感光性树脂膜制造技术

本发明专利技术涉及一种感光性树脂膜

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂膜、抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性树脂膜
、
抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法
。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路
(LSI)
或配线板的制造领域中，使用感光性材料作为用于制作导体图案的抗蚀剂
。
例如，在配线板的制造中，使用感光性树脂组合物形成抗蚀剂，接着，通过镀敷处理形成导体图案
、
金属柱等
。
更具体而言，在基板上使用感光性树脂组合物等形成感光层，并经由规定的掩模图案对该感光层进行曝光，接着，进行显影处理，以便能够选择性地去除
(
剥离
)
形成导体图案
、
金属柱等的部分，由此形成抗蚀剂图案
(
抗蚀剂
)。
接着，在该去除的部分通过镀敷处理形成铜等导体之后，去除抗蚀剂图案，由此能够制造具备导体图案
、
金属柱等的配线板
(
例如，参考专利文献1及
2)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开
2000
‑
356852
号公报
[0006]专利文献2：国际公开第
2008/064803
号

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术课题
[0008]在电感器等电子零件中，探讨加厚导体层的厚度来形成纵横比高的配线图案
、
为了提高生产效率而缩短各工艺来短时间化
。
因此，对感光性树脂膜要求能够形成厚膜的抗蚀剂图案并且缩短所形成的抗蚀剂图案的剥离时间
。
[0009]本专利技术是鉴于以上情况而完成的，其目的在于提供一种能够兼顾图案形成性和剥离特性的感光性树脂膜
、
使用该感光性树脂膜的抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法
。
[0010]用于解决技术课题的手段
[0011]本专利技术所涉及的感光性树脂膜含有粘合剂聚合物
、
包含丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物
、
光聚合引发剂及阻聚剂，其厚度为
35
～
300
μ
m。
[0012]本专利技术所涉及的抗蚀剂图案的形成方法包括：在基板上使用上述感光性树脂膜来设置感光层的工序；向感光层的至少一部分照射活性光线来形成光固化部的工序；及去除感光层的除光固化部以外的至少一部分来形成抗蚀剂图案的工序
。
[0013]本专利技术所涉及的配线图案的形成方法包括：对通过上述抗蚀剂图案的形成方法形成有抗蚀剂图案的基板进行镀敷处理来形成导体图案的工序；及在镀敷处理之后去除光固化部的工序
。
[0014]专利技术效果
[0015]根据本专利技术，能够提供一种能够兼顾图案形成性和剥离特性的感光性树脂膜
、
使
用该感光性树脂膜的抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法
。
附图说明
[0016]图1是表示感光性树脂膜的一实施方式的示意剖视图
。
[0017]图2是示意性表示形成配线图案的工序的一方式的图
。
具体实施方式
[0018]以下，对本专利技术进行详细说明
。
在本说明书中，使用“～”表示的数值范围表示将记载于“～”前后的数值分别作为最小值及最大值而包含的范围
。
并且，在本说明书中阶段性地记载的数值范围中，某一阶段的数值范围的上限值或下限值可以替换为其他阶段的数值范围的上限值或下限值
。
在本说明书中所记载的数值范围中，该数值范围的上限值或下限值也可以替换为实施例所示的值
。
[0019]在本说明书中，“(
甲基
)
丙烯酸”是指“丙烯酸”及与其对应的“甲基丙烯酸”中的至少一者，关于
(
甲基
)
丙烯酸酯等其他类似表现也相同
。
并且，“丙烯酸酯化合物”中包括具有丙烯酰基的化合物，“甲基丙烯酸酯化合物”中包括具有甲基丙烯酰基的化合物
。
[0020]在本说明书中，“固体成分”是指除去感光性树脂组合物中所包含的水
、
溶剂等挥发物质后的不挥发成分，在对该树脂组合物进行了干燥时，表示未挥发而残留的成分，并且还包括在
25℃
附近的室温下为液态
、
糖浆状及蜡状的成分
。
[0021][
感光性树脂膜
][0022]本实施方式所涉及的感光性树脂膜含有粘合剂聚合物
、
包含丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物
、
光聚合引发剂及阻聚剂，其厚度为
35
～
300
μ
m。
[0023]本实施方式所涉及的感光性树脂膜能够使用含有粘合剂聚合物
、
光聚合性化合物
、
光聚合引发剂及阻聚剂的感光性树脂组合物来制作
。
以下，对感光性树脂膜及感光性树脂组合物中使用的各成分进行详细说明
。
[0024]((A)
粘合剂聚合物
)
[0025](A)
粘合剂聚合物
(
以下，也称为“(A)
成分”)
例如能够通过使聚合性单体进行自由基聚合来制造
。
作为聚合性单体，例如可以举出苯乙烯或苯乙烯衍生物
、
具有羧基的聚合性单体
、
具有羟基的聚合性单体
、(
甲基
)
丙烯酸苄酯
、(
甲基
)
丙烯酸烷基酯
、(
甲基
)
丙烯酸四氢糠基酯
、(
甲基
)
丙烯酸二甲基氨基乙酯
、(
甲基
)
丙烯酸二乙基氨基乙酯
、(
甲基
)
丙烯酸缩水甘油酯
、
双丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺
、
丙烯腈
、
烷基乙烯基醚
、2,2,2
‑
三氟乙基
(
甲基
)
丙烯酸酯及
2,2,3,3
‑
四氢丙基
(
甲基
)
丙烯酸酯
。
聚合性单体可以单独使用一种或者组合使用两种以上
。
[0026]从密合性及剥离特性的观点考虑，
(A)
成分可以具有基于苯乙烯或苯乙烯苯乙烯的结构单元
。
苯乙烯苯乙烯为乙烯基甲苯
、
α
‑
甲基苯乙烯等苯乙烯的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种感光性树脂膜，其含有粘合剂聚合物
、
包含丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物
、
光聚合引发剂及阻聚剂，其厚度为
35
～
300
μ
m。2.
根据权利要求1所述的感光性树脂膜，其中，所述丙烯酸酯化合物包含具有两个丙烯酰基的二丙烯酸酯
。3.
根据权利要求2所述的感光性树脂膜，其中，所述二丙烯酸酯具有双酚骨架或脂环式骨架
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂膜，其中，所述光聚合性化合物还包含甲基丙烯酸酯化合物
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的感光...

【专利技术属性】
技术研发人员：川上穰，平松尚树，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：