一种半导体部件加工用液压顶升装置制造方法及图纸

技术编号:39626614 阅读:8 留言:0更新日期:2023-12-07 12:30
本实用新型专利技术公开了一种半导体部件加工用液压顶升装置,涉及液压顶升技术领域,包括安装框和第二液压气杆,所述安装框的内部设置有用于辅助更换的辅助组件,且辅助组件包括伺服电机

【技术实现步骤摘要】
一种半导体部件加工用液压顶升装置


[0001]本技术涉及液压顶升
,具体为一种半导体部件加工用液压顶升装置


技术介绍

[0002]液压装置为一种常用的动力设备,其用于将液压能转化为机械能,实现直线往复运动,无需配备减速装置,运动平稳且没有传动间隙,得到较为广泛的应用,例如在对半导体部件进行加工时所用到的顶升装置,辅助半导体部件转移至所需位置

[0003]现有的半导体部件加工用液压顶升装置难以在顶升装置出现故障时及时更换,会导致半导体部件加工时顶升中断,影响加工效率

[0004]于是,有鉴于此,针对现有的结构及缺失予以研究改良,提出一种半导体部件加工用液压顶升装置


技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体部件加工用液压顶升装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题

[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体部件加工用液压顶升装置,包括安装框和第二液压气杆,所述安装框的内部设置有用于辅助更换的辅助组件,且辅助组件包括伺服电机

衔接杆和清理刷,所述伺服电机的输出端通过驱动轴连接有衔接杆,且衔接杆的端部安装有清理刷,所述驱动轴的端部设置有连接轴,且连接轴的外表面设置有延伸板,所述延伸板设置有两组,一组所述延伸板的上端安装有第一连接板,且第一连接板的外表面设置有第一液压气杆,另外一组所述延伸板的下端安装有第二连接板,所述第二液压气杆设置于第二连接板的底部外表面,所述第一液压气杆和第二液压气杆的输出端均安装有调节板

[0007]进一步的,所述调节板的外表面设置有用于位置调整的调节组件,且调节组件包括第三液压气杆和固定板,所述第三液压气杆的输出端安装有固定板

[0008]进一步的,所述固定板与第二液压气杆为一体化结构,且固定板与第三液压气杆为螺丝固定

[0009]进一步的,所述第一连接板和第二连接板的结构完全一致,且第一连接板和第二连接板均为矩形结构

[0010]进一步的,所述衔接杆和清理刷组成“匚”字型结构,且衔接杆和清理刷为卡合连接

[0011]进一步的,所述安装框的内部为中空状结构,且安装框的横向中轴线与伺服电机的中轴线相重合

[0012]进一步的,所述第三液压气杆设置有两组,所述调节板与第三液压气杆为一一对应分布

[0013]本技术提供了一种半导体部件加工用液压顶升装置,具备以下有益效果:
[0014]1、
本技术通过伺服电机和驱动轴的设计能够带动连接轴进行转动,以此能够在第一液压气杆出现故障无法进行顶升时,能够通过对连接轴的转动实现第一液压气杆和第二液压气杆的位置互换,便于快速更换液压顶升装置,避免半导体部件加工时顶升中断,影响加工效率

[0015]2、
本技术通过连接轴的转动能够带动第一液压气杆进行位置的适当调整,便于根据半导体加工角度所需对顶升角度进行适应性的调整,使用灵活

[0016]3、
本技术通过调节组件的设计能到带动两组调节板之间位置进行移动,有利于对顶升装置顶部的平台或者其它操控面限位固定,通过辅助组件的设计还能够对伺服电机进行清理,避免较多灰尘附着

附图说明
[0017]图1为本技术一种半导体部件加工用液压顶升装置的主视结构示意图;
[0018]图2为本技术一种半导体部件加工用液压顶升装置的调节板侧视连接结构示意图;
[0019]图3为本技术一种半导体部件加工用液压顶升装置的第一连接板立体连接局部结构示意图;
[0020]图4为本技术一种半导体部件加工用液压顶升装置的安装框内部局部连接结构示意图

[0021]图中:
1、
安装框;
2、
连接轴;
3、
第一连接板;
4、
第一液压气杆;
5、
第二连接板;
6、
第二液压气杆;
7、
调节板;
8、
调节组件;
801、
第三液压气杆;
802、
固定板;
9、
延伸板;
10、
驱动轴;
11、
辅助组件;
1101、
伺服电机;
1102、
衔接杆;
1103、
清理刷

具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述

以下实施例用于说明本技术,但不能用来限制本技术的范围

[0023]如图1和图4所示,一种半导体部件加工用液压顶升装置,包括安装框
1、
连接轴
2、
第一连接板
3、
第一液压气杆
4、
第二连接板
5、
第二液压气杆
6、
调节板
7、
调节组件
8、
第三液压气杆
801、
固定板
802、
延伸板
9、
驱动轴
10、
辅助组件
11、
伺服电机
1101、
衔接杆
1102
和清理刷
1103
,安装框1的内部设置有用于辅助更换的辅助组件
11
,且辅助组件
11
包括伺服电机
1101、
衔接杆
1102
和清理刷
1103
,安装框1的内部为中空状结构,且安装框1的横向中轴线与伺服电机
1101
的中轴线相重合,伺服电机
1101
的输出端通过驱动轴
10
连接有衔接杆
1102
,且衔接杆
1102
的端部安装有清理刷
1103
,通过伺服电机
1101
能够带动驱动轴
10
转动,驱动轴
10
在转动时能够带动衔接杆
1102
和清理刷
1103
进行同步的转动,清理刷
1103
在转动时与伺服电机
1101
一端接触,通过清理刷
1103
与伺服电机
1101
不断摩擦能够对伺服电机
1101
进行清理,衔接杆
1102
和清理刷
1103
组成“匚”字型结构,且衔接杆
1102
和清理刷
1103
为卡合连接,能够在清理刷
1103
多次使用结束之本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体部件加工用液压顶升装置,包括安装框
(1)
和第二液压气杆
(6)
其特征在于,所述安装框
(1)
的内部设置有用于辅助更换的辅助组件
(11)
,且辅助组件
(11)
包括伺服电机
(1101)、
衔接杆
(1102)
和清理刷
(1103)
,所述伺服电机
(1101)
的输出端通过驱动轴
(10)
连接有衔接杆
(1102)
,且衔接杆
(1102)
的端部安装有清理刷
(1103)
,所述驱动轴
(10)
的端部设置有连接轴
(2)
,且连接轴
(2)
的外表面设置有延伸板
(9)
,所述延伸板
(9)
设置有两组,一组所述延伸板
(9)
的上端安装有第一连接板
(3)
,且第一连接板
(3)
的外表面设置有第一液压气杆
(4)
,另外一组所述延伸板
(9)
的下端安装有第二连接板
(5)
,所述第二液压气杆
(6)
设置于第二连接板
(5)
的底部外表面,所述第一液压气杆
(4)
和第二液压气杆
(6)
的输出端均安装有调节板
(7)。2.
根据权利要求1所述的一种半导体部件加工用液压顶升装置,其特征在于,所述调节板
(7)
的外表面设置有用于位置调整的调节组件
(8)
,且...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘文广
申请(专利权)人:苏州睿众机械科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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