一种光刻胶的搅拌装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种光刻胶的搅拌装置，包括固定底座，固定底座的左侧和右侧上分别连接有第一固定竖板和第二固定竖板，第一固定竖板和第二固定竖板的顶端上均连接有转轴，它们在同一轴线设置，所述转轴之间连接有均胶桶，所述均胶桶的外部一侧上套装有齿轮环，所述固定底座上连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴上连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与齿轮环相啮合，所述均胶桶的一侧上连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动轴穿过均胶桶与搅拌轴相驱动连接，所述搅拌轴上连接有若干根搅拌叶片，所述搅拌叶片上连接有搅拌刮板，所述搅拌刮板与均胶桶的内壁相碰触设置

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶的搅拌装置


[0001]本技术涉及光刻胶搅拌领域，尤其涉及一种光刻胶的搅拌装置
。

技术介绍

[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用
。
光刻胶的技术复杂，品种较多，主要分为三类，包括光聚合型，采用烯类单体，在光作用下生成自由基，自由基再进一步引发单体聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特点；光分解型，采用含有叠氮醌类化合物的材料，经光照后，会发生光分解反应，由油溶性变为水溶性，可以制成正性胶；光交联型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，其分子中的双键被打开，并使链与链之间发生交联，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，这是一种典型的负性光刻胶
。
[0003]目前，通常采用人工手摇装有光刻胶的瓶子的搅拌方法，进一步的搅拌方法是采用机器代替人工手摇，比如授权公告号为
CN208959786U
公开一种光刻胶搅拌机，光刻胶搅拌机还设有往复机架，往复机架固定有用于驱动转动装置的往复第一电机，转动装置和往复机架之间设置有滑动连接两者的导向件，往复机构驱动转动机架往复运动，周向转动加上直线往复运动使得光刻胶搅拌更加均匀，但效率较慢
。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种光刻胶的搅拌装置
。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种光刻胶的搅拌装置，包括固定底座，所述固定底座的左侧和右侧上分别连接有第一固定竖板和第二固定竖板，所述第一固定竖板和第二固定竖板的顶端上均连接有转轴，它们在同一轴线设置，所述转轴之间连接有均胶桶，所述均胶桶的外部一侧上套装有齿轮环，所述固定底座上连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴上连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与齿轮环相啮合，所述均胶桶的一侧上连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动轴穿过均胶桶与搅拌轴相驱动连接，所述搅拌轴上连接有若干根搅拌叶片，所述搅拌叶片上连接有搅拌刮板，所述搅拌刮板与均胶桶的内壁相碰触设置
。
[0007]优选地，所述的一种光刻胶的搅拌装置，所述齿轮环与均胶桶通过焊接相连
。
[0008]优选地，所述的一种光刻胶的搅拌装置，所述搅拌轴一侧的搅拌叶片与其另一侧上的搅拌叶片之间呈错位结构设置
。
[0009]优选地，所述的一种光刻胶的搅拌装置，所述匀胶桶的材质为
PP
，或为不锈钢制成的均胶桶
。
[0010]优选地，所述的一种光刻胶的搅拌装置，所述匀胶桶上连接有导向环，所述导向环与齿轮环相对，所述固定底座连接有在导向环滑动的导向滑轮
。
[0011]优选地，所述的一种光刻胶的搅拌装置，所述导向滑轮通过带座轴承连接在固定
底座上
。
[0012]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0013]本技术通过自转的均胶桶以及在桶内搅拌的搅拌组件可以使均胶桶内的溶液进行有效且均匀的被搅拌，从而实现对均胶桶内全面的搅拌，在确保效率的同时还能确保溶液的均匀性
。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0016]图1是本技术的结构示意图；
[0017]图2是本技术的均胶桶内部结构示意图
。
具体实施方式
[0018]为使本申请实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例
。
通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计
。
[0019]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例
。
基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围
。
[0020]实施例
[0021]如图1和图2所示，一种光刻胶的搅拌装置，包括固定底座1，所述固定底座1的左侧和右侧上分别连接有第一固定竖板2和第二固定竖板3，所述第一固定竖板2和第二固定竖板3的顶端上均连接有转轴4，它们在同一轴线设置，所述转轴4之间连接有均胶桶5，所述均胶桶5的外部一侧上套装有齿轮环6，所述固定底座1上连接有第一驱动电机7，所述第一驱动电机7的驱动轴上连接有驱动齿轮8，所述驱动齿轮8与齿轮环6相啮合，所述均胶桶5的一侧上连接有第二驱动电机9，所述第二驱动电机9的驱动轴穿过均胶桶5与搅拌轴
10
相驱动连接，所述搅拌轴
10
上连接有若干根搅拌叶片
11
，所述搅拌叶片
11
上连接有搅拌刮板
12
，所述搅拌刮板
12
与均胶桶5的内壁相碰触设置
。
[0022]本技术中所述齿轮环6与均胶桶5通过焊接相连，可以确保齿轮环固定的稳定性
。
[0023]本技术中所述搅拌轴
10
一侧的搅拌叶片与其另一侧上的搅拌叶片之间呈错位结构设置，通过错位结构的搅拌叶片可以对溶液进行充分的搅拌，从而达到搅拌均匀的
目的
。
[0024]本技术中所述匀胶桶5的材质为
PP
，或为不锈钢制成的均胶桶，本技术采用不锈钢的材质
。
[0025]本技术中所述匀胶桶5上连接有导向环
13
，所述导向环
13
与齿轮环相对，所述固定底座1连接有在导向环
13
滑动的导向滑轮
14
，可以有效的达到稳定转动
。
[0026]本技术中所述导向滑轮
14
通过带座轴承连接在固定底座上
。
[0027]本技术中
的人员应当理解，本方案所述第一驱动电机
7、
第二驱动电机
、
控制器均属于现有技术可根据具体需求在市场上采购到不同型号和规格的产品，例如本技术中，第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光刻胶的搅拌装置，其特征在于：包括固定底座
(1)
，所述固定底座
(1)
的左侧和右侧上分别连接有第一固定竖板
(2)
和第二固定竖板
(3)
，所述第一固定竖板
(2)
和第二固定竖板
(3)
的顶端上均连接有转轴
(4)
，它们在同一轴线设置，所述转轴
(4)
之间连接有均胶桶
(5)
，所述均胶桶
(5)
的外部一侧上套装有齿轮环
(6)
，所述固定底座
(1)
上连接有第一驱动电机
(7)
，所述第一驱动电机
(7)
的驱动轴上连接有驱动齿轮
(8)
，所述驱动齿轮
(8)
与齿轮环
(6)
相啮合，所述均胶桶
(5)
的一侧上连接有第二驱动电机
(9)
，所述第二驱动电机
(9)
的驱动轴穿过均胶桶
(5)
与搅拌轴
(10)
相驱动连接，所述搅拌轴
(10)
上连接有若干根搅拌叶片
(11)
，所述搅拌...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一浓，钱勇，俞彬，
申请(专利权)人：苏州领新环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：