大功率制造技术

本发明专利技术提出一种大功率

【技术实现步骤摘要】
大功率VCSEL激光器及其制作方法


[0001]本专利技术属于激光器件封装
，具体涉及一种大功率
VCSEL
激光器及其制作方法
。

技术介绍

[0002]垂直腔面发射激光器（
Vertical Cavity Surface
‑
emitting Lasers, VCSEL
）由于具有光束质量好
、
单纵模
、
低阈值
、
易于实现片上测试
、
生产成本低等特点，已在数据传输
、
传感
、
光互连
、
激光打印
、
光信号处理等领域得到了日益广泛的应用
。
其中，应用于汽车领域的
1 mm2垂直腔面发射激光器芯片顶部的扩散器，无法满足汽车
TS16949:2009
规范的标准，该标准测试温度从
‑
40℃
上升到
150℃
，然后再从
150℃
>上升到
2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种大功率
VCSEL
激光器，其特征在于，包括：支撑基板，具有相对设置的第一表面与第二表面；第一线路层，设置于所述第一表面上；第二线路层，设置于所述第二表面上；
VCSEL
芯片，设置于所述第一线路层上；其中，所述第一线路层与所述第二线路层均采用铜碳复合材料
。2.
根据权利要求1所述的大功率
VCSEL
激光器，其特征在于，所述铜碳复合材料包括铜与碳材料；其中，所述碳材料为石墨
、
石墨烯
、
石墨烯纳米管
、
石墨炔
、
多壁碳纳米管
、C60、
活性炭
、
碳纤维
、
炭黑
、
玻璃碳
、
多孔炭材料
、
碳纳米球中的任一者
。3.
根据权利要求1所述的大功率
VCSEL
激光器，其特征在于，所述支撑基板上穿设有导通柱，所述导通柱的两端分别与所述第一线路层
、
所述第二线路层电连接
。4.
根据权利要求1所述的大功率
VCSEL
激光器，其特征在于，所述第一线路层与所述第二线路层的厚度范围为
100
‑
200
μ
m。5.
根据权利要求1所述的大功率
VCSEL
激光器，其特征在于，所述支撑基板上还设置有至少一个应力释放孔
。6.
根据权利要求1所述的大功率
VCSEL<...

【专利技术属性】
技术研发人员：何锦华，王兢，梁超，金智康，梁月，
申请(专利权)人：博睿光电，
类型：发明
国别省市：