石墨舟叶和具有其的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟叶和具有其的石墨舟，所述石墨舟叶适于承载硅片，所述石墨舟叶具有在厚度方向上相对的两个主表面，所述主表面具有在承载硅片时被所承载的硅片覆盖的承载区域，所述承载区域内设有气槽，所述气槽的周面与所在主表面的连接处圆弧过渡。根据本实用新型专利技术实施例的石墨舟叶具有不易划伤硅片、减少石墨舟印产生等优点。减少石墨舟印产生等优点。减少石墨舟印产生等优点。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟叶和具有其的石墨舟


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，具体而言，涉及一种石墨舟叶和具有所述石墨舟叶的石墨舟。

技术介绍

[0002]在太阳能电池片的生产过程中，需要将硅片装载在石墨舟上并放入炉管内进行镀膜，此过程中需要使用真空泵调节炉管内的压力，在炉管内的压力反复变化时，石墨舟叶与硅片之间的空间的压力与炉管内压力形成压力差，导致硅片发生变形和抖动。
[0003]相关技术中的石墨舟叶，在石墨舟叶上设有气槽，硅片装载后覆盖气槽，气槽边沿容易在炉管内压力变化导致硅片发生变形和抖动时划伤硅片，产生石墨舟印。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种石墨舟叶，该石墨舟叶具有不易划伤硅片、减少石墨舟印产生等优点。
[0005]本技术还提出一种具有所述石墨舟叶的石墨舟。
[0006]为实现上述目的，根据本技术的第一方面的实施例提出一种石墨舟叶，所述石墨舟叶适于承载硅片，所述石墨舟叶具有在厚度方向上相对的两个主表面，所述主表面具有在承载硅片时被所承载的硅片覆盖的承载区域，所述承载区域内设有气槽，所述气槽的周面与所在主表面的连接处圆弧过渡。
[0007]根据本技术实施例的石墨舟叶，具有不易划伤硅片、减少石墨舟印产生等优点。
[0008]另外，根据本技术上述实施例的石墨舟叶还可以具有如下附加的技术特征：
[0009]根据本技术的一个实施例，所述气槽的周面与所在主表面的连接处倒圆角。
[0010]根据本技术的一个实施例，所述圆角的半径为0.3
‑
0.7毫米。
[0011]根据本技术的一个实施例，所述石墨舟叶上还设有通气槽，所述通气槽的一端与所述气槽连通且另一端伸出所述承载区域的边沿。
[0012]根据本技术的一个实施例，所述通气槽的远离所述气槽的一端伸出所述承载区域的边沿2
‑
8毫米。
[0013]根据本技术的一个实施例，所述通气槽的长度为15
‑
21毫米且宽度为0.2
‑
0.4毫米。
[0014]根据本技术的一个实施例，所述通气槽为盲槽且深度为0.2
‑
0.4毫米。
[0015]根据本技术的一个实施例，每个所述气槽周围设有多个所述通气槽，所述多个通气槽沿所连通的所述气槽的周向间隔设置。
[0016]根据本技术的一个实施例，所述通气槽位于所连通的所述气槽的边沿的中心处。
[0017]根据本技术的第二方面的实施例提出一种石墨舟，所述石墨舟包括根据本实
用新型的第一方面的实施例所述的石墨舟叶。
[0018]根据本技术实施例的石墨舟，通过利用根据本技术的第一方面的实施例所述的石墨舟叶，具有不易划伤硅片、减少石墨舟印产生等优点。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1是根据本技术实施例的石墨舟叶的结构示意图。
[0022]图2是根据本技术实施例的石墨舟叶的局部结构示意图。
[0023]图3是根据本技术实施例的石墨舟叶的局部剖视图。
[0024]附图标记：石墨舟叶1、主表面10、承载区域20、气槽30、通气槽40、圆角50。
具体实施方式
[0025]本申请是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识作出的：
[0026]相关技术中的石墨舟叶，在石墨舟叶上设有气槽，硅片装载后覆盖气槽，气槽边沿容易在炉管内压力变化导致硅片发生变形和抖动时划伤硅片。
[0027]具体而言，相关技术中的气槽，其周面与石墨舟叶表面为斜角过渡，过渡面与气槽周面的连接处以及过渡面与石墨舟叶表面的连接处较为锐利，导致硅片发生变形和抖动而容易划伤硅片。
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]下面参考附图描述根据本技术实施例的石墨舟叶1。
[0032]如图1
‑
图3所示，根据本技术实施例的石墨舟叶1适于承载硅片，石墨舟叶1具
有在厚度方向上相对的两个主表面10，主表面10具有在承载硅片时被所承载的硅片覆盖的承载区域20，承载区域20内设有气槽30，气槽30的周面与主表面10的连接处圆弧过渡。
[0033]具体而言，两个主表面10上可以均设置有多个气槽30，气槽30可以为盲槽，也可以两个相对的气槽30相互连通，每个主表面10上的多个气槽30可以沿石墨舟叶1的长度方向间隔设置。
[0034]根据本技术实施例的石墨舟叶1，通过使气槽30的周面与主表面10的连接处圆弧过渡，相比相关技术中采用倒斜角过渡的方式，可以使气槽30的边沿更加圆滑，避免斜角过渡产生较为锐利的凸棱，这样即使硅片发生变形和抖动，也不容易因接触气槽30的边沿而发生线性划伤，避免石墨舟印的产生，提升硅片的良品率。
[0035]因此，根据本技术实施例的石墨舟叶1具有不易划伤硅片、减少石墨舟印产生等优点。
[0036]下面参考附图描述根据本技术具体实施例的石墨舟叶1。
[0037]具体地，如图3所示，气槽30的周面与所在主表面10的连接处倒圆角50。这样可以采用倒圆角的形式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟叶，其特征在于，所述石墨舟叶适于承载硅片，所述石墨舟叶具有在厚度方向上相对的两个主表面，所述主表面具有在承载硅片时被所承载的硅片覆盖的承载区域，所述承载区域内设有气槽，所述气槽的周面与所在主表面的连接处圆弧过渡。2.根据权利要求1所述的石墨舟叶，其特征在于，所述气槽的周面与所在主表面的连接处倒圆角。3.根据权利要求2所述的石墨舟叶，其特征在于，所述圆角的半径为0.3
‑
0.7毫米。4.根据权利要求1所述的石墨舟叶，其特征在于，所述石墨舟叶上还设有通气槽，所述通气槽的一端与所述气槽连通且另一端伸出所述承载区域的边沿。5.根据权利要求4所述的石墨舟叶，其特征在于，所述通气槽的远离所述气槽的一端伸出所述承载区域的边沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢光云，王斯海，刘明，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：