一种电容式制造技术

本实用新型专利技术涉及声电转换技术领域，提供一种电容式

【技术实现步骤摘要】
一种电容式MEMS麦克风


[0001]本技术涉及声电转换
，具体涉及一种电容式
MEMS
麦克风
。

技术介绍

[0002]随着电子产品的智能化，音频接口器件的需求急剧增加，目前电子产品中使用的麦克风主要分为两类，一种是
ECM(Electret Condenser microphone)
驻极体麦克风，一种是
MEMS(Micro Electro Mechanical System)
电容式麦克风
。
其中，
MEMS
麦克风由于使用微电子技术，因此其具有体积小
、
成本更低
、
灵敏度一致性更好等优势，得到了广泛的使用，高性能高可靠性的
MEMS
麦克风正在被广泛的研究
。
[0003]然而，现有的
MEMS
麦克风的振膜为圆形结构，
MEMS
振膜四周直接固定于衬底上，因此其在工作状态中，当声压作用于振膜时，振膜中心位置位移最大，而四周位移为零，振膜各位置振动不均匀，在相同偏置电压下，导致振膜有效面积低，从而导致麦克风的灵敏度较低，
SNR(
信噪比
)
随之较低，
SNR(
信噪比
)
是麦克风的主要性能指标之一，进而导致麦克风的性能欠佳
。
[0004]因此，为解决上述问题，提高麦克风的灵敏度，本技术提出了一种新型的电容式
MEMS<br/>麦克风
。

技术实现思路

[0005]基于上述表述，本技术提供了一种电容式
MEMS
麦克风，用于提高
MEMS
麦克风的信噪比，以提高其灵敏度
。
[0006]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：
[0007]本技术提供一种电容式
MEMS
麦克风，包括：衬底
、
振膜
、
安装架
、
背板及支撑柱；
[0008]所述安装架设于所述衬底的上表面，所述振膜设于所述背板和所述衬底之间；
[0009]所述安装架设有第一安装位和第二安装位，所述振膜沿径向方向设有延伸部，所述延伸部安装于所述第一安装位上；所述背板安装于所述第二安装位上；
[0010]所述振膜的中部还设有弹性部，所述支撑柱设于所述背板朝向所述振膜的一侧，且与所述弹性部对应设置
。
[0011]在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进
。
[0012]进一步的，所述衬底设有空腔，所述振膜设于所述空腔上，所述空腔用于供声压穿过，以使所述声压作用于所述振膜上
。
[0013]进一步的，所述振膜的下表面与所述衬底的上表面设有第一间隙；
[0014]所述振膜的上表面与所述背板的下表面设有第二间隙
。
[0015]进一步的，所述延伸部呈弯折状
。
[0016]进一步的，所述延伸部为多个；
[0017]多个所述延伸部沿所述振膜的周向方向依次布设
。
[0018]进一步的，所述弹性部的数量至少为一个；
[0019]在所述弹性部为一个时，所述弹性部设于所述振膜的轴心处；
[0020]在所述弹性部为多个时，多个所述弹性部阵列布设
。
[0021]进一步的，所述支撑柱的数量与所述弹性部的数量相同；所述支撑柱与所述弹性部对应设置
。
[0022]进一步的，在非工作状态下，所述支撑柱的下表面与所述弹性部具有第三间隙；
[0023]在工作状态下，所述支撑柱的下表面与所述弹性部抵接，以对所述振膜进行支撑
。
[0024]进一步的，所述振膜的中部向下凸起设置；
[0025]或，所述背板的中部向上凸起设置
。
[0026]进一步的，所述背板具有多个通孔；多个所述通孔阵列布设
。
[0027]与现有技术相比，本申请的技术方案具有以下有益技术效果：
[0028]本技术提供的电容式
MEMS
麦克风设有衬底
、
振膜
、
安装架
、
背板和支撑柱，其中，振膜沿径向方向设有延伸部，通过延伸部采用部分固定的形式安装于安装架上，从而能够降低振膜四周的振膜刚度；同时，振膜中部具有弹性结构，作为弹性部，该弹性部增加了振膜中部的刚度，使振膜各位置刚度更均匀，从而使振膜在声压作用下的位移更均匀；此外，在与弹性部相对的位置处，背板朝向振膜的一侧设有支撑柱，该支撑柱能够对振膜形成支撑
。
[0029]相较于现有技术，本技术提供的电容式
MEMS
麦克风具有更大的有效面积，即在相同偏置电压下，具有更大的电容变化量，从而具有更高的灵敏度和信噪比，有效地提高了
MEMS
麦克风的性能
。
附图说明
[0030]图1为本技术实施例提供的电容式
MEMS
麦克风的整体结构示意图；
[0031]图2为本技术实施例提供的电容式
MEMS
麦克风的局部结构示意图；
[0032]图3为本技术实施例提供的电容式
MEMS
麦克风的剖视结构示意图；
[0033]图4为本技术实施例提供的电容式
MEMS
麦克风的振膜振型
‑
位移等高线效果示意图；
[0034]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0035]1、
衬底；
2、
振膜；
21、
延伸部；
22、
弹性部；
3、
安装架；
4、
背板；
5、
支撑柱
。
具体实施方式
[0036]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述
。
附图中给出了本申请的实施例
。
但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例
。
相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面
。
[0037]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义
。
[0038]在本技术实施例的描述中，术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种电容式
MEMS
麦克风，其特征在于，包括：衬底
、
振膜
、
安装架
、
背板及支撑柱；所述安装架设于所述衬底的上表面，所述振膜设于所述背板和所述衬底之间；所述安装架设有第一安装位和第二安装位，所述振膜沿径向方向设有延伸部，所述延伸部安装于所述第一安装位上；所述背板安装于所述第二安装位上；所述振膜的中部还设有弹性部，所述支撑柱设于所述背板朝向所述振膜的一侧，且与所述弹性部对应设置
。2.
根据权利要求1所述的电容式
MEMS
麦克风，其特征在于，所述衬底设有空腔，所述振膜设于所述空腔上，所述空腔用于供声压穿过，以使所述声压作用于所述振膜上
。3.
根据权利要求1所述的电容式
MEMS
麦克风，其特征在于，所述振膜的下表面与所述衬底的上表面设有第一间隙；所述振膜的上表面与所述背板的下表面设有第二间隙
。4.
根据权利要求1所述的电容式
MEMS
麦克风，其特征在于，所述延伸部呈弯折状
。5.
根据权利要求4所述的电容式
ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱莉莉，
申请(专利权)人：湖北九峰山实验室，
类型：新型
国别省市：