【技术实现步骤摘要】
基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置及加工方法
[0001]本专利技术涉及超精密伺服加工
,具体涉及一种基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置及加工方法
。
技术介绍
[0002]曲面光栅是许多高端装备所必须的关键光学零部件,其制造精度直接决定了装备的使用性能
。
基于单点金刚石的超精密切削加工技术是制造曲面光栅的重要加工手段,通过传统超精密切削加工手段,形状精度可达微米到数十微米级,粗糙度可达亚微米级
。
随着对高端装备性能的需求越来越高,对曲面光栅的制造精度也有了更高的要求
。
在传统超精密切削加工中,使用位置控制来驱动刀具生成加工表面,但由于机床运动误差和工件安装误差的存在,使得加工精度难以进一步提高
。
[0003]切削去除过程是刀具与工件的力相互作用过程,切削力是反应加工状态最直接的物理量
。
当加工误差发生时,切削力信号会出现相应的异常现象
。
因此,通过实时检测加工过程刀具与工件的相互作用力即切削力,并调整刀具位置以控制切削力,可以有效的补偿机床运动误差和工件安装误差
。
[0004]沿曲面基底加工时,刀具切深方向与曲面法线方向不一致会造成刀具切削点变更
、
刀具实际切削前角与后角变更
、
切深进给偏离曲面径向引起的切深误差等情况,影响加工表面质量与形状精度,因此需保证刀具切深方向与曲面法线方向一致以提高加工精度
。
传统方法
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置,包括:工件定位机构,用于定位待加工曲面光栅的工件并使得工件的曲面面向刀具;
X
轴运动机构,用于直接或间接驱动工件定位机构使工件沿水平方向的
X
轴移动;
Y
轴运动机构,用于直接或间接驱动工件定位机构使工件沿高度方向的
Y
轴升降;刀具,用于在工件曲面上加工曲面光栅;其特征在于,还包括:
Z
轴运动机构,用于使刀具从水平方向向靠近或远离工件的方向,即沿水平方向的
Z
轴移动;力检测模块,所述刀具安装在力检测模块上,所述力检测模块用于实时检测刀具受到的切削力,所述力检测模块具备切削方向力检测功能以用于监测切削过程中刀具所受法向切削力;伺服微驱动模块,所述力检测模块安装于伺服微驱动模块上,所述伺服微驱动模块驱动刀具沿
Z
轴方向进行微运动;
B
轴运动机构,伺服微驱动模块与
B
轴运动机构连接,
B
轴运动机构通过带动伺服微驱动模块在水平方向转动继而实现刀具在水平方向转动;反馈控制器模块,接收力检测模块的检测数据并与扫描参考力数据或加工参考力数据作比较,进而控制伺服驱动模块的运动使刀具沿
Z
轴方向进行微运动,从而使刀具所受到的法向切削力趋向扫描参考力或加工参考力
。2.
根据权利要求1所述的基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置,其特征在于,所述伺服微驱动模块包括驱动元件
、
位移传递机构
、
位移传感器,所述位移传感器用于记录驱动位置并传输给反馈控制器模块
。3.
根据权利要求1或2所述的基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置,其特征在于,所述
X
轴运动机构
、Y
轴运动机构
、Z
轴运动机构及
B
轴运动机构的各轴内部均装有编码器,以实时记录各轴驱动位置并传输给反馈控制器模块
。4.
根据权利要求1或2所述的基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置,其特征在于,所述扫描参考力为
0.1
‑
0.3mN
;所述加工参考力为
0.1
‑
0.3mN
,所述力检测模块的分辨率为
0.1mN。5.
一种权利要求1至4中任意一项所述基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置的加工方法,其特征在于包括如下步骤,
S1.
扫描前对刀:控制
B
轴不旋转,将刀具移动到工件加工部分
X
向一侧边缘位置但不与工件接触;设置扫描参考力信号,伺服微驱动模块驱动位置位于其半行程处,控制
Z
轴以使刀具靠近工件,当检测力信号等于或大于扫描参考力信号时,停止
Z
轴移动,完成扫描前对刀;
S2.
...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈远流,魏中华,吴晓峰,曹生炜,杜姗,杜凯,李国,
申请(专利权)人:浙江联宜电机有限公司,
类型:发明
国别省市:
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