硅片生产用双面研磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了硅片生产用双面研磨机，本实用新型专利技术涉及硅片生产技术领域，包括机体，所述机体上设有多硅片固定机构，所述机体顶部设有顶盖，所述机体一侧设有除尘机构，所述多硅片固定机构包括固定座，所述固定座两侧均固定连接有导向滑块，两个所述导向滑块一端顶部均固定连接有移动座，所述移动座内部螺纹连接有卸料丝杆，所述卸料丝杆端部固定连接有卸料电机。该硅片生产用双面研磨机，通过固定电机同时带动多个固定头移动，对不同尺寸的硅片进行固定，然后卸料电机带动卸料丝杆转动，卸料丝杆转动带动移动座移动，移动座移动带动导向滑块移动，导向滑块移动将固定座送出机体，从而能够方便进行卸料，有效提高加工效率和效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
硅片生产用双面研磨机


[0001]本技术涉及硅片生产
，具体为硅片生产用双面研磨机。

技术介绍

[0002]硅片在生产过程中，需要对其双面进行研磨，使其表面具有一定的光滑度，现有技术中，硅片生产用的双面研磨机在对硅片进行研磨时，难以对不同尺寸的硅片进行固定，并且卸料较为费力，使得加工效率和效果不够理想。
[0003]例如专利公开号CN209304294U，具体为一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫，该技术设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用，就存在这种硅片生产用的双面研磨机在对硅片进行研磨时，难以对不同尺寸的硅片进行固定，并且卸料较为费力，使得加工效率和效果不够理想的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了硅片生产用双面研磨机，解决了硅片生产用的双面研磨机在对硅片进行研磨时，难以对不同尺寸的硅片进行固定，并且卸料较为费力，使得加工效率和效果不够理想的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：硅片生产用双面研磨机，包括机体，所述机体上设有多硅片固定机构，所述机体顶部设有顶盖，所述机体一侧设有除尘机构；
[0006]所述多硅片固定机构包括固定座，所述固定座两侧均固定连接有导向滑块，两个所述导向滑块一端顶部均固定连接有移动座，所述移动座内部螺纹连接有卸料丝杆，所述卸料丝杆端部固定连接有卸料电机，所述固定座上开设有多个固定槽，每个所述固定槽内侧均设有多个固定头，每个所述固定头一端均固定连接有伸缩杆，所述固定头端部螺纹连接有固定螺杆，所述固定螺杆端部固定连接有从动齿轮，多个所述从动齿轮顶部啮合连接有端面齿环，所述端面齿环顶端固定连接有从动齿环，所述从动齿环一侧啮合连接有主动齿轮，所述主动齿轮端部固定连接有固定电机。
[0007]优选的，所述顶盖与机体之间设有第一液压缸，且所述机体和顶盖内部均设有多个研磨头，所述机体内部的研磨头一端设有第二液压缸。
[0008]优选的，所述固定座通过导向滑块与机体内壁滑动连接，且所述固定座一端与机体贯穿设置。
[0009]优选的，所述卸料丝杆与机体内壁转动连接，所述卸料电机固定安装在机体内部。
[0010]优选的，所述伸缩杆两端分别与固定槽内壁和固定头端部固定连接，所述从动齿环和端面齿环均与固定座内壁转动连接。
[0011]优选的，所述除尘机构包括集尘箱，所述集尘箱内部设有风机，所述风机端部连接有吸尘管。
[0012]优选的，所述吸尘管端部分别与顶盖和机体内部相连通，所述集尘箱内部滑动连接有滤箱。
[0013]优选的，所述滤箱端部固定连接有吸附磁铁，所述集尘箱一侧设有排风口。
有益效果
[0014]本技术提供了硅片生产用双面研磨机。与现有技术相比具备以下有益效果：
[0015]1、该硅片生产用双面研磨机，通过固定电机同时带动多个固定头移动，从而能够对不同尺寸的硅片进行固定，然后卸料电机带动卸料丝杆转动，卸料丝杆转动带动移动座移动，移动座移动带动导向滑块移动，导向滑块移动将固定座送出机体，从而能够方便进行卸料，有效提高加工效率和效果。
[0016]2、该硅片生产用双面研磨机，通过风机将研磨产生的粉尘吸入到集尘箱内部，利用滤箱进行过滤，并利用吸附磁铁对滤箱进行固定，从而能够方便对粉尘进行收集。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图。
[0018]图2为本技术的多硅片固定机构结构示意图。
[0019]图3为本技术的固定头与固定电机之间连接结构示意图。
[0020]图4为本技术的图1中A处结构放大图。
[0021]图中：1、机体；2、多硅片固定机构；201、固定座；202、导向滑块；203、移动座；204、卸料丝杆；205、卸料电机；206、固定槽；207、固定头；208、伸缩杆；209、固定螺杆；210、从动齿轮；211、端面齿环；212、从动齿环；213、主动齿轮；214、固定电机；3、顶盖；4、除尘机构；401、集尘箱；402、吸尘管；403、滤箱；404、吸附磁铁。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：硅片生产用双面研磨机，包括机体1，机体1上设有多硅片固定机构2，机体1顶部设有顶盖3，顶盖3与机体1之间设有第一液压缸，且机体1和顶盖3内部均设有多个研磨头，机体1内部的研磨头一端设有第二液压缸，使得能够通过第一液压缸和第二液压缸对研磨头进行移动，使得研磨头能够同时对硅片的双面进行研磨，机体1一侧设有除尘机构4，可通过多硅片固定机构2能够对多个不同尺寸的硅片进行固定，并且能够在研磨后将硅片送出，方便进行卸料，有效提高加工效率和效果。
[0024]多硅片固定机构2包括固定座201，固定座201通过导向滑块202与机体1内壁滑动连接，且固定座201一端与机体1贯穿设置，使得固定座201能够伸出机体1，方便进行卸料，固定座201两侧均固定连接有导向滑块202，两个导向滑块202一端顶部均固定连接有移动座203，移动座203内部螺纹连接有卸料丝杆204，卸料丝杆204端部固定连接有卸料电机205，卸料丝杆204与机体1内壁转动连接，卸料电机205固定安装在机体1内部，可通过卸料电机205带动卸料丝杆204转动，卸料丝杆204转动带动移动座203移动，移动座203移动带动导向滑块202移动，导向滑块202移动将固定座201送出机体1，从而能够方便进行卸料，固定座201上开设有多个固定槽206，每个固定槽206内侧均设有多个固定头207，每个固定头207一端均固定连接有伸缩杆208，伸缩杆208两端分别与固定槽206内壁和固定头207端部固定连接，能够对固定头207起到导向作用，从动齿环212和端面齿环211均与固定座201内壁转动连接，固定头207端部螺纹连接有固定螺杆209，固定螺杆209端部固定连接有从动齿轮210，多个从动齿轮210顶部啮合连接有端面齿环211，端面齿环211顶端固定连接有从动齿环212，从动齿环212一侧啮合连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅片生产用双面研磨机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）上设有多硅片固定机构（2），所述机体（1）顶部设有顶盖（3），所述机体（1）一侧设有除尘机构（4）；所述多硅片固定机构（2）包括固定座（201），所述固定座（201）两侧均固定连接有导向滑块（202），两个所述导向滑块（202）一端顶部均固定连接有移动座（203），所述移动座（203）内部螺纹连接有卸料丝杆（204），所述卸料丝杆（204）端部固定连接有卸料电机（205），所述固定座（201）上开设有多个固定槽（206），每个所述固定槽（206）内侧均设有多个固定头（207），每个所述固定头（207）一端均固定连接有伸缩杆（208），所述固定头（207）端部螺纹连接有固定螺杆（209），所述固定螺杆（209）端部固定连接有从动齿轮（210），多个所述从动齿轮（210）顶部啮合连接有端面齿环（211），所述端面齿环（211）顶端固定连接有从动齿环（212），所述从动齿环（212）一侧啮合连接有主动齿轮（213），所述主动齿轮（213）端部固定连接有固定电机（214）。2.根据权利要求1所述的硅片生产用双面研磨机，其特征在于：所述顶盖（3）与机体（1）之间设有第一液压缸，且所述机体（1）和顶盖（3）内部均设有多个研...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨本云，宗柳林，
申请(专利权)人：南通康成电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：