一种芯片生产线的废水联合处理装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于废水处理领域，具体的说是一种芯片生产线的废水联合处理装置及其方法，包括废水箱；所述废水箱底端固接有

【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产线的废水联合处理装置及其方法


[0001]本专利技术属于废水处理领域，具体的说是一种芯片生产线的废水联合处理装置及其方法
。

技术介绍

[0002]在芯片制造技术中，通过一系列的光刻
、
刻蚀
、
沉积
、
离子注入
、
研磨
、
清洗等工艺形成具有各种功能的芯片，然后将所述芯片进行封装和电性测试，并最终形成终端产品
。
[0003]芯片生产线生产过程中，在芯片研磨时会产生大量的废水，其废水中含有大量固体颗粒
、
油脂
、
悬浮物等杂物，对环境和人体健康都有很大的危害，因此需对研磨废水进行处理，以减少对环境的影响
。
[0004]现有的研磨废水处理，多数是一次性对大量的废水进行处理，其倒入混凝剂进行搅拌反应处理，由于废水量较大，倒入的混凝剂进行搅拌，易出现反应不充分情况，导致废水有害物残留过多，排放废水影响环境
。
[0005]为此，本专利技术提供一种芯片生产线的废水联合处理装置及其方法
。

技术实现思路

[0006]为了弥补现有技术的不足，以解决现有的研磨废水处理，多数是一次性对大量的废水进行处理，其倒入混凝剂进行搅拌反应处理，由于废水量较大，倒入的混凝剂进行搅拌，易出现反应不充分情况，导致废水有害物残留过多，影响环境的技术问题
。
[0007]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种芯片生产线的废水联合处理装置，包括废水箱；所述废水箱底端固接有
L
形块；所述
L
形块的水平面上通过弹簧固接有反应箱，反应箱侧壁滑动连接在
L
形块竖直内侧壁上，且反应箱位于废水箱下方；所述废水箱和反应箱底端相对于位置处分别开设有第一出水口和第二出水口；所述第一出水口通过第一开关件开合，第二出水口通过第二开关件开合；所述反应箱底端开设有放料件；所述反应箱底端通过
L
形柱固接有电机，且电机的输出端设有转动轴，转动轴贯穿伸入反应箱内并固接有一组搅拌杆；所述反应箱的升降带动第一开关件的开合；所述转动轴的转动带动第二开关件的开合；所述
L
形块的水平面上固接有第一固定柱，且第一固定柱内部为空腔设置；所述反应箱底端固接有第二固定柱，且第二固定柱贯穿伸入第一固定柱的中空腔内；所述第一固定柱侧壁固接有正极板；所述反应箱底端固接有负极板；所述正极板和负极板相互贴合时，电机通电工作
。
[0008]优选的，所述第一开关件包括第一挡水板；所述废水箱的底部开设有第一凹槽；所述第一出水口内壁上开设有第一回形槽；所述第一回形槽内滑动连接有第一挡水板，且第一挡水板一端伸出废水箱外；所述第一凹槽内通过转轴转动连接有第一
Z
形板；所述第一
Z
形板端部上固接有第一直角三角块；所述第一挡水板的一侧固接有第一连接柱，且第一连接柱伸入第一凹槽内并固接有第一倒直角梯形块，且第一倒直角梯形块与第一直角三角块的斜面相互平行，且位置相对应；所述第一倒直角梯形块的底端开设有第一卡位槽；所述第
一凹槽的槽底设有第一导向轮；所述转动轴顶端转动连接有拉杆；所述拉杆和第一倒直角梯形块的一侧之间固接有第一拉绳，且第一拉绳的贯穿第一
Z
形板并通过第一导向轮导向；所述第一
Z
形板的顶部与第一凹槽的槽底通过弹簧固接；所述第一挡水板通过螺栓连接在废水箱侧壁上
。
[0009]优选的，所述反应箱底壁固接有
T
形喷头；所述反应箱底端固接有滑动筒，且滑动筒内壁上密封滑动有活塞筒；所述活塞筒底端固接在
L
形块水平面上；所述滑动筒顶端和
T
形喷头相互连通；所述
L
形块侧壁上固接有物料箱；所述活塞筒通过软管和物料箱相互连通；所述软管和
T
形喷头内均设有单向阀
。
[0010]优选的，所述第二开关件包括第二挡水板和推动单元；所述反应箱的底部开设有第二凹槽；所述第二出水口内壁上开设有第二回形槽；所述第二回形槽内滑动连接有第二挡水板，且第二挡水板一端伸出反应箱外；所述第二凹槽内通过转轴转动连接有第二
Z
形板；所述第二
Z
形板端部上固接有第二直角三角块；所述第二挡水板的一侧固接有第二连接柱，且第二连接柱伸入第二凹槽内并固接有第二倒直角梯形块，且第二倒直角梯形块与第二直角三角块的斜面相互平行，且位置相对应；所述第二倒直角梯形块的底端开设有第二卡位槽；所述第二凹槽的槽底设有第二导向轮；所述
L
形块的水平面和第二倒直角梯形块的一侧之间固接有第二拉绳，且第二拉绳的贯穿第二
Z
形板并通过第二导向轮导向；所述第二
Z
形板的顶部与第二凹槽的槽底通过弹簧固接；所述第二
Z
形板下方通过推动单元向上推动；所述第二挡水板通过螺栓连接在反应箱侧壁上
。
[0011]优选的，所述推动单元包括第一摩擦环；所述反应箱底端内开设有圆形腔；所述转动轴贯穿圆形腔，且转动轴位于圆形腔内的轴上固接有第一摩擦环；所述圆形腔内壁上固接有空心环；所述第一摩擦环外壁和空心环内壁相互贴合；所述空心环底端固接有
U
形管，且空心环和
U
形管相互连通；且
U
形管的另一端部位于第二
Z
形板下方，且
U
形管端部内壁上密封滑动连接有顶柱，且顶柱和第二
Z
形板底端相互贴合；所述
U
形管和空心环内充入气体
。
[0012]优选的，所述第一固定柱空腔内充满液压油；所述第二固定柱伸入第一固定柱内的端部上固接有密封板，且密封板上密封滑动连接在第一固定柱的中空腔内壁上；所述密封板上开设有一组第一通孔
。
[0013]优选的，所述第二出水口底部固接有出料筒，且出料筒侧壁上转动连接有固定柱，且固定柱伸入出料筒内并固接有一组弧形叶片；所述出料筒的一侧开设有出料通槽；所述出料筒内侧壁开设有弧形槽；所述出料筒内铰接有过滤板，且过滤板一端与弧形槽位置相对应；所述固定柱通过联动件带动过滤板转动；所述出料筒的一侧固接有收集箱，且收集箱与出料通槽位置相对应；所述
L
形块的水平面上开设有折形通槽，且出料筒滑动连接在折形通槽内
。
[0014]优选的，所述联动件包括圆盘；所述固定柱的一端贯穿出料筒并固接有圆盘，且圆盘一侧固接有一组三角斜块，且一组三角斜块呈圆形；所述弧形槽的侧壁开设有弧形通槽，且弧形通槽与过滤板位置相对应；所述过滤板的一侧固接有摆动柱，且摆动柱的一端伸出弧形通槽转动连接有
L
形摆动杆；所述
L
形摆动杆的一端转动连接有三角块，且三角块位置与三角斜块位置相对应
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种芯片生产线的废水联合处理装置，其特征在于：包括废水箱
(1)
；所述废水箱
(1)
底端固接有
L
形块
(11)
；所述
L
形块
(11)
的水平面上通过弹簧固接有反应箱
(14)
，反应箱
(14)
侧壁滑动连接在
L
形块
(11)
竖直内侧壁上，且反应箱
(14)
位于废水箱
(1)
下方；所述废水箱
(1)
和反应箱
(14)
底端相对于位置处分别开设有第一出水口
(19)
和第二出水口
(191)
；所述第一出水口
(19)
通过第一开关件开合，第二出水口
(191)
通过第二开关件开合；所述反应箱
(14)
底端开设有放料件；所述反应箱
(14)
底端通过
L
形柱固接有电机
(17)
，且电机
(17)
的输出端设有转动轴
(18)
，转动轴
(18)
贯穿伸入反应箱
(14)
内并固接有一组搅拌杆
(181)
；所述反应箱
(14)
的升降带动第一开关件的开合；所述转动轴
(18)
的转动带动第二开关件的开合；所述
L
形块
(11)
的水平面上固接有第一固定柱
(12)
，且第一固定柱
(12)
内部为空腔设置；所述反应箱
(14)
底端固接有第二固定柱
(13)
，且第二固定柱
(13)
贯穿伸入第一固定柱
(12)
的空腔内；所述第一固定柱
(12)
侧壁固接有正极板
(15)
；所述反应箱
(14)
底端固接有负极板
(16)
；所述正极板
(15)
和负极板
(16)
相互贴合时，电机
(17)
通电工作
。2.
根据权利要求1所述的一种芯片生产线的废水联合处理装置，其特征在于：所述第一开关件包括第一挡水板
(23)
；所述废水箱
(1)
的底部开设有第一凹槽
(21)
；所述第一出水口
(19)
内壁上开设有第一回形槽
(22)
；所述第一回形槽
(22)
内滑动连接有第一挡水板
(23)
，且第一挡水板
(23)
一端伸出废水箱
(1)
外；所述第一凹槽
(21)
内通过转轴转动连接有第一
Z
形板
(25)
；所述第一
Z
形板
(25)
端部上固接有第一直角三角块
(24)
；所述第一挡水板
(23)
的一侧固接有第一连接柱
(29)
，且第一连接柱
(29)
伸入第一凹槽
(21)
内并固接有第一倒直角梯形块
(26)
，且第一倒直角梯形块
(26)
与第一直角三角块
(24)
的斜面相互平行，且位置相对应；所述第一倒直角梯形块
(26)
的底端开设有第一卡位槽；所述第一凹槽
(21)
的槽底设有第一导向轮
(27)
；所述转动轴
(18)
顶端转动连接有拉杆
(2)
；所述拉杆
(2)
和第一倒直角梯形块
(26)
的一侧之间固接有第一拉绳
(28)
，且第一拉绳
(28)
的贯穿第一
Z
形板
(25)
并通过第一导向轮
(27)
导向；所述第一
Z
形板
(25)
的顶部与第一凹槽
(21)
的槽底通过弹簧固接；所述第一挡水板
(23)
通过螺栓连接在废水箱
(1)
侧壁上
。3.
根据权利要求1所述的一种芯片生产线的废水联合处理装置，其特征在于： 所述放料件包括
T
形喷头
(3)
；所述反应箱
(14)
底壁固接有
T
形喷头
(3)
；所述反应箱
(14)
底端固接有滑动筒
(31)
，且滑动筒
(31)
内壁上密封滑动有活塞筒
(32)
；所述活塞筒
(32)
底端固接在
L
形块
(11)
水平面上；所述滑动筒
(31)
顶端和
T
形喷头
(3)
相互连通；所述
L
形块
(11)
侧壁上固接有物料箱
(33)
；所述活塞筒
(32)
通过软管
(34)
和物料箱
(33)
相互连通；所述软管
(34)
和
T
形喷头
(3)
内均设有单向阀
。4.
根据权利要求1所述的一种芯片生产线的废水联合处理装置，其特征在于：所述第二开关件包括第二挡水板
(4)
和推动单元；所述反应箱
(14)
的底部开设有第二凹槽
(41)
；所述第二出水口
(191)
内壁上开设有第二回形槽
(42)
；所述第二回形槽
(42)
内滑动连接有第二挡水板
(4)
，且第二挡水板
(4)
一端伸出反应箱
(14)
外；所述第二凹槽
(41)
内通过转轴转动连接有第二
Z
形板
(44)
；所述第二
Z
形板
(44)
端部上固接有第二直角三角块
(43)
；所述第二挡水板
(4)
的一侧固接有第二连接柱
(48)
，且第二连接柱
(48)
伸入第二凹槽
(41)
内并固接有第二倒直角梯形块
(47)
，且第二倒直角梯形块
(47)
与第二直角三角块
(43)
的斜面相互平行，且位置相对应；所述第二倒直角梯形块
(47)
的底端开设有第二卡位槽；所述第二凹槽
(41)
的槽底设有第二导向轮
(46)
；所述
L
形块
(11)
的水平面和第二倒直角梯形块
(47)
的一
侧之间固接有第二拉绳
(45)
，且第二拉绳
(45)
的贯穿第二
Z
形板
(44)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈振国，李一凡，于伟，李云超，梁家婷，张恒，李力，
申请(专利权)人：苏州方舟环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：