【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置
[0001]本专利技术涉及废水处理
,具体为一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置
。
技术介绍
[0002]在多晶硅生产中,三氯氢硅与氢气在一定温度及压力下,在还原炉内进行沉积反应,生产高纯多晶硅,由于多晶硅棒的热辐射使得钟罩内壁温度较高,每一轮沉积反应后,在还原炉钟罩内壁粘附着物料及硅粉,在下一炉生产时会影响还原炉钟罩的反射效率及产品质量,所以需要对还原炉钟罩内壁进行清洗
。
[0003]由于还原炉桶清洗所产生的废水有初步清洗所产生的脱盐废水和硅粉等固体物质,二次清洗所产生的硅酸钠废碱水和部分沉淀物,最后一次清洗后产生的废冲洗水,由于三次冲洗后产生的废水种类不同,因此,若是将三次冲洗后产生的废水先回流到同一个污水箱内收集混合,再排入到三废车间进行后处理,由于三次冲洗后产生的废水中含有的杂物或溶剂不同,若是采用该种方式处理废水必然会造成成本增加,且还难以对最后一次冲洗与前两次冲洗的废水进行中和处理,并且增大了废水处理的难度,同时难以对回收的废水进行重复利用
。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,包括污水箱,所述污水箱内通过隔板分隔有第一沉淀池
、
第二沉淀池和回收池,所述第一沉淀池内安装有过滤分离机构,过滤分离机构用于对还 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,包括污水箱(1),其特征在于,所述污水箱(1)内通过隔板(2)分隔有第一沉淀池(3)
、
第二沉淀池(4)和回收池,所述第一沉淀池(3)内安装有过滤分离机构(7),过滤分离机构(7)用于对还原炉桶内初步清洗产生的废液中混合的固体物质进行过滤分离,所述第一沉淀池(3)和第二沉淀池(4)的池底均设置有刮除机构(9),刮除机构(9)用于对池底沉淀的污垢进行刮除清理,所述回收池内通过隔板(2)分隔呈脱盐液混合池(5)和碱液混合池(6),所述脱盐液混合池(5)通过弱盐管道(
40
)与第一沉淀池(3)连接,所述碱液混合池(6)通过弱碱管道(
50
)与第二沉淀池(4)连通
。2.
根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,其特征在于:所述过滤分离机构(7)包括支撑方框(
71
)
、
导向滑条(
72
)
、
滚珠丝杠(
73
)和弹性过滤网(
74
),所述第一沉淀池(3)和第二沉淀池(4)之间的隔板(2)上开设有条形贯穿槽(
21
),所述污水箱(1)左侧内壁和对应的隔板(2)侧壁前后水平方向开设有导向滑槽(
101
),所述支撑方框(
71
)的左右两侧壁固定有导向滑条(
72
),且两个导向滑条(
72
)滑动设置在对称的导向滑槽(
101
)内,对称的两个所述导向滑槽(
101
)转动设置有滚珠丝杠(
73
),且滚珠丝杠(
73
)通过丝杠螺母副连接贯穿到导向滑条(
72
)内,所述支撑方框(
71
)与条形贯穿槽(
21
)滑动插接设置,且支撑方框(
71
)内安装有弹性过滤网(
74
)
。3.
根据权利要求2所述的一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,其特征在于:所述过滤分离机构(7)还包括贴合刮板(
75
)
、
条形收集盒(
76
)
、
挡板(
77
)和排渣管(
78
),所述贴合刮板(
75
)安装位于第一沉淀池(3)一侧面的隔板(2)上,且贴合刮板(
75
)滑动贴合到弹性过滤网(
74
)的上表面,所述污水箱(1)后侧位于第一沉淀池(3)的侧壁上开设有隐藏槽(
102
),且隐藏槽(
102
)内滑动插接有条形收集盒(
76
),所述条形收集盒(
76
)连接到支撑方框(
71
)的后侧面,且条形收集盒(
76
)的盒口底部与弹性过滤网(
74
)平齐,所述条形收集盒(
76
)的盒口处密封转动设置有挡板(
77
),所述条形收集盒(
76
)的外侧面连通有多个排渣管(
78
),且排渣管(
78
)与污水箱(1)一侧吸污泵连通
。4.
根据权利要求2所述的一种多晶硅还原炉桶清洗废水处理装置,其特征在于:所述弹性过滤网(
74
)通过收张组件(8)滑动安装到支撑方框(
71
)内,所述收张组件(8)包括弹性方框条(
81
)
、
双向气缸(
82
)
、
摩擦滑块(
83
)和弹性薄膜(
84
),所述弹性方框条(
81
)设置在支撑方框(
71
)的内侧面,且支撑方框(
71
)的左右两侧横条内侧面开设有滑移导槽(
711
),两个所述滑移导槽(
711
)的中部位置固定安装有双向气缸(
82
),且每个双向气缸(
82
)的活塞杆端面均设置有摩擦滑块(
83
),位于一个所述滑移导槽(
技术研发人员:周林军,
申请(专利权)人:成都亿鑫机电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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