一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备技术

本发明专利技术提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，辅助电极与第一叉指电极电连接，且辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠，使得辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域之间形成了平板电容，而增加了声表面波谐振器的静电容，由此能够有效减小声表面波谐振器的设计面积

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备


[0001]本专利技术涉及电子设备
，更为具体地说，涉及一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备
。

技术介绍

[0002]声表面波
(SAW
，
Surface Acoustics Wave)
谐振器的主要作用是利用压电材料的压电特性，利用如叉指换能器等输入与输出的换能装置将电讯号转化成机械能，经过处理后再转化成电讯号，以达到放大所需的信号，滤除杂讯和提升信号品质的作用，广泛应用在各种无线通讯设备之中，是设计压电滤波器的基本单元
。
声表面波谐振器往往通过半导体表面工艺进行生产制造，可大批量生产，损耗低且信号选择性高，性能稳定
。
但是，随着滤波器的集成度进一步提高，滤波器的尺寸越来越大，不利于器件小型化的设计趋势
。
因此，如何减小声表面波谐振器的尺寸，进而减小滤波器的尺寸，成为科研人员现今主要研究方向之一
。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种声表面波谐振器及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电衬底；形成于所述压电衬底上的换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；位于所述换能器背离所述压电衬底一侧的绝缘介质层；位于所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠
。2.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器还包括位于所述电极间隙处的电极假指，所述电极假指与其所在所述电极间隙处的汇流条相连
。3.
根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的至少部分电极假指绝缘交叠
。4.
根据权利要求1‑3任意一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器还包括第一反射栅和第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅分别位于所述汇流条在所述第二方向上的两侧
。5.
根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一反射栅和所述第二反射栅中至少一个反射栅与所述第二叉指电极相连；在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的所述反射栅的至少部分区域绝缘交叠
。6.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述辅助电极为块状电极
。7.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述绝缘介质层包括裸露所述第一汇流条至少部分区域的连接区，所述辅助电极延伸至所述连接区...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贤栋，高安明，路晓明，姜伟，
申请(专利权)人：浙江星曜半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：