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本实用新型涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，包括第一线扫相机组件、第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源；第一隧道光源用于给硅片的上表面打光，第二隧道光源用于给硅片的下表面打光...
该专利属于珠海广浩捷科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海广浩捷科技股份有限公司授权不得商用。

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