一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，包括第一线扫相机组件、第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源；第一隧道光源用于给硅片的上表面打光，第二隧道光源用于给硅片的下表面打光，条形高亮光源用于对硅片的前棱边和后棱边打光；条形高亮光源发出的光路经过反射组件分别反射至第一线扫相机组件和第二线扫相机组件，只用一个条形高亮光源即可实现对硅片的前棱边和后棱边的收集，实现光源少且光路简洁；同时硅片通过第一输送流线和第二输送流线输送，依次对硅片的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测，结构设计紧凑，使得空间利用率高。使得空间利用率高。使得空间利用率高。

【技术实现步骤摘要】
一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置


[0001]本技术涉及硅片分选设备
，具体涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置。

技术介绍

[0002]硅片作为重要的太阳能电池原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。应用在太阳能领域的硅片形状一般为方形或矩形，且其四个角为45
°
倒钝设计，在生产过程中，容易会有边缘棱边有硅落、崩边或表面脏污等不良品产生，目前是通过硅片分选机对硅片的质量进行把控和质量等级分选，以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。
[0003]硅片分选机一般由上料、检测和下料分选三部分组成，现有检测部分对棱边和上下表面缺陷的检测方法主要是先对硅片的一组平行边在第一个工位移动扫描检测，检测完后，硅片移动到第二个工位进行90
°
旋转，旋转后的硅片输送到第三个工位，对硅片的另一组平行边移动扫描检测，完成硅片的四周棱边崩边和硅落的检测，上下表面脏污的检测还需由其它工位完成，这种检测方法需要将硅片旋转，且对应的检测设备较多，成本高，导致工艺繁琐和检测效率低。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：包括沿着硅片(17)输送方向依次设置的第一输送流线(4)和第二输送流线(5)、安装在所述第一输送流线(4)的上方的第一线扫相机组件(1)、安装在所述第二输送流线(5)的下方的第二线扫相机组件(9)、反射组件以及沿着硅片(17)输送方向依次设置的第一隧道光源(3)、条形高亮光源(2)和第二隧道光源(6)，所述第一输送流线(4)的输出端与所述第二输送流线(5)的输入端形成间隙，所述条形高亮光源(2)位于所述间隙的正上方；所述第一隧道光源(3)位于所述第一输送流线(4)的上方，所述第二隧道光源(6)位于所述第二输送流线(5)的下方；所述反射组件包括两个光路反射镜组、两个打光反射镜组(14)和两个分光镜组(11)，两个所述打光反射镜组(14)均位于所述条形高亮光源(2)的正下方，用于接收所述条形高亮光源(2)发出的光以及分别将光反射至硅片(17)的前棱边和后棱边；两个所述光路反射镜组分别位于所述第一线扫相机组件(1)和所述第一输送流线(4)之间以及所述第二线扫相机组件(9)和所述第二输送流线(5)之间，用于接收对硅片(17)的前棱边照射光线和后棱边照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组(11)；两个所述光路反射镜组还分别用于接收对所述第一隧道光源(3)、所述第二隧道光源(6)所发出的硅片(17)上表面照射光线和下表面照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组(11)；两个所述分光镜组(11)分别位于第一线扫相机组件(1)的正下方和第二线扫相机组件(9)的正上方，用以接收对应的所述光路反射镜组反射的光线和分别透射至第一线扫相机组件(1)和第二线扫相机组件(9)。2.根据权利要求1所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：还包括安装支架，所述安装支架包括安装左立板(12)和安装右立板(13)，所述安装左立板(12)和所述安装右立板(13)通过多个固定板固定连接；所述第一输送流线(4)、所述第二输送流线(5)、所述第一线扫相机组件(1)、所述第二线扫相机组件(9)、所述反射组件、所述第一隧道光源(3)、所述条形高亮光源(2)和所述第二隧道光源(6)均安装在所述安装左立板(12)和所述安装右立板(13)上。3.根据权利要求2所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：还包括安装在所述安装支架上的两组点光源补光组件(8)，两组所述点光源补光组件(8)分别位于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖赖发，陈康，王成坤，
申请(专利权)人：珠海广浩捷科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：