生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置，其节能燃烧的处理方法在生产设备的各气体供应端分别加设有一流量监测计，以实时得到供应量数据，并将此数据送至一中心处理器处，中心处理器配合软件设定进行所需瓦斯量的计算，根据各别或混合废排气的气体进行废排气燃烧解离时的瓦斯量所需数值计算后设定，并将瓦斯量数据传输至废排气燃烧处理器的一瓦斯调整器处进行调整与自动设定，当各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，即自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行；另外公开了依前述处理方法所完成的相对应之处理装置

【技术实现步骤摘要】
生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置


[0001]本专利技术关于一种生产设备节能处理方法及其装置，特别是指一种生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置
。

技术介绍

[0002]现有已有一种废排气除离燃烧处理装置，就是前端生产设备所使用的各种气体，如：
NF3、NH3、SiH4、N2O、PH3、SF6、CF4、C2HF5等等，包括开始前利用Ｎ2气体进行管路测漏，以确保各危险气体在中的安全状态，之后进入生产设备中工作，待工艺完成后的各种气体废排气进入俗称
Scrubber
的设备进行处理，对以使用燃烧方法进行后段废排气处理的机台来说，绝大多数
(
几乎百分百
)
都是以固定量的瓦斯通过瓦斯供应管路进行供气燃烧解离反应，如此一来，不论废排气性质或数量如何，都以最高标准最大供应量进行完全燃烧除离反应为最高原则，就会造成瓦斯能源过度使用的无谓损耗；影响到整体的瓦斯成本性，与机台过度燃烧的损耗性
、
耐用性，与过量的环境碳排放，为了提供更符合实际需求的物品，专利技术人乃进行研发，以解决现有使用上易产生的种种能耗问题
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置，以解决现有技术中存在的上述问题
。
为达成上述的目的，本专利技术的结构为：其节能燃烧处理方法为在生产设备的各气体供应端分别加设置一流量监测计，以实时得到各气体供应量数据，并将此气体供应量数据输送至一中心处理器处，中心处理器配合软件设定进行所需瓦斯量的计算，根据各别或混合废排气的气体进行废排气燃烧解离时的所需瓦斯量的数值计算后设定，并将所需瓦斯量的数值数据传输至废排气燃烧处理器的瓦斯调整器处进行调整与自动设定，当各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行
。
其节能燃烧的处理装置包括在生产设备的各气体供应端分别加设的一流量监测计，还包括一中心处理器与软件接收的各气体供应端的各流量监测计的数据计算燃烧各气体所需瓦斯量的数值，废排气燃烧处理器的瓦斯供应管路上设置一瓦斯调整器，并将该所需瓦斯量的数值传至废排气燃烧处理器的该瓦斯调整器处进行设定，当各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，即自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行
。
[0004]本专利技术能够节能，节省瓦斯用量，不盲目长时间进行燃烧，充分让燃烧处理器发挥应有的燃烧效能，在设定时程中以最经济的燃料（瓦斯量）所产生较佳的解离排除废排气的处理方法及装置，必要地实现促使燃烧腔中有较佳的利用效率，避免燃烧腔因过度使用的成本损耗，且更有效率让各种废排气气体能分别或混合进行处理，对燃烧处理器整个机台的运用更合理化
、
更经济
、
更实用，更省时
、
更无需时常因燃烧处理器内粉尘含碳过多的维修保养，能提升前端生产设备的整体使用率
。
更重要的就是：节能下的减碳行为更符合未来
工业生产的碳排要求
。
[0005]为使贵审查委员能更进一步了解本专利技术为达成预定目的所采取的技术
、
手段及功效，兹举一较佳可行的实施例，并配合图式详细说明如后，相信本专利技术的目的
、
特征与优点，当可由此得一深入且具体之了解
。
附图说明
[0006]图1为专利技术的处理流程图；图2为本专利技术处理装置的立体配置图
。
[0007]附图标记说明
1、
气体供应端；
2、
流量监测计；
3、
中心处理器；
4、
瓦斯调整器；
5、
瓦斯供应管路
。
具体实施方式
[0008]如图1所示，为本专利技术一种生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法及其装置，其节能燃烧的处理方法在生产设备的各气体供应端1分别设置一流量监测计2，以实时得到供应量数据，并将此数据送至一中心处理器3处，中心处理器3配合软件设定进行所需瓦斯量的计算，根据的各别或混合废排气的气体进行废排气燃烧解离时的所需瓦斯量的数值计算后设定，并将所需瓦斯量的数值数据传输至废排气燃烧处理器的瓦斯调整器4处进行调整与自动设定，当各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，即自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行
。
以最经济精确地调整瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧效率，让废排气的气体快速准确进行燃烧解离后排出
。
[0009]如图2所示，其节能燃烧的处理装置在生产设备的各气体供应端1分别加设有一流量监测计2，设有一中心处理器3与软件接收的各气体供应端1的各流量监测计2的数据进行计算产生瓦斯量需使用数值，废排气燃烧处理器的瓦斯供应管路5上设置一瓦斯调整器4，并将该瓦斯量数值传至废排气燃烧处理器的该瓦斯调整器4处进行设定，当的各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，即自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行
。
通过各流量监测计2的数据进行计算产生所需瓦斯量的数值，并将该所需瓦斯量的数值传至废排气燃烧处理器的该瓦斯调整器处进行设定，当的各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，即自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的进行
。
本专利技术使一种或一种以上的各种气体的各别或混合废排气分别顺着各气体管线进入燃烧腔后以瓦斯调整器对应喷出设定数值瓦斯量进行燃烧，便能节省单元处理时间的瓦斯用量
。
[0010]综上所述的结构，本专利技术运用数值对应的流量监测器提前感知生产设备系统上各种气体管路上操作与流通的实际状态，并对应将数据进行处理后送至废排气燃烧处理器的瓦斯调整器处进行各段投送瓦斯量的时间与数量的排定，产生燃烧处理器的最佳烧烧解离使用效能，所以能提供很好的节能使用性，为一完全与现有不同的装置设备与处理方法
。
[0011]以上所述为本专利技术之较佳实施例的详细说明与图式，并非用来限制本专利技术，本专利技术的所有范围应以权利要求书的保护范围为准，凡专利范围的精神与其类似变化的实施例与近似结构，皆应包含于本专利技术之中
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种生产设备废排气除离的节能燃烧处理方法，其特征在于，在生产设备的各气体供应端分别设置一流量监测计，以实时得到的各气体供应量数据，并将各气体供应量数据输送至一中心处理器处，中心处理器配合软件设定进行所需瓦斯量的计算，根据各别或混合废排气的气体进行废排气燃烧解离时的所需瓦斯量的数值计算后设定，并将所需瓦斯量的数值数据传输至废排气燃烧处理器的瓦斯调整器处进行调整与自动设定，当各别或混合废排气的气体由各气体管线分别进入废排气燃烧处理器的燃烧腔时，自动调整对应的瓦斯量供应至燃烧腔中以配合燃烧解离的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖伟城，江坤盛，
申请(专利权)人：胜豹上桥科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：