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本实用新型公开了一种喷头类零件氦气测试装置，包括密封底板，密封底板上活动安装有工件，工件上活动有二级密封接头，密封底板上活动安装有上盖密封模块，结合产品自身的结构特性，转接板将工件固定在密封底板上，形成一级密封，利用上盖板将二级密封接头固定...
该专利属于富曜半导体（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富曜半导体（昆山）有限公司授权不得商用。

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