一种工作在固体界面上的微纳清洁机器人及使用方法技术

本发明专利技术涉及一种工作在固体界面上的微纳清洁机器人及使用方法，包括微纳机器人本体和体外控制单元；所述体外控制单元，通过脉冲激光的光热冲击效应驱动并捕获固体界面上微纳机器人，利用体外控制单元中电动控制模块控制捕获光斑位置，引导微纳机器人在固体界面移动，对识别的目标污点进行吸附或驱赶，实现自主清洁微观区域的目标

【技术实现步骤摘要】
一种工作在固体界面上的微纳清洁机器人及使用方法


[0001]本专利技术涉及一种微观清洁技术，特别涉及一种工作在固体界面上的微纳清洁机器人及使用方法
。

技术介绍

[0002]随着微机电系统
(MEMS)
以及微纳技术的发展
,
微纳机器人已经成为了微纳米制造
、
生物体内探测
、
药物传递
、
微型无人机等方向的重要研究目标
。
而微纳尺度的相关器件往往需要保持很高的表面清洁度，以保证其质量，因此清洁微观区域的需求也应运而生，例如光敏微芯片或光纤端面去污
、
半导体材料移灰等
。
[0003]由于尺寸效应带来的比表面积增大，纳米尺度上的摩擦急剧增加，极大地阻碍了固体界面上微纳机器人的运动，更别说清洁微观表面
。
目前驱动微纳机器人的主要方法分为三大类，外场激励驱动
、
自驱动和生物杂合驱动
。
常见的外场激励驱动包括磁场驱动
、
>超声驱动
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种工作在固体界面上的微纳清洁机器人，其特征在于，包括微纳机器人本体和体外控制单元；所述体外控制单元通过脉冲激光的光热冲击效应驱动并捕获固体界面上微纳机器人本体，利用体外控制单元中电动控制模块控制捕获光斑位置，引导微纳机器人本体在固体界面移动，对识别的目标污点进行吸附或驱赶，实现自主清洁微观区域的目标
。2.
根据权利要求1所述工作在固体界面上的微纳清洁机器人，其特征在于，所述微纳机器人本体包括底盘和搭载物；所述底盘为驱动元件，用于清洁实现；所述搭载物为传感元件
、
通讯元件或末端执行器元件，非微纳机器人本体的必要组成部分，用于探测机器人自身或者周围环境的变化，与体外控制单元通讯，以及推动外部微纳颗粒
。3.
根据权利要求2所述工作在固体界面上的微纳清洁机器人，其特征在于，所述底盘为由一个任意形状的纳米片或者多个纳米片组合而成，单个纳米片厚度
≤5
μ
m。4.
根据权利要求2所述工作在固体界面上的微纳清洁机器人，其特征在于，所述底盘制作材料为光热吸收的金属或半导体材料
。5.
根据权利要求1至4中任意一项所述工作在固体界面上的微纳清洁机器人，其特征在于，所述脉冲激光输出波长范围为
300nm
～2μ
m
，脉宽范围为
50fs
～
100
μ
s。6.
根...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷付星，朱润琳，刘鸿江，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：