下载一种半导体部件加工用液压顶升装置的技术资料

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本实用新型公开了一种半导体部件加工用液压顶升装置,涉及液压顶升技术领域,包括安装框和第二液压气杆,所述安装框的内部设置有用于辅助更换的辅助组件,且辅助组件包括伺服电机
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