本实用新型专利技术公开了用于镀膜腔体的升降装置和升降系统，升降装置包括：固定部，固定部包括本体部和端部，本体部具有沿本体部的高度方向贯穿本体部的第一通孔，端部具有沿端部的高度方向贯穿端部的第二通孔，本体部的外侧面设有第一螺纹，端部远离本体部的一端设有凹槽，且第二通孔沿凹槽的高度方向贯穿凹槽；卡环，卡环设置在凹槽内，卡环具有第三通孔，第三通孔沿卡环的高度方向贯穿卡环；升降部，升降部依次穿过第一通孔、第二通孔和第三通孔设置。该升降装置具有结构简单、使用方便、成本低廉、维护保养简单等优点，且升降装置在升降过程中的波动较小，在升降过程中对卡环和固定部的磨损较小。损较小。损较小。
【技术实现步骤摘要】
用于镀膜腔体的升降装置和升降系统
[0001]本技术涉及升降系统
，具体而言，本技术涉及一种用于镀膜腔体的升降装置和升降系统。
技术介绍
[0002]随着经济的发展，环保问题也油然而生，人们对新能源领域的重视程度也越来越高，工业4.0的持续推进，机械智能化的发展与完善将工业生产引向革命新时代，通过智能制造、智能控制系统，真正能达到工业生产从而减轻劳动强度、提高劳动效率，使得工业生产水平迈向了一个新台阶。太阳能异质结光伏电池片目前已采用自动流水线的形式进行作业，在非晶硅的PECVD工序生产过程中，硅片需要通过镀膜设备进行真空镀膜。现有市场上的镀膜设备载板传输方式大多主要为皮带及滚轮传输，该种传输方式具有许多优点，但对于已有需要通过升降载板来完成传输的PECVD镀膜设备来说，现有升降装置的结构复杂、故障率高且维护保养困难(需要大量的时间才能完成)。对于现有升降设备来说，要想升级兼容皮带滚轮传输较为困难，因为传输结构及空间布局已严重受限，且改造成本高昂，所以急需一种结构简单、成本低廉、维护保养简单、耐腐蚀耐高温且变形量小精度高的载板升降装置。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的目的在于提出一种用于镀膜腔体的升降装置和升降系统。该升降装置具有结构简单、使用方便、成本低廉、维护保养简单等优点，且升降装置在升降过程中的波动较小，升降装置在升降过程中对卡环和固定部的磨损较小。
[0004]在本技术的第一个方面，提出了一种用于镀膜腔体的升降装置。根据本技术的实施例，所述用于镀膜腔体的升降装置包括：
[0005]固定部，所述固定部包括本体部和端部，所述端部设置在所述本体部沿高度方向的一端，所述本体部具有沿所述本体部的高度方向贯穿所述本体部的第一通孔，所述端部具有沿所述端部的高度方向贯穿所述端部的第二通孔，所述本体部的外侧面设有第一螺纹，所述端部远离所述本体部的一端设有凹槽，所述凹槽朝远离所述本体部的方向开口，且所述第二通孔沿所述凹槽的高度方向贯穿所述凹槽；
[0006]卡环，所述卡环设置在所述凹槽内，所述卡环具有第三通孔，所述第三通孔沿所述卡环的高度方向贯穿所述卡环；
[0007]升降部，所述升降部依次穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔设置，且所述升降部能够在所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔中移动。
[0008]根据本技术上述实施例的用于镀膜腔体的升降装置，通过控制可使该升降装置通过反应气盒底壁上的固定孔在反应气盒中上下移动，从而能够达到将反应气盒中的载板从底壁上托起或者放下的目的。同时，该升降装置具有结构简单、使用方便、成本低廉、维
护保养简单等优点，且升降装置在升降过程中的波动较小，升降装置在升降过程中对卡环和固定部的磨损较小。
[0009]另外，根据本技术上述实施例的用于镀膜腔体的升降装置还可以具有如下附加的技术特征：
[0010]在本技术的一些实施例中，升降装置还包括：基座，所述升降部设置在所述基座上，且所述升降部远离所述卡环的一端与所述基座相连。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述升降部远离所述基座的一端设有限位部，所述限位部的直径大于所述第三通孔的直径。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述本体部、所述端部、所述凹槽、所述卡环和所述升降部各自独立地为圆柱形；和/或，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔各自独立地为圆柱形。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述卡环的内径大于所述升降部的直径，且所述卡环的内径与所述升降部直径之间的差值为0.08
‑
0.12mm；和/或，所述凹槽的内径大于所述卡环的外径，且所述凹槽的内径与所述卡环的外径之间的差值为0.08
‑
0.12mm。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述本体部的直径大于所述端部的直径；和/或，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径，且所述第一通孔的直径大于所述第三通孔的直径。
[0015]在本技术的一些实施例中，所述凹槽沿高度方向的尺寸小于所述端部沿高度方向的尺寸。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述卡环和所述升降部的材料各自独立地为陶瓷材料。
[0017]在本技术的第二个方面，提出了一种用于镀膜腔体的升降系统。根据本技术的实施例，所述升降系统具有以上实施例所述的用于镀膜腔体的升降装置。由此，通过伺服传动装置可控制升降装置在反应气盒内的升降，从而能够实现载板在反应气盒内上下位置的切换。同时，该升降系统具有结构简单、使用方便、成本低廉、维护保养简单等优点，且升降装置在升降过程中的波动较小，升降装置在升降过程中对卡环和固定部的磨损较小。
[0018]另外，根据本技术上述实施例的用于镀膜腔体的升降系统还可以具有如下附加的技术特征：
[0019]在本技术的一些实施例中，升降系统还包括：固定孔，所述固定孔设置在反应气盒的底壁上，所述固定孔贯穿所述反应气盒的底壁，且所述固定孔的外边缘设有第二螺纹，所述第二螺纹与所述第一螺纹相匹配，以使所述固定部能够固定在所述反应气盒的底壁上；支撑架，所述升降装置设置在所述支撑架上；升降杆，所述升降杆与所述支撑架相固定；伺服传动装置，所述伺服传动装置用于控制所述升降杆的升降。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0021]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将
变得明显和容易理解，其中：
[0022]图1是根据本技术实施例的用于镀膜腔体的升降装置的结构图；
[0023]图2是根据本技术实施例的固定部的结构图；
[0024]图3是根据本技术实施例的固定部的上视图；
[0025]图4是图3的A
‑
A方向的剖视图；
[0026]图5是根据本技术实施例的升降部和基座的结构图；
[0027]图6是根据本技术实施例的卡环的结构图；
[0028]图7是根据本技术实施例的用于镀膜腔体的升降系统的结构图。
[0029]附图标记：
[0030]100
‑
升降装置，110
‑
卡环，111
‑
第三通孔，120
‑
固定部，121
‑
端部，121
‑1‑
凹槽，121
‑2‑
第二通孔，122
‑
本体部，122
‑1‑
第一螺纹，122
‑2‑
第一通孔，130
‑
升降部，131
‑1‑
限位部，140
‑
基座，200
‑
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜腔体的升降装置，其特征在于，包括：固定部，所述固定部包括本体部和端部，所述端部设置在所述本体部沿高度方向的一端，所述本体部具有沿所述本体部的高度方向贯穿所述本体部的第一通孔，所述端部具有沿所述端部的高度方向贯穿所述端部的第二通孔，所述本体部的外侧面设有第一螺纹，所述端部远离所述本体部的一端设有凹槽，所述凹槽朝远离所述本体部的方向开口，且所述第二通孔沿所述凹槽的高度方向贯穿所述凹槽；卡环，所述卡环设置在所述凹槽内，所述卡环具有第三通孔，所述第三通孔沿所述卡环的高度方向贯穿所述卡环；升降部，所述升降部依次穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔设置，且所述升降部能够在所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔中移动。2.根据权利要求1所述的用于镀膜腔体的升降装置，其特征在于，还包括：基座，所述升降部设置在所述基座上，且所述升降部远离所述卡环的一端与所述基座相连。3.根据权利要求2所述的用于镀膜腔体的升降装置，其特征在于，所述升降部远离所述基座的一端设有限位部，所述限位部的直径大于所述第三通孔的直径。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的用于镀膜腔体的升降装置，其特征在于，所述本体部、所述端部、所述凹槽、所述卡环和所述升降部各自独立地为圆柱形；和/或，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔各自独立地为圆柱形。5.根据权利要求4所述的用于镀膜腔体的升降装置，其特征在于，所述卡环的内径大于所述升降部的直径，...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖国权，李健，杨姚，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：
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