基板支撑单元以及基板支撑单元的温度调节方法技术

本发明专利技术涉及一种基板支撑单元及基板支撑单元的温度调节方法，更详细来说涉及一种在将对基板进行支撑并加热的基板支撑单元划分成多个区的情况下可准确地测定各个区的温度并对其进行调节的基板支撑单元及基板支撑单元的温度调节方法。的温度调节方法。的温度调节方法。

【技术实现步骤摘要】
基板支撑单元以及基板支撑单元的温度调节方法


[0001]本专利技术涉及一种基板支撑单元以及基板支撑单元的温度调节方法，更详细来说涉及一种在将对基板进行支撑并加热的基板支撑单元划分成多个区的情况下可准确地测定各个区的温度并对其进行调节的基板支撑单元以及基板支撑单元的温度调节方法。

技术介绍

[0002]一般来说，对基板进行沉积、刻蚀等各种处理工艺的腔室在内侧配置有支撑基板的基板支撑单元。在这种基板支撑单元中配置有加热器，以将基板加热到适当的温度。
[0003]图11示出根据以往技术的基板支撑单元40。观察图11，基板支撑单元40包括基座10。基座10被划分成中央区域12与边缘区域14来提供，且在中央区域12与边缘区域14中分别配置有加热器部以对基板进行加热。在这种情况，向加热器部提供交流(alternating current，AC)电压。另外，调节AC电压的输出的第一输出调节部22及第二输出调节部24分别连接到中央区域12及边缘区域14的加热器部。
[0004]在利用根据以往技术的基板支撑单元40对基板进行加热的情况，为了准确地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑单元，其特征在于，包括：基座，对基板进行支撑；电阻部件，配置在所述基座并对所述基板进行加热；直流电供给部，直接连接到所述电阻部件以施加直流电压；以及控制部，通过测定所述电阻部件的电压值及电阻值算出所述电阻部件的温度，并通过控制所述直流电供给部的直流电压调节所述电阻部件的温度。2.根据权利要求1所述的基板支撑单元，其特征在于，所述基座被划分成两个以上的区域，所述电阻部件分别布置在所述两个以上的区域中，所述直流电供给部直接连接到布置在所述两个以上的区域中的每个所述电阻部件，以彼此独立地施加直流电压。3.根据权利要求2所述的基板支撑单元，其特征在于，所述直流电供给部配置有两个以上，并独立地连接到每个所述电阻部件。4.根据权利要求2所述的基板支撑单元，其特征在于，所述基座被分成布置在中央的第一区域与布置在边缘的第二区域，且所述电阻部件包括布置在所述第一区域的第一电阻部件与布置在所述第二区域的第二电阻部件。5.根据权利要求1所述的基板支撑单元，其特征在于，所述控制部包括用于处理所述电阻部件的电压值的模拟数字转换器的通道，以及用于处理所述电阻部件的电阻值的ADC的通道。6.根据权利要求1所述的基板支撑单元，其特征在于，在所述控制部中存储有将所述电阻部件的电阻值换算成温度的电阻
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温度表。7.根据权利要求6所述的基板支撑单元，其特征在于，所述电阻
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温度表的温度由根据所述电阻部件的电阻及温度的数式来确定。8.根据权利要求7所述的基板支撑单元，其特征在于，所述电阻
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温度表的温度通过直接测定所述电阻部件或所述基板的温度来算出每单位温度的电阻值或电阻温度系数(α)的校准来提供。9.根据权利要求1所述的基板支撑单元，其特征在于，所述直流电供给部包括：输...

【专利技术属性】
技术研发人员：林炅泰，
申请(专利权)人：TES股份有限公司，
类型：发明
国别省市：