【技术实现步骤摘要】
一种单线切割机上料治具
[0001]本技术涉及碳化硅晶锭加工
,特别涉及一种单线切割机上料治具。
技术介绍
[0002]随着新能源汽车、功率器件、轨道交通等行业的发展,第三代半导体材料碳化硅的需求量越来越大。
[0003]碳化硅晶锭在进行切割时需用到单线切割机,传统的单线切割机上料治具((如图1所示,其包括粘接在料板上1的树脂板2、树脂板2上设有碳化硅晶锭3、导轮14以及金刚线5等))设计简单,上料过程树脂板粘接精度无法保证,切割过程金刚线摇摆行程受阻,摇摆过程存在触碰料板1的风险,且下料融胶不易操作,需将沉重的料板1连同树脂板2及碳化硅晶锭一同转移至加热平台进行融胶操作,因此,本申请提供了一种单线切割机上料治具来满足需求。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种单线切割机上料治具,用以解决
技术介绍
中上料精度无法保证、金刚线摇摆容易触碰料板1以及下料融胶不易操作等问题。
[0005]为实现上述目的,本申请提供如下技术方案:一种单线切割机上料治具,包括料板、其上设置有碳化硅晶锭的树 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单线切割机上料治具,包括料板(1)、其上设置有碳化硅晶锭(3)的树脂板(2)以及缠绕有金刚线(5)的导轮(14),其特征在于:还包括基座(9)和U形定位槽(4),所述U形定位槽(4)的U形腔底部安装面上设有燕尾形限位条(6),所述U形定位槽(4)的两侧壁上均设有多个螺纹孔,且每个所述螺纹孔内均螺纹连接有定位螺杆(7),所述基座(9)的底部设置有与所述燕尾形限位条(6)适配的燕尾形插槽(8),当所述基座(9)与所述燕尾形限位条(6)时,所述U形定位槽(4)的上端位于所述基座(9)的上方。2.根据权利要求1所述的一种单线切...
【专利技术属性】
技术研发人员:左轩,郁永岚,顾雪龙,贺贤汉,
申请(专利权)人:安徽微芯长江半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。