一种触力稳定大行程引弧装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种触力稳定大行程引弧装，包括引弧针、加长杆、引弧杆、固定套筒、导杆气缸、气缸固定座、靶材，所述导杆气缸安装于气缸固定座上，固定套筒固定安装在固定座上，所述固定套筒中安装有直柱型无油衬套，与引弧杆形成滑动副，所述导杆气缸通过绝缘连接块与引弧杆连接，所述引弧杆穿过固定套筒，引弧杆末端串接加长杆和引弧针。引弧针采用复合动力源驱动，通过弹簧压缩力驱动引弧针使之靶材的接触，冲击力小，能大幅提高引弧针的使用寿命，从而有效提高设备使用效率并减少维护成本，同时通过导杆气缸驱动引弧针使之靶材脱离，能降低引弧时粘针现象的发生，避免造成短路。避免造成短路。避免造成短路。

【技术实现步骤摘要】
一种触力稳定大行程引弧装置


[0001]本专利技术涉及离子镀膜设备领域，尤其涉及一种触力稳定大行程引弧装。

技术介绍

[0002]离子镀膜技术是近十几年来发展起来的一种最新的真空镀膜技术，包括二级型离子镀膜、空心阴极离子镀、热丝弧离子镀、阴极电弧离子镀膜、多弧离子镀膜等。在众多离子镀膜技术中，多弧离子镀膜应用最为广泛。
[0003]多弧离子镀膜是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给，所以本身只能维持电弧不能自发产生电弧，产生电弧需依靠专门的引弧装置。引弧时，通过引弧针施加阳极电，靶材施加阴极电，引弧针短暂接触靶材使得阴阳极短暂短路，然后引弧针在离开靶材表面时，阴阳极电路出现击穿电弧，在通过电弧电源提供一个稳定的低电压、大电流输出，实现电弧的自我维持。
[0004]目前常用的引弧装置主要两种，一种是电动引弧装置，通过线圈通电产生磁场来带动引弧针运动，引弧成功后，线圈断电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种触力稳定大行程引弧装，其特征在于：包括引弧针、加长杆、引弧杆、固定套筒、导杆气缸、气缸固定座、靶材，所述导杆气缸安装于气缸固定座上，所述固定套筒固定安装在固定座上，所述固定套筒中安装有直柱型无油衬套，并用弹性挡圈限位使其不窜动，与引弧杆形成滑动副，靠近大气一侧固定套筒与引弧杆之间安装有调节垫圈和压缩弹簧并用挡板顶住引弧杆的轴肩，靠近真空一侧固定套筒与引弧杆之间安装有骨架油封、U型密封圈组合密封元件，并用密封压盖压紧固定，所述固定套筒上还安装有肩型无油衬套，并用挡板压紧使其不能轴上窜动，所述导杆气缸通过绝缘连接块与引弧杆连接，所述绝缘连接块上安装固定有两根导向轴，且与无油衬套配合形成滑动副，引弧杆杆头端铣有扁槽，绝缘连接块铣有凹槽与之相配合成为一个整体，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲永鹏，刘杰波，陈志伟，林海弈，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：