【技术实现步骤摘要】
本专利技术适用于半导体激光器光束整形领域,特别涉及一种准直半导体激光器快轴 光束的柱透镜及其制造方法。
技术介绍
半导体激光器(Laser Diode,简称LD)输出光束的主要特点是在水平方向(习惯 称作“慢轴”)光束发散角小(约8-10度,FWHM)、发光区厚(条阵约1cm);在垂直方向(习 惯称作“快轴”)光束发散角大(约36-40度,FWHM)、发光区薄(约1 μ m)。由于半导体激 光器发散角较大,因此在实际应用之前对其进行准直是必须的。由于半导体激光器的快慢轴发散角不一致、且束腰位置也不一致,因此在精密 整形中常常把半导体激光器的快慢轴分别准直。慢轴方向发散角较小,因此可采用数值 孔径较小(比如NA ^ 0. 1)的微透镜准直(对于条阵和面阵LD,一般采用微透镜阵列 准直)。对于快轴方向,由于发散角较大,因此需要一块高折射率材料制作的、大数值孔 径(比如NA>0.7)的柱透镜实现发散角的压缩。从设计层面上讲,这种大数值孔径的 柱透镜由于孔径角较大,因此透镜的球差校正困难,需要采用昂贵的高折射率材料(比如 OHARA玻璃库中的TIH-53,折射率约 ...
【技术保护点】
一种准直半导体激光器快轴光束的折反射柱透镜,由前表面和后表面所构成,其特征在于:所述的后表面为平面结构,所述的前表面由非球面、折射面和全反射面所构成,且:(1)非球面面型R(y,z)上:光线与透镜光轴之间的夹角θ(即孔径角)、第i个采样点的表面切角β↓[Ri]和透镜材料折射率n之间的关系式(一)为:sin(θ+β↓[Ri])=n.sin(β↓[Ri]);第i个采样点的表面切角β↓[Ri]与非球面面型坐标R(y,z)的关系式(二)为:tanβ↓[Ri]=dz/dy≈(z↓[i]-z↓[i-1])/(y↓[i]-y↓[i-1]);(2)折射面面型为平面结构,折射面与透镜光轴之间 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郑国兴,李松,周辉,杨晋陵,石岩,马跃,高俊玲,
申请(专利权)人:武汉大学,
类型:发明
国别省市:83[中国|武汉]
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