晶片检测装置制造方法及图纸

技术编号:39609176 阅读:7 留言:0更新日期:2023-12-07 12:22
本实用新型专利技术公开了晶片检测装置,本实用新型专利技术涉及晶片检测设备技术领域

【技术实现步骤摘要】
晶片检测装置


[0001]本技术涉及晶片检测设备
,具体为晶片检测装置


技术介绍

[0002]在半导体晶片的制备过程中,经常采用机械法对半导体进行切割,再对切割的晶片表面进行粗磨

细磨及化学和机械抛光
,
使其满足外延的要求,而不管是打磨后还是抛光后都需要再对半导体晶片表面进行检测,从而判断是否还需要继续打磨或者抛光,晶片表面瑕疵检测一般是通过检查灯对晶片表面进行照射,然后折射出光路,使操作人员肉眼可识别出工件表面的瑕疵,从而起到对晶片表面进行检测的效果

[0003]但是由于存在主观因素,从而导致每个人的检验标准会有所不同,并且随着产品的小型化,人工观测难度越来越大,所以我们提出了晶片检测装置来解决上述存在的问题


技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了晶片检测装置,解决了由于存在主观因素,从而导致每个人的检验标准会有所不同,并且随着产品的小型化,人工观测难度越来越大的问题

[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:晶片检测装置,包括底座,所述底座顶部表面中部设置有载料架,所述载料架上方设置有高清摄像头,所述高清摄像头用于对载料架摆放的晶片进行拍摄检测;
[0006]所述高清摄像头顶部设置有调整组件,并且调整组件两端底部与所述底座顶部表面相连,所述调整组件用于调整高清摄像头的位置,以实现高清摄像头全面对晶片进行拍摄检测;
[0007]所述底座顶部表面一侧设置有触摸一体机

[0008]优选的,所述调整组件包括支架,所述支架两个底端均设置有第一电动直线滑台,并且第一电动直线滑台底部表面与所述底座顶部表面相连,所述支架表面顶部设置有第二电动直线滑台;
[0009]所述第二电动直线滑台输出端通过卡座安装有电动伸缩杆,并且电动伸缩杆输出端安装有固定架,同时固定架底端与高清摄像头顶部表面相连

[0010]优选的,两个所述第一电动直线滑台的输出端分别与所述支架两个底端相连

[0011]优选的,所述调整组件中的固定架底部表面两侧均设置有补光组件,所述补光组件用于对高清摄像头补光照明

[0012]优选的,所述补光组件包括活动座,所述活动座顶部表面设置有定位板,并且定位板顶部表面与固定架底部表面相连,所述活动座通过锁紧部活动连接有安装架,所述安装架底端设置有补光灯

[0013]优选的,所述锁紧部为螺栓

[0014]优选的,所述触摸一体机顶部表面设置有报警器,所述报警器用于发出警报

有益效果
[0015]本技术提供了晶片检测装置

与现有技术相比具备以下有益效果:
[0016](1)

该热缩管包装的多功能切断机,当需要对晶片进行检测时,首先将晶片摆放在底座上的载料架顶部表面,然后通过触摸一体机,可控制调整组件运行,从而能够使得调整组件调节高清摄像头的位置,进而能够使得高清摄像头靠近载料架上的晶片的上表面,通过高清摄像头的拍摄识别,并且又能将拍摄画面发送至触摸一体机中,从而能够对晶片进行精确的检测,进而能够查看晶片是否有瑕疵,以便于能够方便用户直观查看,提高了晶片的检测的效率和质量

[0017](2)

该热缩管包装的多功能切断机,通过调整组件中的支架,既能安装在两个第一电动直线滑台上,使得两个第一电动直线滑台载着支架移动,又能对第二电动直线滑台安装,然后通过第二电动直线滑台的输出端,可经卡座对电动伸缩杆安装,然后电动伸缩杆的输出端又能经固定架对高清摄像头固定,所以通过两个第一电动直线滑台

第二电动直线滑台和电动伸缩杆三者的相互配合,从而能够调整高清摄像头的位置,进而能够方便高清摄像头对晶片进行精确的检测,以便于能够查看晶片是否有瑕疵

[0018](3)

该热缩管包装的多功能切断机,通过补光组件中的活动座,既能经定位板固定在固定架底部表面,又能经螺栓对安装架进行安装,并且螺栓又能调节安装架的朝向,进而能够方便调整安装架底部补光灯的照亮角度,以便于能够使得补光灯对高清摄像头补光,方便高清摄像头拍摄的更加清晰,当触摸一体机接收且识别出的高清摄像头拍的的信息有异常时,此时触摸一体机又会控制报警器发出警报,进而能够起到提醒作用

附图说明
[0019]图1为本技术整体结构示意图

[0020]图2为本技术侧面结构示意图

[0021]图3为本技术调整组件结构示意图

[0022]图4为本技术补光组件结构示意图

[0023]图中:
1、
底座;
2、
载料架;
3、
高清摄像头;
4、
触摸一体机;
5、
调整组件;
501、
支架;
502、
第一电动直线滑台;
503、
第二电动直线滑台;
504、
卡座;
505、
电动伸缩杆;
506、
固定架;
6、
补光组件;
601、
活动座;
602、
定位板;
603、
安装架;
604、
补光灯;
7、
报警器

具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚

完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例

基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围

[0025]请参阅图1‑2,本技术提供一种技术方案:晶片检测装置,包括底座1,底座1顶部表面中部设置有载料架2,载料架2上方设置有高清摄像头3,高清摄像头3用于对载料架2摆放的晶片进行拍摄检测;高清摄像头3顶部设置有调整组件5,并且调整组件5两端底部与底座1顶部表面相连,调整组件5用于调整高清摄像头3的位置,以实现高清摄像头3全面对晶片进行拍摄检测;底座1顶部表面一侧设置有触摸一体机4;
[0026]当需要对晶片进行检测时,首先将晶片摆放在底座1上的载料架2顶部表面,然后通过触摸一体机4,可控制调整组件5运行,从而能够使得调整组件5调节高清摄像头3的位置,进而能够使得高清摄像头3靠近载料架2上的晶片的上表面,通过高清摄像头3的拍摄识别,并且又能将拍摄画面发送至触摸一体机4中,从而能够对晶片进行精确的检测,进而能够查看晶片是否有瑕疵,以便于能够方便用户直观查看本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
晶片检测装置,包括底座(1),所述底座(1)顶部表面中部设置有载料架(2),其特征在于:所述载料架(2)上方设置有高清摄像头(3),所述高清摄像头(3)用于对载料架(2)摆放的晶片进行拍摄检测;所述高清摄像头(3)顶部设置有调整组件(5),并且调整组件(5)两端底部与所述底座(1)顶部表面相连,所述调整组件(5)用于调整高清摄像头(3)的位置,以实现高清摄像头(3)全面对晶片进行拍摄检测;所述底座(1)顶部表面一侧设置有触摸一体机(4)
。2.
根据权利要求1所述的晶片检测装置,其特征在于:所述调整组件(5)包括支架(
501
),所述支架(
501
)两个底端均设置有第一电动直线滑台(
502
),并且第一电动直线滑台(
502
)底部表面与所述底座(1)顶部表面相连,所述支架(
501
)表面顶部设置有第二电动直线滑台(
503
);所述第二电动直线滑台(
503
)输出端通过卡座(
504
)安装有电动伸缩杆(
505
),并且电动伸缩杆(
505
)输出端安装有固定架(
506
),同时固定架(
506
)底端与高清摄像头(3)顶部表面相连
...

【专利技术属性】
技术研发人员:陶晓鸥石建祥
申请(专利权)人:南通康成电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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