一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器及制备方法技术

本发明专利技术提供一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器及制备方法，包括金属微齿

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器及制备方法


[0001]本专利技术属于微型压电执行器领域，涉及一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器及制备方法
。

技术介绍

[0002]微型压电执行器具有结构简单紧凑
、
响应时间短
、
电磁兼容性强等特点，在机器人
、
精密仪器仪表
、
航空航天
、
医疗器械等领域有着很广泛的应用前景
。
微型压电执行器的关键部分为压电陶瓷与弹性体，在压电执行器工作过程中，压电陶瓷由于逆压电效应会带动弹性体产生形变，在弹性体上的驱动足处会形成特定轨迹，并通过接触摩擦作用驱动动子进行运动，因此需要压电陶瓷与弹性体进行良好的连接
。
[0003]目前微型压电执行器中压电陶瓷与弹性体的连接主要采用有机胶粘接法，将压电陶瓷粘接到弹性体表面，此方法连接精度差，在压电执行器长时间使用过程中，有机物容易发生老化，导致压电陶瓷与弹性体的连接不可靠，并且有机物的导电性较差，会导致微型压电执行器的输出性能受到影响...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器，其特征在于，所述的微型多齿压电驱动器包括依次叠层排列的驱动足
(1)、
金属基体层
(2)、
焊料层
(3)、
压电功能层
(4)、
分区微电极
(5)、
微电极间隔层
(6)、
微电极连通线
(7)
，以及与微电极间隔层
(6)
相连的柔性电路引脚
(8)
；其中，压电功能层
(4)
通过焊接的方式与金属基体层
(2)
连接
。2.
根据权利要求1所述的所述的一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器，其特征在于，所述的微型多齿压电驱动器具体如下：所述的驱动足
(1)
为金属齿形结构，位于金属基体层
(2)
下方，用于微型多齿压电执行器的摩擦驱动；所述的压电功能层
(4)
与金属基体层
(2)
通过焊料层
(3)
连接在一起；所述焊料层
(3)
为金属材料，与金属基体层
(2)
一起构成弹性体结构，并作为电极接收外部控制信号；所述压电功能层
(4)
与驱动足
(1)
通过弹性体结构实现刚性连接，使压电功能层
(4)
通过逆压电效应产生的振动能够传递给驱动足
(1)
，从而产生摩擦驱动的动力；所述分区微电极制备5位于压电功能层
(4)
的上表面；所述微电极间隔层
(6)
布置在分区微电极
(5)
的上表面，实现对分区微电极
(5)
的间隔绝缘；所述微电极连通线
(7)
布置在分区微电极
(5)
与微电极间隔层
(6)
的下表面，实现分区微电极
(5)
各部分的连接；所述柔性电路引脚
(8)
通过与柔性电路的连接提供对外接口，外部控制信号通过柔性电路引脚
(8)
实现对微型多齿压电执行器的实时控制
。3.
一种权利要求1或2所述的基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电驱动器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1
：制备的晶圆级压电器件阵列基片将晶圆级压电功能块材
、
晶圆级金属基体和晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：王大志，李泽飞，段宇，杨明洛，孔令杰，梁世文，于成治，
申请(专利权)人：大连理工大学宁波研究院，
类型：发明
国别省市：