VI源校准装置及系统制造方法及图纸

本申请涉及一种VI源校准装置及系统。VI源校准装置包括至少两组校准总线和与校准总线组数相同的内部校准电路；各校准总线连接至外部校准仪器，一组校准总线上连接待校准VI源的其中一组通道；内部校准电路连接于对应的一组校准总线，内部校准电路被外部校准仪器校准，以及用于对所连接校准总线上的待校准VI源的通道依校准项进行校准。采用本申请，可以提高VI源校准效率。VI源校准效率。VI源校准效率。

【技术实现步骤摘要】
VI源校准装置及系统


[0001]本申请涉及电子测量
，特别是涉及一种VI源校准装置及系统。

技术介绍

[0002]VI源是一种可以作为电压源、也可以作为电流源的设备，比如，可用于半导体自动测试装备产品，用于作为被测单元的激励电压源，提供可控、可测的电源。VI源在使用过程中受环境、电气、时间等因素影响，不可避免会发生测量与输出偏差，这时校准则是达成高精度指标的重要途径。VI源的校准分为外部校准与内部校准，外部校准提供高精度的参考源，而内部校准负责快速的完成VI源的校准工作。外部校准通常1年一次，而内部校准一般1
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2月进行一次。
[0003]在目前的校准经验中，一般使用单校准总线方式，校准总线上可挂载外部校准仪器、电阻负载、内部校准电路等校准资源，以及待校准的VI源通道。校准步骤为：先通过外部校准仪器去校准内部校准电路，再使用已校准的内部校准电路逐次去校准VI源的各通道，每个通道将会有多个不同的电压、电流点采集，以完成校准曲线拟合。
[0004]然而，随着VI源向多通道、高精度方向发展，产品通道数、精度要求成倍增加。对于VI源通道数量较多、测量点数多的情况，采用单个内部校准电路逐一校准各通道的方式需要花费较长时间，效率低下，从而会对半导体芯片生产效率带来负面影响。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种可以提高VI源校准效率的VI源校准装置及系统。
[0006]一种VI源校准装置，包括：
[0007]至少两组校准总线，各所述校准总线连接至外部校准仪器，一组所述校准总线上连接待校准VI源的其中一组通道；
[0008]与所述校准总线组数相同的内部校准电路，所述内部校准电路连接于对应的一组校准总线，所述内部校准电路被所述外部校准仪器校准，以及用于对所连接校准总线上的所述待校准VI源的通道依校准项进行校准。
[0009]在其中一个实施例中，所述内部校准电路包括电平匹配电路和模数转换电路，所述电平匹配电路一端连接至对应的一组校准总线，另一端连接所述模数转换电路。
[0010]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括合并开关，各组校准总线之间通过所述合并开关依次连接，所述外部校准仪器与其中任一组校准总线连接。
[0011]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括总开关和/或与所述校准总线组数相同的校准开关；
[0012]所述校准总线通过所述总开关连接至所述外部校准仪器；
[0013]一组所述校准总线通过对应的校准开关连接至所述待校准VI源的其中一组通道。
[0014]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括与所述校准总线组数相同的电阻
负载，所述电阻负载连接至对应的一组校准总线。
[0015]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括负载开关，所述电阻负载通过对应的负载开关连接至所述校准总线。
[0016]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括控制器，所述控制器连接所述内部校准电路。
[0017]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括温度传感器，所述温度传感器设置于所述内部校准电路附近，且连接所述控制器。
[0018]在其中一个实施例中，上述VI源校准装置还包括连接所述控制器的存储器。
[0019]一种VI源校准系统，包括外部校准仪器和上述的VI源校准装置，所述外部校准仪器连接所述VI源校准装置的校准总线。
[0020]上述VI源校准装置及系统，采用多组校准总线和多个内部校准电路构成多组校准资源，多个内部校准电路通过不同组的校准总线分别连接待校准VI源的不同组通道，各内部校准电路独立对所连接校准总线上的待校准VI源的一组通道进行内部校准，从而可以多组校准资源独立，可并行调用资源，实现多通道并行校准，从而缩短整体VI源的校准时间，提高VI源校准效率。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为一个实施例中VI源校准装置的电路原理图；
[0023]图2为另一个实施例中VI源校准装置的电路原理图。
具体实施方式
[0024]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。
[0025]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
[0026]可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。举例来说，在不脱离本申请的范围的情况下，可以将第一电阻称为第二电阻，且类似地，可将第二电阻称为第一电阻。第一电阻和第二电阻两者都是电阻，但其不是同一电阻。
[0027]可以理解，以下实施例中的“连接”，如果被连接的电路、模块、单元等相互之间具有电信号或数据的传递，则应理解为“电连接”、“通信连接”等。
[0028]在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特
征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。
[0029]在一个实施例中，提供了一种VI源校准装置，参考图1，该VI源校准装置包括至少两组校准总线和与校准总线组数相同的内部校准电路110，一组校准总线对应一个内部校准电路110；图1中仅示出两组校准总线和两个内部校准电路110，两组校准总线分别为DCC_BUS1和DCC_BUS2，可以理解，校准总线和内部校准电路的数量还可以为其他，比如3组、4组或5组。
[0030]校准总线连接至外部校准仪器，各组校准总线上连接待校准VI源的其中一组通道。其中，待校准VI源指需要进行校准的VI源，待校准VI源的通道可以分为多组，各组可以包括一个或多个通道。图1中以64路VI源通道分为两组为例，可以理解，VI源通道还可以分为其他组数，比如3组、4组或5组。
[0031]内部校准电路110连接于对应的一组校准总线，图1中，一个内部校准电路110挂载于第一组校准总线DCC_BUS1，另一个内部校准电路110挂载于第二组校准总线DCC_BUS2。
[0032]各组校准总线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种VI源校准装置，其特征在于，包括：至少两组校准总线，各所述校准总线连接至外部校准仪器，一组所述校准总线上连接待校准VI源的其中一组通道；与所述校准总线组数相同的内部校准电路，所述内部校准电路连接于对应的一组校准总线，所述内部校准电路被所述外部校准仪器校准，以及用于对所连接校准总线上的所述待校准VI源的通道依校准项进行校准。2.根据权利要求1所述的VI源校准装置，其特征在于，所述内部校准电路包括电平匹配电路和模数转换电路，所述电平匹配电路一端连接至对应的一组校准总线，另一端连接所述模数转换电路。3.根据权利要求1所述的VI源校准装置，其特征在于，还包括合并开关，各组校准总线之间通过所述合并开关依次连接，所述外部校准仪器与其中任一组校准总线连接。4.根据权利要求1或3所述的VI源校准装置，其特征在于，还包括总开关和/或与所述校准总线组数相同的校准开关；所述校准总线通过所述总开关连接至所述外部校准仪器；一组...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡刚，杨钊辉，吴炳龙，胡松德，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：