一种喷头类零件氦气测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板，密封底板上活动安装有工件，工件上活动有二级密封接头，密封底板上活动安装有上盖密封模块，结合产品自身的结构特性，转接板将工件固定在密封底板上，形成一级密封，利用上盖板将二级密封接头固定，形成二级密封，将密封法兰转换座安装在二级密封接头上，形成三级密封，并且通过各结构件之间的连接转换，将喷头零件底部和头部密封件安装区域间接的密封，从而连接为一个整体，通过三级密封以及两次结构转接，实现了产品氦气测试的功能需求，可靠的解决了该类型焊接产品的氦气测试环节的密封问题，并且该装置结构简单，造价成本低，测试效率高。测试效率高。测试效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种喷头类零件氦气测试装置


[0001]本技术涉及半导体零件的后制程测试
，尤其涉及一种喷头类零件氦气测试装置。

技术介绍

[0002]厂内承接的一种喷头类零件的加工订单，需要通过焊接工艺成型后再次二次加工后满足图面要求，为确保在客户端使用的可靠性，该产品要求厂内进行氦气漏率测试，焊接区域以及密封件安装区域的漏率低于1X10
‑
9 atmcc/sec。
[0003]但此类喷头类型零件受到其自身结构的限制，没有有效的固定装夹面供氦气测试仪器的密封管件进行连接，因此需要一种喷头类零件氦气测试装置来满足人们的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种喷头类零件氦气测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的此类喷头类型零件受到其自身结构的限制，没有有效的固定装夹面供氦气测试仪器的密封管件进行连接的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板，所述密封底板上活动安装有工件，工件上活动有二级密封接头，所述密封底板上活动安装有上盖密封模块，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板(1)，其特征在于：所述密封底板(1)上活动安装有工件(2)，工件(2)上活动有二级密封接头(3)，所述密封底板(1)上活动安装有上盖密封模块(4)，所述工件(2)位于密封底板(1)和上盖密封模块(4)之间，所述二级密封接头(3)上活动安装有密封法兰转换座(5)，密封法兰转换座(5)的底端外壁上套接有三级密封圈(301)，三级密封圈(301)位于二级密封接头(3)顶端内；所述上盖密封模块(4)包括转接板(401)，转接板(401)活动安装在密封底板(1)上，所述工件(2)位于转接板(401)和密封底板(1)之间，所述转接板(401)上活动安装有两个对称的连接板(402)，两个连接板(402)的顶端上活动安装有同一个上盖板(403)，所述二级密封接头(3)位于上盖板(403)内。2.根据权利要求1所述的一种喷头类零件氦气测试装置，其特征在于：所述密封底板(1)上开设有第一密封槽，第一密封槽内安装有密封圈(101)，密封圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴益芳，王伟，李瑞贤，
申请(专利权)人：富曜半导体昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：