1公开的技术。专利文献1 日本国特开平1-318247号公报但是，在上述一般的基板升降移送装置中，由于支承基板的升降工作台以能够升 降的方式设置在升降导向部，所以使基板保持成倒伏(水平)姿势进行升降。由此，作为基 板升降移送装置的占有平面面积(设置平面面积)，至少一需要张基板的量的平面面积以 上。因此，基板升降移送装置的占有平面面积增大，工厂内空间的有效利用变得困难。尤其， 近年，基板的大型化急速发展，该问题变得更加显著。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够解决前述问题的、新结构的基板升降移送装置及基 板处理移送系统。本专利技术的基板升降移送装置，在配置于下层且进行对基板的处理的第一基板处理 装置、和配置在上层且进行对基板的处理的第二基板处理装置之间，进行基板的升降移送， 具备第一姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第一基板处理装置 的一侧，并具有保持基板的第一姿势切换用保持构件，将基板的姿势在倒伏姿势和立起姿 势间进行切换；第一姿势切换用驱动器，使所述第一姿势切换部件摇动；第二姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第二基板处理装置的一侧，并具有保持基 板的第二姿势切换用保持构件，将基板的姿势在倒伏姿势和立起姿势间进行切换；第二姿 势切换用驱动器，使所述第二姿势切换部件摇动；环状部件，以能够循环行走的方式设置在 竖立设于所述第一姿势切换部件的一侧的支承框架上，并沿上下方向延伸；行走用驱动器， 使所述环状部件循环行走；多个升降用保持构件，在圆周方向上隔开间隔地设置在所述环 状部件上，并保持立起姿势的基板。此外，这里，所谓“设置”是除了直接地设置之外，还包含通过中介部件间接地设置 的情况。同样地，所谓“配置”是除了直接地配置之外，还包含通过中介部件间接地配置的情 况。另外，所谓“基板的处理”包含基板的输送处理、基板的程序处理、基板的保管处理等， 在程序处理过程中包含蚀刻处理、CVD处理、PVD处理等。根据本专利技术的基板升降移送装置，位于所述第一基板处理装置的规定位置的基板 被所述第一姿势切换用保持构件保持。其次，所述第一姿势切换用驱动器被驱动来使所述 第一姿势切换部件摇动，基板的姿势从倒伏姿势向立起姿势被切换。而且，立起姿势的基板 被位于与所述第一基板处理装置对应的高度的所述升降用保持构件保持，并解除所述第一 姿势切换用保持构件的保持状态。而且，所述行走驱动器被驱动并使所述环状部件向一方 向循环行走，保持立起姿势地使基板上升。通过重复前述的动作，多个基板从所述第一基板 处理装置向所述基板升降移送装置被送出。保持基板的所述升降用保持构件位于与所述第二基板处理装置对应的高度之后， 由所述第二姿势切换用保持构件保持基板，所述升降用保持构件的保持状态被解除。而且， 使所述第二姿势切换用驱动器驱动而使所述第二姿势切换部件摇动，基板的姿势从立起姿 势向倒伏姿势被切换，所述第二姿势切换用保持构件的保持状态被解除。通过重复前述的 动作，多个基板从所述基板升降移送装置向所述第二基板处理装置被送出。这样，进行从所述第一基板处理装置向所述第二基板处理装置的基板的升降移 送。另外，通过与前述动作相反的动作，进行从所述第二基板处理装置向所述第一基板处理 装置的基板的升降移送。总之，在本专利技术中，具有所述第一姿势切换用保持构件的所述第一姿势切换部件 以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第一基板处理装置的一侧；具有所述第二姿势 切换用保持构件的所述第二姿势切换部件以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第 二基板处理装置的一侧；多个所述升降用保持构件在圆周方向上隔开间隔地设置在所述环 状部件上，从而如上所述，能够保持立起姿势地使基板升降，并能够将所述基板升降移送装 置的占有平面面积抑制成小于一张基板的量的平面面积。另外，沿上下方向延伸的所述环状部件以能够循环行走的方式设置在所述支承框 架上；多个所述升降用保持构件在圆周方向上隔开间隔地设置在所述环状部件上，从而能 够从所述第一基板处理装置向所述第二基板处理装置，或者，从所述第二基板处理装置向 所述第一基板处理装置，连续地升降移送多个基板。本专利技术的基板升降移送装置是进行对基板的处理及基板的升降移送的装置，具 有配置于下层的、进行对基板的处理的第一基板处理装置；配置在上层的、进行对基板的 处理的第二基板处理装置；以及在所述第一基板处理装置及所述第二基板处理装置之间进 行基板的升降移送的上述基板升降移送装置。根据本专利技术的基板升降移送装置，能够发挥与上述基板升降移送装置的作用相同 的作用。专利技术的效果根据本专利技术，能够将所述基板升降移送装置的占有平面面积抑制成小于一张基板 的量的平面面积，并能够充分地削减所述基板升降移送装置的占有平面面积，实现工厂内 空间的有效利用。另外，由于能够从所述第一基板处理装置向所述第二基板处理装置，或者，从所述 第二基板处理装置向所述第二基板处理装置，连续地升降移送多个基板，所以能够缩短基 板的升降移送的循环时间(生产节拍时间(tact time))，并能够提高与基板相关的一系列 的作业效率。附图说明图1是表示本专利技术的基板处理移送系统的实施方式的侧剖视图。图2是表示所述基板处理移送系统的动作的侧剖视图。图3是表示所述基板处理移送系统的动作的侧剖视图。图4是沿图1中的IV-IV线的平剖视图。图5是沿图1中的V-V线的平剖视图。图6是升降用夹持器(clamper)周边的立体图。图7是表示升降用夹持器的松开(imclamp)动作的侧剖视图。图中LF-下层底板，UF-上层底板，W-基板，1-基板处理移送系统，3-第一基板输送处 理装置，5-第二基板输送处理装置，7-基板升降移送装，11-第一悬浮单元，15-第一输送 辊，17-第一输送用马达，21-第二悬浮单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板升降移送装置，在配置于下层且进行对基板的处理的第一基板处理装置、和配置于上层且进行对基板的处理的第二基板处理装置之间，进行基板的升降移送，其特征在于，具备：第一姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第一基板处理装置的一侧，并具有保持基板的第一姿势切换用保持构件，将基板的姿势切换成倒伏姿势和立起姿势；第一姿势切换用驱动器，使所述第一姿势切换部件摇动；第二姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第二基板处理装置的一侧，并具有保持基板的第二姿势切换用保持构件，将基板的姿势切换成倒伏姿势和立起姿势；第二姿势切换用驱动器，使所述第二姿势切换部件摇动；环状部件，以能够循环行走的方式设置在竖立设置于所述第一姿势切换部件的一侧的支承框架上，并沿上下方向延伸；行走用驱动器，使所述环状部件循环行走；以及多个升降用保持构件，在圆周方向上隔开间隔地设置在所述环状部件上，并保持立起姿势的基板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：和田芳幸，石桥希远，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP[日本]