光测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术的光测定装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光测定装置


[0001]本公开涉及光测定装置
。

技术介绍

[0002]存在通过脉冲传播方式
、
三角测距方式
、
共焦方式
、
白光干涉方式
、
或者波长扫描干涉方式等方式来测定距对象物的距离的光测距方法
。
这些方式中的白光干涉方式和波长扫描干涉方式等是使用光的干涉现象的干涉方式
。
在干涉方式中，将从光源射出的光分支为测定光和参照光，使测定光在对象物上反射的光即反射光与参照光干涉，基于反射光与参照光相互增强的条件来测定距对象物的距离
。
[0003]例如，专利文献1所记载的光学的测定装置使用了光的干涉现象
。
通过分束器将频率调制后的半导体激光器的输出光分为两部分，将一方设为参照光，将另一方设为探测光
。
探测光经由光环形器向对象物照射
。
来自对象物的散射光经由光环形器被引导至分束器，对散射光与参照光进行合波，由光检测器接收光
。
在频率调制后的参照光与散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种光测定装置，其中，所述光测定装置具备：分支部，其将光分支为参照光和测定光；调整部，其将所述参照光分支为光路长度各不相同的多个参照光；干涉部，其从反射光和所述多个参照光中对两个光进行合波，得到干涉光，该反射光是将所述测定光照射到对象物而反射的光；以及处理部，其根据所述干涉光的频率，计算光路长度差，所述光测定装置计算所述多个参照光的光路长度差
。2.
根据权利要求1所述的光测定装置，其中，所述干涉部从向所述对象物照射前的测定光
、
所述反射光以及所述多个参照光中对任意2个光进行合波，得到干涉光
。3.
根据权利要求1或2所述的光测定装置，其中，在针对所述多个参照光按照光路长度从短到长的顺序将第
m
个参照光设为第
m

【专利技术属性】
技术研发人员：山内隆典，西冈隼也，后藤广树，铃木巨生，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：