一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，包括：输送装置，用于沿着前后方向进行硅片的运输；多个视觉检测机构，位于所述输送装置的左右两侧，输送装置的每一侧均装配有两个视觉检测机构，两个所述视觉检测机构分别用于检测硅片同一侧两个倒角的崩边缺陷情况；本发明专利技术还涉及一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测方法，经过图像采集

【技术实现步骤摘要】
一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置及方法


[0001]本专利技术属于硅片检测分选
，主要涉及一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置及方法
。

技术介绍

[0002]硅片作为重要的工业原材料，被广泛用于太阳能电池
、
电路板等产品的生产制造中
。
因此，在硅片生产出厂之前需要对其质量进行严格的把控，以保证由硅片制造的太阳能电池
、
电路板等产品的质量
。
目前，在硅片的检测分选过程中，需要对通过流线输送的硅片的四个角边缘进行检视，以判断硅片的四个角是否存在崩边的问题
。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，以对硅片倒角崩边缺陷进行检测
。
[0004]本专利技术还提供一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测方法，以对硅片倒角崩边缺陷进行检测
。
[0005]为解决上述问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，包括：
[0007]输送装置，用于沿着前后方向进行硅片的运输；
[0008]多个视觉检测机构，位于所述输送装置的左右两侧，输送装置的每一侧均装配有两个视觉检测机构，两个所述视觉检测机构分别用于检测硅片同一侧两个倒角的崩边缺陷情况
。
[0009]具有以下有益效果：通过对输送装置输送的硅片的四个倒角边缘进行检视，以判断硅片的四个角是否存在崩边的问题，在不影响设备产能的前提下对硅片倒角进行检测，提高产线良品率
。
[0010]进一步地，所述视觉检测机构包括位于所述输送装置左右两侧的支架
、
设在支架上的相机以及与相机连接的镜头，支架上架设有线性光源，所述线性光源用于照射到输送装置上的硅片倒角处，便于视觉检测机构采集硅片倒角处的图像
。
[0011]进一步地，所述支架上固设有用于支撑相机的两个支撑件，所述相机的左右两侧均设有一个所述支撑件，所述支撑件开设有沿左右方向延伸的通槽，通槽上端贯穿支撑件，通槽内开设有沿左右方向延伸的安装孔，相机上设有位于安装孔内的转动销，所述支撑件上端开设有沿前后轴线方向延伸且贯穿通槽的通孔，通孔内设有第一螺栓，通过拧紧第一螺栓限制转动销转动，从而对相机进行固定
。
[0012]具有以下有益效果：相机能够独立调节，有利于实际运行过程中的调试，提高了检测的效率
。
[0013]进一步地，所述安装孔的直径
d
大于通槽前后方向上的宽度
L。
[0014]进一步地，所述支架上还固设有两个支撑板，两个所述支撑板之间转动安装有线
性光源，支撑板上开设有和线性光源的位置对应的弧形槽，所述线性光源上设有在弧形槽内滑动的第二螺栓，第二螺栓用于调整线性光源的照射角度
。
[0015]具有以下有益效果：线性光源能够独立调节，有利于实际运行过程中的调试，提高了检测的效率
。
[0016]一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测方法，具体包括以下步骤：
[0017]S1
：图像采集：对经过线性光源照射区域的硅片倒角，使用相机进行图像采集；
[0018]S2
：图像预处理：对采集到的硅片倒角处的图像进行预处理；
[0019]S3
：缺陷检测：通过基于差异比较或机器学习或深度学习技术，检测硅片倒角处存在的缺陷；
[0020]S4
：分类和判定：根据缺陷检测的结果，对每个倒角进行分类和判定，确定其质量是否合格
。
[0021]具有以下有益效果：通过输送装置输送的硅片的四个倒角边缘进行检视，以判断硅片的四个角是否存在崩边的问题，在不影响设备产能的前提下对硅片倒角进行检测，提高产线良品率
。
[0022]进一步地，
S2
中所述预处理包括去噪
、
图像增强
、
颜色校正
、
尺度标定
、
色彩空间转换
、
图像配准
、
灰度转换
。
[0023]具有以下有益效果：提高了后续的缺陷检测算法的准确性和稳定性
[0024]进一步地，
S3
中所述基于差异比较是通过像素级对比或特征提取实现
。
[0025]进一步地，所述特征提取包括灰度统计特征
、
边缘特征
、
纹理特征
、
形状特征
、
颜色特征
。
[0026]进一步地，所述形状特征包括硅片倒角边缘的曲率
、
长度
、
宽度
。
附图说明
[0027]通过参考附图阅读下文的详细描述，本专利技术示例性实施方式的上述以及其他目的
、
特征和优点将变得易于理解
。
在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本专利技术的若干实施方式，并且相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
[0028]图1为视觉检测装置的结构示意图；
[0029]图2为图1的俯视图；
[0030]图3为视觉检测机构的结构示意图；
[0031]图4为支撑件的结构示意图；
[0032]图5为图3的左视图；
[0033]图6为图5中
A
处的局部放大图；
[0034]图7为视觉检测方法的流程框图
。
[0035]附图标记说明：
[0036]1、
硅片；
2、
输送装置；
3、
视觉检测机构；
4、
支架；
5、
支撑件；
6、
相机；
7、
镜头；
8、
线性光源；
9、
支撑板；
10、
转动销；
11、
通槽；
12、
安装孔；
13、
通孔；
14、
弧形槽；
15、
第二螺栓
。
具体实施方式
[0037]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完
整地描述，本领域技术人员应知，下面所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0038]下面具体介绍本专利技术的各种非限制性实施方式
。
附图中的任何元素数量均用于示例而非限制，以及任何命名都仅用于区分，而不具有任何限制含义
。
[0039]硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置的实施例：
[0040]如图1‑
图6，一种硅片倒角崩边缺陷视本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，其特征在于，包括：输送装置
(2)
，用于沿着前后方向进行硅片
(1)
的运输；多个视觉检测机构
(3)
，位于所述输送装置
(2)
的左右两侧，输送装置
(2)
的每一侧均装配有两个视觉检测机构
(3)
，两个所述视觉检测机构
(3)
分别用于检测硅片
(1)
同一侧两个倒角的崩边缺陷情况
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述视觉检测机构
(3)
包括位于所述输送装置
(2)
左右两侧的支架
(4)、
设在支架
(4)
上的相机
(6)
以及与相机
(6)
连接的镜头
(7)
，支架
(4)
上架设有线性光源
(8)
，所述线性光源
(8)
用于照射到输送装置
(2)
上的硅片
(1)
倒角处，便于视觉检测机构
(3)
采集硅片
(1)
倒角处的图像
。3.
根据权利要求2所述的一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述支架
(4)
上固设有用于支撑相机
(6)
的两个支撑件
(5)
，所述相机
(6)
的左右两侧均设有一个所述支撑件
(5)
，所述支撑件
(5)
开设有沿左右方向延伸的通槽
(11)
，通槽
(11)
上端贯穿支撑件
(5)
，通槽
(11)
内开设有沿左右方向延伸的安装孔
(12)
，相机
(6)
上设有位于安装孔
(12)
内的转动销
(10)
，所述支撑件
(5)
上端开设有沿前后轴线方向延伸且贯穿通槽
(11)
的通孔
(13)
，通孔
(13)
内设有第一螺栓，通过拧紧第一螺栓限制转动销
(10)
转动，从而对相机
(6)
进行固定
。4.
根据权利要求3所述的一种硅片倒角崩边缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述安装孔
(12)
的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑兴晔，章龙，林俊浦，郭建，
申请(专利权)人：苏州威华智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：