【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜工艺室
[0001]本技术涉及一种新型真空镀膜工艺室，具体为一种新型真空镀膜工艺室，属于真空镀膜
。
技术介绍
[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上
。
真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜
、
溅射镀膜和离子镀
。
[0003]专利号
CN 210215537 U
的公布了一种新型真空镀膜室，通过减速电机驱动转轴转动，可以使支撑条上的物料与转轴同步转动，物料在筒身内部做圆周运动，从而避免了物料镀膜效果不均匀的现象，提高了对物料的镀膜质量，通过真空口便于抽取筒身内部的空气，使筒身的内部处于真空状态，通过氩气口便于往筒身内输送氩气，通过设置机械密封件，保证了减速电机的传动轴与筒身之间的密封性，转轴上的三个托板均通过固定螺栓分别与三个转盘固定连接，便于安装和拆卸三个转盘，通过硅胶垫提高了托板与转盘之间的稳定性，通过两个连接片便于打开两个拼接板，便于将其从转轴上取下，从而可根据不同物料对转盘进行更换，灵活性较好
。
[0004]现有技术的真空镀膜有以下缺点：
1、
真空镀膜过程中待镀件与待成膜物质形成的蒸汽接触不均匀，真空镀膜后镀件表面的镀膜不均匀；
2、
真空镀膜过程中需保持较好的密封性，现有真空镀膜工艺室的密封性差，抽真空效果差，因此，针对上述问题进行改进
。
技术实现思路
[0005]本
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种新型真空镀膜工艺室，包括镀箱（1），其特征在于：所述镀箱（1）顶端安装有电机
a
（3），所述电机
a
（3）的输出端固定连接有转轴
a
（8），所述转轴
a
（8）固定连接有顶架（7），所述顶架（7）转动连接有镀杆
b
（
10
），所述镀杆
b
（
10
）位于镀杆
a
（9）的外侧，所述顶架（7）通过连接杆（
11
）固定连接有底架（
13
），所述底架（
13
）转动连接有固定座（
14
），所述镀箱（1）铰接有箱门（2），所述箱门（2）表面安装有气泵
a
（4），所述气泵
a
（4）的出气口延伸到气囊管
a
（5）的内部，所述气囊管
a
（5）安装在箱门（2）的表面，所述镀箱（1）安装有气囊管
b
（
23
）
。2.
根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜工艺室，其特征在于：所述镀杆
a
（9）和镀杆
b
（
10
）均固定连接有挂钩（
12
），所述连接杆（
11
）位于镀杆
b
（
10
）的外侧
。3.
根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜工艺室，其特征在于：所述镀箱（1）内底部安装有电机
b
（
17
），所述电机
b
（
17
）的输出端固定连接有转轴
b
（
18
）
。4.
根据权利要求3所述的一种新型真空镀膜工艺室，其特征在于：所述转轴
b
（
18
）安装有齿轮
c
（
21
），所述齿轮
c
（
技术研发人员：张伟，孙国明，张惠东，
申请(专利权)人：青州市邦朋真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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