一种痕量制造技术

本发明专利技术公开了一种痕量

【技术实现步骤摘要】
一种痕量NOx的检测装置及方法


[0001]本专利技术涉及电子特种气体提纯
，具体涉及一种痕量
NOx
的检测装置及方法
。

技术介绍

[0002]氧化亚氮，又叫笑气，在常温常压下为稍有甜味的无色无臭麻醉性气体，液化后也是无色
。
氧化亚氮在常温比较稳定，但是加热到
300℃
以上时开始分解，
500℃
时分解明显，
900℃
时完全分解成氮和氧
。
空气中不燃烧，但能助燃
。
氧化亚氮性质较稳定，不与水
、
酸和碱溶液反应，与氧气和臭氧也不反应
。
[0003]高纯笑气是我国电子工业不可或缺的关健原料之一，广泛应用于集成电路器件
、LED、
光伏等行业中
。
高纯一氧化二氮作为电子气体，主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体
。
例如，在
PECVD
工艺淀积
Si本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，包括标准气瓶
、
待测样品瓶
、
氮氧化物分析仪和尾气处理设备，所述标准气瓶和待测样品瓶连接，所述待测样品瓶上连接有样品质量流量计，所述待测样品瓶与尾气处理设备之间通过第一管道连接，所述第一管道上设有支路管道，所述支路管道连通待测样品瓶与氮氧化物分析仪，所述氮氧化物分析仪与尾气处理设备连通，所述第一管道上设有第一球阀和氮气流量计，所述支路管道上设有第二球阀和流量调节阀
。2.
根据权利要求1所述的一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，所述待测样品瓶上连接有三通阀，所述三通阀的一端与标准气瓶连接，一端连接第一管道
。3.
根据权利要求2所述的一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，所述标准气瓶与所述待测样品瓶通过毛细柱连接，所述毛细柱穿过三通阀并插入第一管道中
。
优选地，所述毛细柱插入第一管道的长度为
1mm
～
10mm
，更优选为2～
5mm。
优选地，所述毛细柱的管径可选
0.25mm、0.32mm、0.53mm
，柱长可选2‑
30
米
。4.
根据权利要求2所述的一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，所述标准气瓶上连接有第一减压阀，所述待测样品瓶上连接有第二减压阀
。5.
根据权利要求1所述的一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，所述支路管道上设有若干岔路管道，每个岔路管道均与尾气处理设备连接
。6.
根据权利要求5所述的一种痕量
NOx
的检测装置，其特征在于，所述支路管道上设有第一岔路管道和第二岔路管道，所述第一岔路管道和第二岔路管道每个岔路管道均与尾气处理设备连接，所述第一岔路管道上设有进样分流流量计
。7.
一种痕量
NOx
的检测方法，其特征在于，采用权利要求1‑6任一项所述的痕量
NOx
的检测装置，具体包括以下步骤：
S1、
关闭标准气瓶的瓶阀，打开待测样品瓶的瓶阀，调节待测样品瓶出口压力，关闭第一球阀，打开第二球阀，控制样品质量流量计，使流量稳定，调节流量调节阀，待氮氧化物分析仪数值稳定后，每隔1分钟记录1个数据，记录5次，计算平均值
y0；
S2、
打开标准气瓶的瓶阀，调节标准气瓶出口压力，打开第一球阀，关闭第二球阀，读取氮...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶华，朱晓斌，高建鑫，
申请(专利权)人：金宏气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：