玻璃基板烘烤炉布风导风器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种玻璃基板烘烤炉布风导风器，包括加热炉体，所述加热炉体的烘烤腔中安装有玻璃卡架，所述加热炉体的加热腔中设置有加热器和鼓风机；所述加热腔通过滤清器和布风器与烘烤腔相连通，所述布风器包括相互叠置的布风基板和布风调节板，在布风基板或布风调节板面上固定设置有竖向导风肋板和

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板烘烤炉布风导风器


[0001]本技术涉及一种玻璃基板表面涂布光阻剂固化用烘烤箱炉设备，具体地涉及一种能向烘烤炉烘烤腔定向
、
均匀供给热风的装置
。

技术介绍

[0002]玻璃基板是平板显示器产业的关键基础材料之一
。
玻璃基板烘烤箱炉是将玻璃基板表面涂布光阻并使之固化的专门设备，该设备通过烘烤将玻璃表面的光阻有机溶剂去除使光阻固化
。
[0003]目前玻璃基板烘烤设备主要由烘烤箱体
、
玻璃卡架和炉腔加热器组成，结构比较简单
。
其用于烘烤玻璃基板的热风是直接吹向卡架上的玻璃基板的，很难控制烘烤腔内热风洁净度；同时烘烤热风是通过鼓风机吹向玻璃卡架上的玻璃基板，由于在卡架上实际是放置有多层玻璃基板的，因此这种集中吹风必然会在炉腔及不同层的玻璃基板上形成温度差，导致烘烤不均匀，直接影响玻璃基板的性能及成品率
。
[0004]本申请人于
2022.04.24
申请并获得授权的技术专利“显示器玻璃基板烘烤炉腔供布热风结构”，专利号：
202220996854.X。
该技术的供布热风结构通过其滤清器对吹入烘烤腔的热风进行有效过滤，以保证烘烤热风的洁净度；通过布风器来均匀和稳定了烘烤腔中的烘烤温度
。
然而，由于烘烤炉腔是一可以容纳多层玻璃基板的极大腔室，进入烘烤腔的热气流可以在烘烤腔各层玻璃板之间上下回旋混流
。
工作时各层玻璃基板是交替地被送入或取出烘烤腔，这样就会在烘烤炉烘烤腔中形成明显的温度波动变动和腔内温度梯度
。
同时由于烘烤腔热气流总是向上升腾，使得位于玻璃卡架底层段的玻璃板烘烤温度更难控制，底层玻璃板升温慢温度低，而顶层玻板升温相对较快温度较高
。
[0005]烘烤炉烘烤腔中的加热不均匀而形成的温度波动，使得玻璃基板上的光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发，在烘烤不足区域溶剂未充分挥发，曝光显影时未受光部分也被溶除形成浮胶或者使图形变形，烘烤过度又导致胶膜翘曲硬化，显影时会显不出图形或者图形留有底膜；烘烤温度的不均匀还会在玻璃基板上因温度梯度引起热应力，导致基板玻璃的开裂或破碎，降低烘烤成品率
。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是提供一种玻璃基板烘烤炉布风导风器，该布风导风器能够有效控制烘烤热风的流量和流向，以实现精准控制各层玻璃基板的烘烤温度
。
[0007]为了解决上述技术问题，本技术的玻璃基板烘烤炉布风导风器，包括加热炉体，所述加热炉体的烘烤腔中安装有玻璃卡架，所述加热炉体的加热腔中设置有加热器和鼓风机；所述加热腔通过滤清器和布风器与烘烤腔相连通，所述布风器包括相互叠置的布风基板和布风调节板，在布风基板或布风调节板面上固定设置有竖向导风肋板和
/
或横向导向肋板，所述竖向导向肋板和
/
或横向导向肋板朝向烘烤腔
。
[0008]在上述结构中，由于布风器包括有相互叠置的布风基板和布风调节板，调节错动
基板和调节板的相对位置，就能够形成不同通风孔的通流面积，采取这种可调节通风面积的结构，不仅可以根据基板烘烤工艺要求进行热风风量和风速的调整，而且能够均匀和稳定了烘烤腔中的烘烤温度，平抑烘烤腔中温度波动
。
又由于在布风器基板上设置有热风导向肋板，布风器上热风导向肋板可以精准控制热风供给流动方向，使得烘烤热风定向吹入不同的烘烤层面区域，以达到对烘烤腔烘烤温度有分区域精准调节控制
。
[0009]本技术的优选实施方式，所述布风基板上设置有基板布风孔，所述布风调节板上设置有调节板布风孔，该基板布风孔和调节板布风孔位置相对应
。
所述竖向导风肋板和横向导向肋板垂直于布风基板和布风调节板
。
能够形成合理的热风流量流速和流向
。
[0010]本技术的进一步实施方式，所述布风基板贴近滤清器，所述布风调节板及其上的竖向肋板和
/
或横向导向肋板朝向烘烤腔
。
既能对烘烤热风进行有效过滤，又能准确控制吹入烘烤腔的热风流向
。
附图说明
[0011]下面结合附图和具体实施方式对本技术玻璃基板烘烤炉布风导风器作进一步说明
[0012]图1是具有本技术玻璃基板烘烤炉布风导风器的烘烤炉立体结构示意图；
[0013]图2是图1的竖向剖面结构示意图；
[0014]图3是图1的横向
(
水平方向
)
剖面结构示意图；
[0015]图4是本技术玻璃基板烘烤炉布风导风器一种具体实施例的立体结构图；
[0016]图5是图4中布风器单元的立体结构图；
[0017]图6是图4中布风基板的立体结构图；
[0018]图7是图4中布风调节板的立体结构图；
[0019]图8是图4中竖向导风肋板的立体结构图；
[0020]图9是图4中横向导风肋板的立体结构图；
[0021]图
10
是本技术玻璃基板烘烤炉布风导风器另一种具体实施例的立体结构图
。
[0022]图中，
1—
加热炉体，
2—
炉体基座，
3—
门扇组件，
4—
鼓风机，
5—
加热器，
6—
烘烤腔，
7—
玻璃卡架，
8—
布风器，
9—
滤清器，
10—
加热腔，
11—
炉体框架，
12—
炉腔热风排放管，
13—
竖向导风肋板，
14—
布风调节板，
15—
布风基板，
16—
横向导风肋板，
17—
基板布风孔，
18—
连接螺孔，
19—
调节板腰槽，
20—
调节板布风孔，
21—
导风板安装支耳
。
具体实施方式
[0023]如图1所示的玻璃基板烘烤炉，该基板烘烤炉的加热炉体1外形为立体箱柜式结构，加热炉体1炉体由炉体框架
11
及包覆于炉体框架
11
上的面板构成
。
加热炉体1固定安装于炉体基座2上，炉体基座2的座腔内设置安装有换热装置
、
冷凝设备
、
挥发剂收集器
、
风机及电器控制柜等装置
。
在加热炉体1的前侧面安装有门扇组件
3。
加热炉体1的一侧面上安装有加热器5和鼓风机4，加热器5为电加热器，鼓风机4为离心风机4；在该侧面还安装有预热补风管和检修维护门
。
[0024本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种玻璃基板烘烤炉布风导风器，包括加热炉体
(1)
，所述加热炉体
(1)
的烘烤腔
(6)
中安装有玻璃卡架
(7)
，所述加热炉体
(1)
的加热腔
(10)
中设置有加热器
(5)
和鼓风机
(4)
；所述加热腔
(10)
通过滤清器
(9)
和布风器
(8)
与烘烤腔
(6)
相连通，其特征在于：所述布风器
(8)
包括相互叠置的布风基板
(15)
和布风调节板
(14)
，在布风基板
(15)
或布风调节板
(14)
板面上固定设置有竖向导风肋板
(13)
和
/
或横向导风肋板
(16)
，所述竖向导风肋板
(13)
和
/
或横向导风肋板
(16)

【专利技术属性】
技术研发人员：万堃鋆，林殷圣，闵京赵，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：