物品收纳用容器的防振机构制造技术

本发明专利技术提供一种物品收纳用容器的防振机构，其目的在于抑制振动向搁片构件传递，并防止损伤搁片构件上所支撑的衬底。该防振机构的结构为，由另外构件构成ＦＯＵＰ主体（３ａ）和配备于该ＦＯＵＰ主体（３ａ）的搁片构件（３ｅ），弹性体（３ｇ）介于ＦＯＵＰ主体（３ａ）与搁片构件（３ｅ）之间，使搁片构件（３ｅ）对ＦＯＵＰ主体（３ａ）进行弹性支撑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种物品收纳用容器(以下，称之为“Front-OpeningUnified Pod FOUP ”)的防振机构。除悬垂式升降搬运台车(以下，称之为“Overhead Hoist Transport =OHT台车)、 辊式传送带外，依靠按此看待的搬运装置沿规定路径进行搬运的FOUP等容器，在搬运过程 中往往会受到振动。本专利技术涉及一种用于抑制该振动传递给FOUP内部插拔自如地收纳了 多枚晶片、液晶板等物品的物品收纳用容器的防振机构。
技术介绍
近年来，为了沿洁净室里的工序内以及工序间环状轨道配置，在对晶片施行各种 表面处理(形成薄膜、光刻、清洗、蚀刻、检测等)的一连串处理工作台施行必要的处理，多 半使用OHT台车搬运收纳了上述晶片的容器(FOUP)。衬底的处理工序按收纳衬底的FOUP上安装的标签予以管理，标签的内容也随着 衬底处理工序的进展逐步更新。衬底处理工序由附着于FOUP的标签信息特定，以后的必要 处理根据该标签信息由计算机进行管理。这样在多个处理工作台上，为了逐个搬运衬底依次接受不同种类的处理，搬运中 就要保持气密状态并在处理工作台接受规定的处理，因此，使用一种前面的门被敞开，且衬 底可用机械手逐个插拔这样结构的F0UP。迄今通用的FOUP结构用图6表示如下。在该图6中，31为主体，31a为敞开面。从 该敞开面31a观察，在位于两侧的两侧面上，设置有可用手工实现搬运的侧部法兰31b。31c 为法兰，并由后述的OHT台车钩爪部夹持，因此，主体31以及安装于上述敞开面31a的盖体 32予以整体升降、搬运。31d为搁片构件，在敞开面31a上形成凹凸状搁片部，该凹部状搁片部可水平地保 持多枚(例如，24枚)用未图示的机械手(设置于处理工作台)插拔的衬底(晶片、液晶板寸乂 O并且，该搁片构件31d整体地固定于FOUP主体31，或者与FOUP主体31成形为一 个整体。而且，上述盖体32在搬运FOUP主体31时，对该FOUP主体31的敞开面31a保持 气密状态，在处理处理工作台所收纳的衬底之前，通过配备于该处理工作台的未图示的加 锁或解锁装置对闭锁构件32a施行解锁(图示的状态)，从而与FOUP主体31分离。接着，在上述处理工作台上，全部衬底处理完了，收纳了处理过的衬底的FOUP主 体31在搬运之前，用盖体32覆盖敞开面31a，通过加锁或者解锁装置对上述闭锁构件32a 施行加锁。但是，当搬运晶片等衬底时，衬底会相对衬底搬运用容器的衬底支撑部移动，使支 撑构件与衬底之间产生碰撞、摩擦等，大多会给衬底带来不良化的危险。因此，例如，开发出一种在处理装置之间的搬运或运到下一道工序之前的保管晶 片等方面使用的晶片托架，并作为下述专利文献1予以公开。S卩，专利文献1的晶片托架，首先，逐个将晶片9的周缘部夹入形成于托架主体2 内壁的一连串槽部3内。其次，由具有柔性的坯料形成的舌形片5，将晶片9压紧在上述槽部3的一个侧面 上，使晶片9与托架主体2成为一个整体，从而将槽部3内晶片9维持不移动的稳定状态。另一方面，用行驶台车搬运衬底时，以衬底的防振为目的，已有下述专利文献2。该专利文献2上公开的技术，特别是关于在具有大形化倾向的衬底搬运中，其特 征在于抑制从悬挂支撑该支撑部8的行驶台车部7向收纳衬底1的支撑部8传递振动。S卩，与被搬运衬底1的大形化相适应，在支撑部8内沿纵向配置该衬底1，并弹性地 支撑行驶台车部7与支撑部8。为此作为其具体装置，设置有防振机构22，该防振机构22可吸收构成行驶台车部 的垂直、行驶、行驶正交立体的三方向上各自的振动。日本专利文献1 特许第3212890号 日本专利文献2 特开2004-359436以往，在处理工作台，晶片等的衬底逐个接受不同处理的搬运中，例如，使用图6 所示的FOUP。在该FOUP中，主体31与搁片构件31d按照规定的配置固定在一起，因此，搬运时 FOUP主体31受到的振动仍然传递至搁片构件31d。因而，水平状态插拔自如地逐个装载于搁片构件31d里的多枚衬底，也仍然会受 到FOUP主体31搬运时受到的振动。该振动是由FOUP主体加减速时产生的惯性力所受到的振动与来自驱动部发生的 微振动等合成生成的，所以其发生不能避免。这样，施与搁片构件31d的振动，使衬底离开该搁片构件31d的衬底装载面弹起， 或者使衬底装载面与衬底之间产生摩擦，从而有可能给衬底带来不良化的影响。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的，在于提供一种容器弹性地支撑搁片构件的技术，S卩，在使用 OHT台车等驱动装置进行搬运，并具有搁片构件以保持水平状态逐个插拔自如地支撑多枚 晶片等衬底的搁片构件的FOUP等容器中，在该容器的搬运中，当受到除了加减速时的惯性 力引起的振动外，还有受到来自驱动源引起的微振动时，用作抑制这些振动向搁片构件传 递并防止包括支撑于搁片构件的晶片等衬底的各物品损伤损伤的装置。为了解决上述问题，第一方面记载的物品收纳用容器的防振机构，为一种物品收 纳用容器的防振机构，其特征在于具有，物品收纳用容器，该物品收纳用容器通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运， 并具有支撑被搬运物品的搁片构件，和弹性构件，该弹性构件在上述搬运装置运作时，抑制上述容器受到的振动向上述搁片构件传递，上述弹性构件配置于上述物品收纳用容器支撑上述搁片构件的适宜位置，上述容 器通过上述弹性构件支撑上述搁片构件。根据该第一方面涉及的专利技术，装载被搬运物品的搁片构件，即使在内部保有该搁 片构件的容器通过0HT除外的搬运装置而受到各种振动，仍然不会受到上述各种振动而处 于被抑制的状态。因而，通过对弹性体的规格适当地限定，该弹性体相对容器弹性地支撑搁片构件 从而在容器与搁片构件之间实现振动传递抑制的作用，只要设定不用担心损伤被搬运物的 程度，就能够不给被搬运物造成损伤而且安全地搬运。并且，在抑制受到搬运装置的振动传递给被搬运物品时，只是采用实施于容器内 部的极其简单的防振装置，因此，很容易实现采用以现行的F0UP规格为前提构成的转载机 器与选配。第二方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容 器的防振机构方面，其特征在于，上述被搬运物品为晶片，上述搁片构件为沿水平方向插拔自如地保持上述晶片的构件，收纳上述搁片构件的容器为F0UP。根据第二方面涉及的专利技术，先前引用的第一方面涉及的专利技术效果自不待言，如果 从搬运装置传递至F0UP的振动仍然传递至晶片的话，即使在该晶片达到受到损伤程度的 情况下，以插拔自如的状态装载于F0UP内搁片构件上的晶片，也能够切实地防止受到可能 带来其不良化影响的的振动。第三方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容 器的防振机构方面，其特征在于，搁片构件其上下各端面具有多个突起，上述物品收纳用容器其上下各面的规定处具有该突起可松嵌尺寸的孔，上述各突起通过上述弹性构件分别支撑于相对应的上述孔。根据第三方面的专利技术，先前引用的第一方面或第二方面涉及的专利技术效果自不待 言，而且，规范设置于搁片构件侧的突起与形成于容器侧的孔的相对位置关系，准确地实现 搁片构件相对F0UP等容器的定位。并且，通过位于上述孔与突起之间的弹性构件的材料、 尺寸等的选择，也可得到所需防振效果。第四本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品收纳用容器的防振机构，其特征在于，具有，物品收纳用容器，该物品收纳用容器通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运，并具有支撑被搬运物品的搁片构件，和弹性构件，该弹性构件在所述搬运装置运作时，抑制所述容器受到的振动向所述搁片构件传递，所述弹性构件配置于所述物品收纳用容器支撑所述搁片构件的适宜位置，所述容器通过所述弹性构件支撑所述搁片构件，所述搁片构件具有上下两端部，该上下两端部不具有搁片，所述物品收纳用容器具有形成于与所述搁片构件的所述上下两端部相对应的位置的支撑部，所述上下两端部通过所述弹性构件分别支撑于相对应的所述支撑部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村田正直，
申请(专利权)人：村田自动化机械有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]