【技术实现步骤摘要】
一种真空等离子清洗设备
[0001]本专利技术涉及等离子清洗
，具体为一种真空等离子清洗设备
。
技术介绍
[0002]等离子清洗机也叫等离子表面处理机，是一种利用等离子体来达到常规水洗
、
毛刷洗无法达到的效果，等离子体是物质的一种状态，不属于常见的固液气三态的第四态，对气体施加足够的能量使之离化便成为了等离子状态，等离子体的活性组分包括：离子
、
电子
、
原子
、
活性基团
、
激发态的核素
、
光子等，等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁的目的
。
[0003]目前在进行等离子清理时，首先需要将半导体晶圆放置到清理箱内，再将清理箱抽成真空状态，最后通过等离子对半导体晶圆进行清理，但是一般清洗箱内部不仅需要设置清理的部件，还需要设置将箱体变成真空状态的部件，导致箱体的体积偏大，将清洗箱抽成真空状态需要消耗一定的时间，导致会增加清理的时间，从而降低清理的工作效率，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种真空等离子清洗设备，其特征在于：包括底座（1）
、
固定设置于底座（1）顶部的第一清洗箱（2）和固定设置于第一清洗箱（2）顶部的第二清洗箱（3），所述第一清洗箱（2）与第二清洗箱（3）的前端均铰接设置有箱门（4），所述第一清洗箱（2）与第二清洗箱（3）的内部后侧均分别设置有进气管（6）和排气管（7），所述第一清洗箱（2）内放置有放置板（5），放置板（5）的顶部开设有放置槽，所述第二清洗箱（3）内设置有多个工作板（
31
），所述第二清洗箱（3）内设置有用于将第一清洗箱（2）与第二清洗箱（3）连通的开合组件（9），所述第一清洗箱（2）内设置有用于将放置板（5）输送至第二清洗箱（3）的输送组件（8）；所述开合组件（9）包括开设于第一清洗箱（2）顶端和第二清洗箱（3）底端的连接槽，上端所述连接槽内左右两侧铰接设置有两个挡板（
91
），两个所述挡板（
91
）的顶部均设置有第一拉环（
92
），所述第二清洗箱（3）内壁左右两侧转动设置有第二螺纹杆（
95
），所述第二螺纹杆（
95
）上设置有第二螺纹座（
94
），所述第二螺纹座（
94
）与第二清洗箱（3）内壁滑动连接，两个所述第二螺纹座（
94
）的相对侧均设置有第二拉环（
93
），所述第二拉环（
93
）与第一拉环（
92
）之间均扣接有第三拉环，同侧两个所述第三拉环之间通过拉杆（
96
）连接；所述第二清洗箱（3）内壁左右两侧顶端转动第一锥齿轮（
97
），所述第二清洗箱（3）内壁顶部转动设置有转杆（
98
），所述转杆（
98
）的左右两端固定设置有与第一锥齿轮（
97
）啮合的第二锥齿轮（
99
），所述第一锥齿轮（
97
）与第二螺纹杆（
95
）共轴，左侧所述第一锥齿轮（
97
）通过第一电机驱动；所述输送组件（8）包括固定设置于第一清洗箱（2）内底部的
U
型座（
81
），所述
U
型座（
81
）的内侧转动设置有第一螺纹杆（
82
），所述第一螺纹杆（
82
）的两端均活动设置有第一螺纹座（
83
），所述第一螺纹座（
83
）与
U
型座（
81
）之间滑动连接，所述第一螺纹杆（
82
）的两端开设有旋向相反的螺纹段，所述
U
型座（
81
）的上方活动设置有输送板（
84
），所述输送板（
84
）的顶部与放置板（5）的底部接触，所述输送板（
84
）的底部与第一螺纹座（
83
）的顶部之间通过推杆（
85
）连接，所述推杆（
85
）分别与第一螺纹座（
83
）和输送板（
84
）的连接处铰接，所述第一螺纹杆（
82
）通过第二电机驱动
。2.
根据权利要求1所述的一种真空等离子清洗设备，其特征在于：所述第二清洗箱（3）内活动设置有两...
【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，李晓飞，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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