一种蚀刻液组合物及其制备方法技术

本申请涉及蚀刻技术领域，公开了一种蚀刻液组合物的制备方法，包括以下步骤：

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻液组合物及其制备方法


[0001]本专利技术涉及蚀刻
，具体为一种蚀刻液组合物及其制备方法
。

技术介绍

[0002]在
I TO
镀膜领域的生产过程中，产品难免会有一些
I TO
镀膜不良情况出现，为了降低企业的成本，需要对
I TO
镀膜不良的产品进行返工处理，将镀膜去掉，重新镀膜，以减少产品的浪费，降低企业的产品报废率，对
I TO
镀膜返工处理的常用方法是采用蚀刻的方式，蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻，其中，湿蚀刻就是采用蚀刻液的化学试剂，经由化学反应达到蚀刻的目的
。
[0003]由于电子产品的高速发展，蚀刻液的使用量近年来逐年增加，并且还有不断上升的趋势，随着这一趋势的发展，整个电子领域对于蚀刻液的需求量也在同比增长，蚀刻液的大量生产使用，导致的就是废液也在不断生成积累，现有的蚀刻液制备无法对该残留的废蚀刻液进行利用，达到再次循环使用的效果，造成资源的浪费，因此，本专利技术提供一种蚀刻液组合物及其制备方法，以解决上述问题
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种蚀刻液组合物及其制备方法，解决了现有的蚀刻液制备无法对残留的废蚀刻液进行循环利用，造成资源的浪费的问题
。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种蚀刻液组合物，包括以下质量份数原料：酸性蚀刻废液
>20
‑
30
份
、
萃取剂8‑
14
份
、
草酸3‑6份
、
双氧水7‑9份
、
盐酸3‑7份
、
冰乙酸6‑9份
、
氨基酸4‑7份
、
硝酸钾
11
‑
15
份
、
纯水
13
‑
18
份
、
络合剂2‑3份
、
聚醚类助剂2‑3份
。
[0006]优选的，所述聚醚类助剂为
HSH
聚醚多元醇
、
聚醚
F
‑
6、
聚醚
NPE
‑
108
的其中任意一种
。
[0007]优选的，所冰乙酸采用
99.9
％高纯醋酸，所述盐酸采用
38
％高纯盐酸，所述硝酸钾采用
99.5
％以上高纯盐
。
[0008]一种蚀刻液组合物的制备方法，使用一种蚀刻液组合物，包括以下步骤：
[0009]S1、
酸放萃取：将酸性蚀刻废液置入萃取装置中，并加入萃取剂进行酸放萃取，得到的酸铜溶液再与草酸进行搅拌混合，混合后静置沉淀，即得到上层混合溶液和下层草酸铜沉淀；
[0010]S2、
萃取消减：将得到的上层混合溶液置入反应釜中，加入中和溶剂充分搅拌混合，中和萃取成分，即得到去萃液；
[0011]S3、
沉淀回收：将得到的下层草酸铜加入络合剂和聚醚类助剂沉淀，高温氧化分解，即得到氧化铜，氧化铜回收再利用；
[0012]S4、
取
S3
步骤中的去萃液，进行离心过滤后，再进行
12
‑
24h
沉淀，沉淀完成后继续取上层液体，并与双氧水
、
氨基酸和硝酸钾，在温常常压下，同步置入搅拌装置中混合，并且
在搅拌中期依次加入冰乙酸
、1/2
盐酸与纯水，充分搅拌后再加入剩下的盐酸，得到的混合物经过过滤器过滤，即得到蚀刻液组合物
。
[0013]优选的，所述
S1
步骤中，萃取剂为脂肪酸
、
环烷酸
、
烷基
、
膦酸或胂酸中的其中任意一种，所述萃取剂还需与表面活性剂和稳定剂混合，得到的混合制剂即为制备所需萃取剂
。
[0014]优选的，所述
S1
步骤中，草酸原料为菠菜
、
苋菜
、
甜菜
、
马齿苋
、
芋头
、
甘薯和大黄其中任意一种；
[0015]同时，以菠菜原料为例，制备草酸，包括以下步骤：
[0016]A1、
取过滤后的菠菜汁分别加入乙醇和氯化钙，振荡离心，去除上清液，即得到原料聚合物；
[0017]A2、
将得到的原料聚合物加入甲酸溶液煮沸，随后离心去除上清液，加热干燥提取物至干燥，加入乙醇溶解过滤，收集滤液浓缩，即得到草酸
。
[0018]优选的，所述
S2
步骤中，中和溶剂为氢氧化钠
、
氢氧化钾
、
碳酸钠和碳酸氢钠中的其中任意一种，所述上层混合溶液与中和溶剂的混合比例为：
1:1
‑
1.5。
[0019]优选的，所述
S3
步骤中，络合剂为氰化物
、
氢氧化物
、
柠檬酸盐
、
焦磷酸盐
、
硫代硫酸盐
、
亚硫酸盐中的其中任意一种
。
[0020]优选的，所述
S4
步骤中，双氧水
、
氨基酸
、
硝酸钾和络合剂的添加比例为：
0.2:0.8:1.5
‑
2:3。
[0021]优选的，所述
S4
步骤中，冰乙酸在使用前，需放入蒸馏器中进行
‑
10MPa
的负压蒸馏提纯处理
。
[0022]本专利技术提供了一种蚀刻液组合物及其制备方法
。
具备以下有益效果：
[0023]1、
本专利技术通过利用酸性蚀刻废液作为原料，并且在制备过程中，通过萃取消减减小草酸萃取时，在溶液中的残留的萃取剂成分，避免萃取液会带入到再生蚀刻液中，会污染板面且会带来蚀刻速度减速问题，提高蚀刻液组合物的产品质量，并且避免蚀刻拖尾，整体的线宽损失差也与传统的蚀刻液保持平衡，达到废液再次循环使用效果的同时，也能够进一步的保障蚀刻液质量，避免资源的浪费，降低经济成本，提高经济效益
。
[0024]2、
本专利技术通过对蚀刻液进行回用和铜回用，充分的大循环，使得酸和铜得到充分利用，并且草酸反应，减少了现有技术通过电解提取酸性蚀刻废液中铜的费用，使得草酸铜转化氧化铜只需要通过高温氧化分解，只需要特定的高温窑厂，就可进行铜转化
。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种蚀刻液组合物，其特征在于，包括以下质量份数原料：酸性蚀刻废液
20
‑
30
份
、
萃取剂8‑
14
份
、
草酸3‑6份
、
双氧水7‑9份
、
盐酸3‑7份
、
冰乙酸6‑9份
、
氨基酸4‑7份
、
硝酸钾
11
‑
15
份
、
纯水
13
‑
18
份
、
络合剂2‑3份
、
聚醚类助剂2‑3份
。2.
根据权利要求1所述的一种蚀刻液组合物，其特征在于，所述聚醚类助剂为
HSH
聚醚多元醇
、
聚醚
F
‑
6、
聚醚
NPE
‑
108
的其中任意一种
。3.
根据权利要求1所述的一种蚀刻液组合物，其特征在于，所冰乙酸采用
99.9
％高纯醋酸，所述盐酸采用
38
％高纯盐酸，所述硝酸钾采用
99.5
％以上高纯盐
。4.
一种蚀刻液组合物的制备方法，其特征在于，使用权利要求1‑3任一项所述的一种蚀刻液组合物，包括以下步骤：
S1、
酸放萃取：将酸性蚀刻废液置入萃取装置中，并加入萃取剂进行酸放萃取，得到的酸铜溶液再与草酸进行搅拌混合，混合后静置沉淀，即得到上层混合溶液和下层草酸铜沉淀；
S2、
萃取消减：将得到的上层混合溶液置入反应釜中，加入中和溶剂充分搅拌混合，中和萃取成分，即得到去萃液；
S3、
沉淀回收：将得到的下层草酸铜加入络合剂和聚醚类助剂沉淀，高温氧化分解，即得到氧化铜，氧化铜回收再利用；
S4、
取
S3
步骤中的去萃液，进行离心过滤后，再进行
12
‑
24h
沉淀，沉淀完成后继续取上层液体，并与双氧水
、
氨基酸和硝酸钾，在温常常压下，同步置入搅拌装置中混合，并且在搅拌中期依次加入冰乙酸
、1/2
盐酸与纯水，充分搅拌后再加入剩下的盐酸，得到的混...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，巩强，林向阳，周水晶，王凯慧，
申请(专利权)人：浙江芯秦微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：