一种半导体加工用对准焊接装置制造方法及图纸

技术编号:39492196 阅读:11 留言:0更新日期:2023-11-24 11:14
本发明专利技术公开了一种半导体加工用对准焊接装置,涉及半导体加工技术领域,该装置公开了焊接架,所述焊接架上滑动安装有两个移动块,所述移动块上转动安装有旋接杆,两个旋接杆均转动连接移动架,所述移动架上滑动安装有两个焊头架,所述焊头架上固定安装有激光焊接头,所述焊接架上固定安装有显示屏,设置两个可以调节间距的激光焊接头,可以对半导体与两个衬底的焊接面进行同步焊接,在满足不同厚度半导体的焊接基础上,提高半导体的焊接加工效率,在旋转架上设置多个定底组件以及定底块,满足不同大小的衬底的安装,设置可以双轴方向移动的气动手指,方便将半导体对准安装在两个衬底之间

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用对准焊接装置


[0001]本专利技术涉及半导体加工
,更具体地说,它涉及一种半导体加工用对准焊接装置


技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在加工时需要置于两个衬底之间进行对准焊接

[0003]目前的对准焊接装置在焊接后,半导体与衬底之间的焊缝会存在粗细不一的情况,当焊缝过粗或者过细时,就存在明显的半导体焊接缺陷问题,目前的对准焊接装置无法直观对半导体的焊接缺陷问题进行判断,操作人员需要通过仔细的观察才能判断半导体的焊接缺陷问题

目前的对准焊接装置也无法对焊接异常问题进行归类处理,操作人员难以对异常原因进行分析


技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的在于提供一种半导体加工用对准焊接装置

[0005]为实现上述目的,本专利技术提供了如下技术方案:
[0006]一种半导体加工用对准焊接装置,包括焊接架,所述焊接架上滑动安装有两个移动块,所述移动块上转动安装有旋接杆,两个旋接杆均转动连接移动架,所述移动架上滑动安装有两个焊头架,所述焊头架上固定安装有激光焊接头,所述焊接架上固定安装有显示屏;
[0007]所述焊接架一侧固定安装有定底架,所述定底架上滑动安装有两个调节架,所述调节架上固定安装有旋转组件,所述旋转组件一侧设置有旋转架,所述旋转架上固定安装有多个定底组件,所述定底组件一侧设置有定底块,所述定底组件用于驱动定底块移动;
[0008]所述定底架一侧固定安装有上料架,所述上料架上滑动安装有调整组件,所述调整组件一侧设置有气动手指,所述调整组件用于驱动气动手指移动,所述气动手指用于夹持半导体,所述调整组件上固定安装有焊接检测头;
[0009]所述焊接检测头包括焊接拍摄模块

缺陷判断模块

型号判断模块

缺陷归类模块,所述焊接拍摄模块用于对半导体的焊接过程进行拍摄,获取得到影像数据,并将影像数据转换成视频影像帧,所述缺陷判断模块用于对半导体的焊接缺陷进行综合判断,具体为:对视频影像帧中的异常帧进行标记,将异常帧按照帧数先后进行排序,将相邻两个异常帧所对应的帧数进行帧数差值计算获取得到缺陷帧数间隔,将所有的缺陷帧数间隔进行求和处理并取均值获取得到缺陷帧数均隔并标记为
Lm
;获取得到异常帧的总数量,并标记为
Pe
,利用公式获取得到半导体的焊接缺陷值
Cu
,其中,
a1、a2
均为预设比例系数,设置焊接缺陷值阈值为
Ty
,当半导体的焊接缺陷值
Cu≥
焊接缺陷值阈值
Ty
时,将该半导
体标记为焊接缺陷体;
[0010]所述型号判断模块用于识别半导体型号,并将半导体型号发送至缺陷归类模块,所述缺陷归类模块用于对同型号半导体进行归类处理,具体为:将当前时间之前
50
次同型号半导体的标记信息按照焊接先后顺序进行排序,将相邻两个同型号焊接缺陷体所对应的排序序号进行差值计算,获取得到缺陷序号差,将所有的缺陷序号差进行求和处理并取均值,获取得到缺陷序号均差,并标记为
Er
,获取得到当前时间之前
50
次同型号半导体中出现焊接缺陷体的总数量,并标记为
Fm
,获取得到同型号半导体的缺陷异常值
Cg
,利用公式获取得到同型号半导体的归类值
Tq
,其中,
b1、b2、b3
均为预设比例系数,设置归类值阈值为
Mn
,当同型号半导体的归类值
Tq≥
归类值阈值
Mn
时,将该型号半导体归类为焊接异常半导体,当同型号半导体的归类值
Tq
<归类值阈值
Mn
时,将该型号半导体归类为焊接正常半导体,并将归类结果发送至显示屏进行显示

[0011]进一步的,所述焊接架上固定安装有移动组件,所述焊接架上转动安装有第三丝杠,所述移动组件用于驱动第三丝杠旋转,所述第三丝杠两端螺纹面沿中部呈对称设置,所述第三丝杠两端螺纹连接两个移动块

[0012]进一步的,所述移动架上固定安装有驱动组件,所述移动架上转动安装有第四丝杠,所述驱动组件用于驱动第四丝杠旋转,第四丝杠两端螺纹面沿中部呈对称设置,第四丝杠两端螺纹连接两个焊头架

[0013]进一步的,所述定底架上固定安装有调节组件,所述定底架上转动安装有第二丝杠,所述调节组件用于驱动第二丝杠旋转,第二丝杠两端螺纹面沿中部呈对称设置,第二丝杠两端螺纹连接两个调节架

[0014]进一步的,多个定底组件等弧度固定安装于旋转架上

[0015]进一步的,所述上料架上固定安装有上料组件,所述上料架上转动安装有第一丝杠,所述上料组件用于驱动第一丝杠旋转,第一丝杠螺纹连接调整组件

[0016]进一步的,视频影像帧中的异常帧通过下述步骤获取得到:制作图像分析模型,将视频影像帧作为图像分析模型的输入数据获取图像分析模型的输出数据,将输出数据标记为焊缝标签,将焊缝标签标记为
Hf
;所述焊缝标签的取值范围为
[0

5],其中,焊缝标签的数值越大,表示焊缝越粗;当焊缝标签
Hf∈[0,1]时,则将焊缝标签对应位置标记为红色,当焊缝标签
Hf∈(1,4]时,则将焊缝标签对应位置标记为绿色,当焊缝标签
Hf∈(4,5]时,则将焊缝标签对应位置标记为红色,形成焊缝状态图,当焊缝状态图中存在红色标记时,则将该视频影像帧标记为异常帧

[0017]进一步的,图像分析模型通过下述步骤制作获得:获取得到
n
张焊接素材照片,将焊接素材照片标记为训练图像,对训练图像赋予焊缝标签,将训练图像获取按照设定比例划分成训练集和验证集,构建神经网络模型,通过训练集和验证集对神经网络模型进行迭代训练,当迭代训练次数大于迭代次数阈值时,则判定神经网络模型完成训练,将训练完成的神经网络模型标记为图像分析模型

[0018]进一步的,同型号半导体的缺陷标签值
Cg
通过下述步骤获取得到:将同型号半导体每次焊接中异常帧的数量进行求和处理并取均值,获取得到缺陷异常值
Cg。
[0019]与现有技术相比,本专利技术具备以下有益效果:
[0020]1、
设置两个可以调节间距的激光焊接头,可以对半导体与两个衬底的焊接面进行同步焊接,在满足不同厚度半导体的焊接基础上,提高半导体的焊接加工效率,在旋转架上设置多个定底组件以及定底块,满足不同大小的衬底的安装,设置可以双轴方向移动的气动手指,方便将半导体对准安装在两个衬底之间,设置缺陷判断模块,可以对焊接后本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体加工用对准焊接装置,包括焊接架
(300)
,其特征在于,所述焊接架
(300)
上滑动安装有两个移动块
(302)
,所述移动块
(302)
上转动安装有旋接杆
(303)
,两个旋接杆
(303)
均转动连接移动架
(304)
,所述移动架
(304)
上滑动安装有两个焊头架
(306)
,所述焊头架
(306)
上固定安装有激光焊接头
(307)
,所述焊接架
(300)
上固定安装有显示屏
(309)
;所述焊接架
(300)
一侧固定安装有定底架
(200)
,所述定底架
(200)
上滑动安装有两个调节架
(202)
,所述调节架
(202)
上固定安装有旋转组件
(203)
,所述旋转组件
(203)
一侧设置有旋转架
(204)
,所述旋转架
(204)
上固定安装有多个定底组件
(205)
,所述定底组件
(205)
一侧设置有定底块
(206)
,所述定底组件
(205)
用于驱动定底块
(206)
移动;所述定底架
(200)
一侧固定安装有上料架
(100)
,所述上料架
(100)
上滑动安装有调整组件
(102)
,所述调整组件
(102)
一侧设置有气动手指
(103)
,所述调整组件
(102)
用于驱动气动手指
(103)
移动,所述气动手指
(103)
用于夹持半导体,所述调整组件
(102)
上固定安装有焊接检测头
(104)
;所述焊接检测头
(104)
包括焊接拍摄模块

缺陷判断模块

型号判断模块

缺陷归类模块,所述焊接拍摄模块用于对半导体的焊接过程进行拍摄,获取得到影像数据,并将影像数据转换成视频影像帧,所述缺陷判断模块用于对半导体的焊接缺陷进行综合判断,具体为:对视频影像帧中的异常帧进行标记,将异常帧按照帧数先后进行排序,将相邻两个异常帧所对应的帧数进行帧数差值计算获取得到缺陷帧数间隔,将所有的缺陷帧数间隔进行求和处理并取均值获取得到缺陷帧数均隔并标记为
Lm
;获取得到异常帧的总数量,并标记为
Pe
,利用公式获取得到半导体的焊接缺陷值
Cu
,其中,
a1、a2
均为预设比例系数,设置焊接缺陷值阈值为
Ty
,当半导体的焊接缺陷值
Cu≥
焊接缺陷值阈值
Ty
时,将该半导体标记为焊接缺陷体;所述型号判断模块用于识别半导体型号,并将半导体型号发送至缺陷归类模块,所述缺陷归类模块用于对同型号半导体进行归类处理,具体为:将当前时间之前
50
次同型号半导体的标记信息按照焊接先后顺序进行排序,将相邻两个同型号焊接缺陷体所对应的排序序号进行差值计算,获取得到缺陷序号差,将所有的缺陷序号差进行求和处理并取均值,获取得到缺陷序号均差,并标记为
Er
,获取得到当前时间之前
50
次同型号半导体中出现焊接缺陷体的总数量,并标记为
Fm
,获取得到同型号半导体的缺陷异常值
Cg
,利用公式获取得到同型号半导体的归类值
Tq
,其中,
b1、b2、b3
均为预设比例系数,设置归类值阈值为
Mn
,当...

【专利技术属性】
技术研发人员:聂新明赵波
申请(专利权)人:苏师大半导体材料与设备研究院邳州有限公司
类型:发明
国别省市:

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