一种喷头类零件氦气测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板，密封底板上活动安装有工件，工件上活动有二级密封接头，密封底板上活动安装有上盖密封模块，结合产品自身的结构特性，转接板将工件固定在密封底板上，形成一级密封，利用上盖板将二级密封接头固定，形成二级密封，将密封法兰转换座安装在二级密封接头上，形成三级密封，并且通过各结构件之间的连接转换，将喷头零件底部和头部密封件安装区域间接的密封，从而连接为一个整体，通过三级密封以及两次结构转接，实现了产品氦气测试的功能需求，可靠的解决了该类型焊接产品的氦气测试环节的密封问题，并且该装置结构简单，造价成本低，测试效率高。测试效率高。测试效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种喷头类零件氦气测试装置


[0001]本技术涉及半导体零件的后制程测试
，尤其涉及一种喷头类零件氦气测试装置。

技术介绍

[0002]厂内承接的一种喷头类零件的加工订单，需要通过焊接工艺成型后再次二次加工后满足图面要求，为确保在客户端使用的可靠性，该产品要求厂内进行氦气漏率测试，焊接区域以及密封件安装区域的漏率低于1X10
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9 atmcc/sec。
[0003]但此类喷头类型零件受到其自身结构的限制，没有有效的固定装夹面供氦气测试仪器的密封管件进行连接，因此需要一种喷头类零件氦气测试装置来满足人们的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种喷头类零件氦气测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的此类喷头类型零件受到其自身结构的限制，没有有效的固定装夹面供氦气测试仪器的密封管件进行连接的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板，所述密封底板上活动安装有工件，工件上活动有二级密封接头，所述密封底板上活动安装有上盖密封模块，所述工件位于密封底板和上盖密封模块之间，所述二级密封接头上活动安装有密封法兰转换座，密封法兰转换座的底端外壁上套接有三级密封圈，三级密封圈位于二级密封接头顶端内，所述上盖密封模块包括转接板，转接板活动安装在密封底板上，所述工件位于转接板和密封底板之间，所述转接板上活动安装有两个对称的连接板，两个连接板的顶端上活动安装有同一个上盖板，所述二级密封接头位于上盖板内。
[0006]优选的，所述密封底板上开设有第一密封槽，第一密封槽内安装有密封圈，密封圈位于工件的底端。
[0007]优选的，所述密封底板的底端的转接板的顶端上均开设有若干个限位孔，同一垂直面上的两个限位孔内滑动安装有同一个限位销。
[0008]优选的，所述密封底板和转接板之间、转接板和连接板以及连接板和上盖板之间均通过螺丝活动连接。
[0009]优选的，所述工件的顶端上第二密封槽，第二密封槽内安装有二级密封圈，二级密封圈位于二级密封接头的底端。
[0010]优选的，所述上盖板的中心处开设有通孔，二级密封接头的上半段位于通孔内，通孔的内径小于二级密封接头的下半段，二级密封接头的下半段位于上盖板的下方。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]本技术结合产品自身的结构特性，转接板将工件固定在密封底板上，形成一级密封，利用上盖板将二级密封接头固定，形成二级密封，将密封法兰转换座安装在二级密封接头上，形成三级密封，并且通过各结构件之间的连接转换，将喷头零件底部和头部密封
件安装区域间接的密封，从而连接为一个整体，通过三级密封以及两次结构转接，实现了产品氦气测试的功能需求，可靠的解决了该类型焊接产品的氦气测试环节的密封问题，并且该装置结构简单，造价成本低，测试效率高。
附图说明
[0013]图1为本技术提出的一种喷头类零件氦气测试装置的结构示意图；
[0014]图2为本技术提出的一种喷头类零件氦气测试装置的上盖密封模块的结构示意图；
[0015]图3为本技术提出的一种喷头类零件氦气测试装置的工件、密封底板和二级密封接头连接爆炸结构示意图；
[0016]图4为本技术提出的一种喷头类零件氦气测试装置的爆炸结构示意图。
[0017]图中：1、密封底板；101、密封圈；102、限位销；2、工件；201、二级密封圈；3、二级密封接头；301、三级密封圈；4、上盖密封模块；401、转接板；402、连接板；403、上盖板；5、密封法兰转换座；6、螺丝。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参照图1
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4，一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板1，密封底板1上活动安装有工件2，工件2上活动有二级密封接头3，密封底板1上活动安装有上盖密封模块4，工件2位于密封底板1和上盖密封模块4之间，二级密封接头3上活动安装有密封法兰转换座5，密封法兰转换座5的底端外壁上套接有三级密封圈301，三级密封圈301位于二级密封接头3顶端内，上盖密封模块4包括转接板401，转接板401活动安装在密封底板1上，工件2位于转接板401和密封底板1之间，转接板401上活动安装有两个对称的连接板402，两个连接板402的顶端上活动安装有同一个上盖板403，二级密封接头3位于上盖板403内，将工件2放置在密封底板1上，将连接板402固定在转接板401上，此时将转接板401放置在工件2上，并固定在密封底板1上，从而完成一级密封，将二级密封接头3放置在工件2上，此时将上盖板403套接在二级密封接头3上，并固定在连接板402上，从而完成二级密封，将密封法兰转换座5安装在二级密封接头3上，三级密封圈301保证了密封法兰转换座5和二级密封接头3之间的密封性，从而防止氦测时出现接头处漏气的现象，进而实现了氦测的正常进行，完成三级密封，使用氦气侧漏仪的标准KF40快接接头和密封法兰转换座5对接，进而完成工件2氦测需求的密封准备工作，通过三级密封以及两次结构转接，实现了产品氦气测试的功能需求，可靠的解决了该类型焊接产品的氦气测试环节的密封问题，并且该装置结构简单，造价成本低，测试效率高。
[0020]参照图3，本实施例中，密封底板1上开设有第一密封槽，第一密封槽内安装有密封圈101，密封圈101位于工件2的底端，密封圈101保证了密封底板1和工件2之间的密封性，保证了氦测密封的正常进行。
[0021]参照图3，本实施例中，密封底板1的底端的转接板401的顶端上均开设有若干个限
位孔，同一垂直面上的两个限位孔内滑动安装有同一个限位销102，限位销102方便了密封底板1和转接板401之间的安装定位，使得安装更加快捷，并且为密封底板1和转接板401之间提供支撑，防止转接板401的压力对工件2造成损伤。
[0022]参照图4，本实施例中，密封底板1和转接板401之间、转接板401和连接板402以及连接板402和上盖板403之间均通过螺丝6活动连接，利用螺丝6实现了各部件之间的模块化，从而实现了方便安装和拆卸的目的。
[0023]参照图3，本实施例中，工件2的顶端上第二密封槽，第二密封槽内安装有二级密封圈201，二级密封圈201位于二级密封接头3的底端，二级密封圈201保证了工件2与二级密封接头3之间的密封性，保证了氦测密封的正常进行。
[0024]参照图4，本实施例中，上盖板403的中心处开设有通孔，二级密封接头3的上半段位于通孔内，通孔的内径小于二级密封接头3的下半段，二级密封接头3的下半段位于上盖板403的下方，通孔的开设实现了将二级密封接头3稳定的压制在工件2上，从而确保了二级密封接头3和工件2之间的密封性。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板(1)，其特征在于：所述密封底板(1)上活动安装有工件(2)，工件(2)上活动有二级密封接头(3)，所述密封底板(1)上活动安装有上盖密封模块(4)，所述工件(2)位于密封底板(1)和上盖密封模块(4)之间，所述二级密封接头(3)上活动安装有密封法兰转换座(5)，密封法兰转换座(5)的底端外壁上套接有三级密封圈(301)，三级密封圈(301)位于二级密封接头(3)顶端内；所述上盖密封模块(4)包括转接板(401)，转接板(401)活动安装在密封底板(1)上，所述工件(2)位于转接板(401)和密封底板(1)之间，所述转接板(401)上活动安装有两个对称的连接板(402)，两个连接板(402)的顶端上活动安装有同一个上盖板(403)，所述二级密封接头(3)位于上盖板(403)内。2.根据权利要求1所述的一种喷头类零件氦气测试装置，其特征在于：所述密封底板(1)上开设有第一密封槽，第一密封槽内安装有密封圈(101)，密封圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴益芳，王伟，李瑞贤，
申请(专利权)人：富曜半导体昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：